基本情報

学部兼担

• 工学部

所属学協会

• 自 2018年04月, 至 現在

  日本表面真空学会
• 至 2024年03月

  原子衝突学会
• 至 2018年03月

  日本真空学会
• 至 2018年03月

  日本表面科学会
• 至 現在

  日本物理学会
• 至 現在

  応用物理学会

学位

• 修士（工学）(京都大学)
• 博士（工学）(京都大学)

経歴

• 自 2014年04月, 至 現在

  京都大学大学院, 工学研究科, 准教授
• 自 2006年04月, 至 2014年03月

  京都大学大学院, 工学研究科, 助教
• 自 1997年04月, 至 2006年03月

  京都大学大学院, 工学研究科, 助手

使用言語

• 英語

ID,URL

• J-Global ID

  200901033373523031

• 外部リンク

  http://mech-server.mech.kyoto-u.ac.jp/lab/kimura

researchmap URL

• https://researchmap.jp/read0051976

研究

研究テーマ・研究概要

• 研究テーマ

  高速イオンと表面の相互作用の研究、イオンビームを利用した表面分析法の開発

• 研究概要

  高速イオンが固体に衝突したときに起こる様々な現象を観測することによって、イオンと固体間の相互作用について調べています。また、それらの応用として高分解能RBSを開発するともに、それを用いた材料の分析、開発に取り組んでいます。

研究キーワード

• スパッタリング
• 薄膜
• 二次イオン質量分析法
• 二次電子放出
• イオントラック
• 高分解能ERDA
• 高分解能RBS
• イオン散乱
• 照射効果
• イオンビーム工学
• 結晶成長
• 表面分析
• Crystal Growth
• Surface Analysis

研究分野

• ナノテク・材料, 薄膜、表面界面物性
• ナノテク・材料, 結晶工学
• ナノテク・材料, 応用物性

論文

• Round-trip motion of air-rich bubbles exhaled from a vapor-rich bubble generated at a local heating point

  K Namura; T Iwasaki; K Nakajima; M Suzuki

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2024年06月, 査読有り

  
• Forward and backward emission of secondary ions from biomolecules on single-layer graphene by MeV C+ (n = 1–6) impacts

  Naruki Uno; Takuya Majima; Manabu Saito; Kaoru Nakajima; Hidetsugu Tsuchida

  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2024年12月

  
• Clustering of microspheres using thermoplasmonic Marangoni effect

  K. Namura; K. Nakajima; K. Kimura; M. Suzuki

  Optics InfoBase Conference Papers, 2015年

  
• Thermochromic visualization of the heated region around a microbubble during Marangoni flow generation

  Kyoko Namura; Toshiki Sono; Samir Kumar; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki

  Journal of Nanophotonics, 2021年02月18日

  
• Effects of molecular axis orientation of MeV diatomic projectiles on secondary ion emission from biomolecular targets

  Ryu Murase; Hidetsugu Tsuchida; Shigeo Tomita; Atsuya Chiba; Kaoru Nakajima; Takuya Majima; Manabu Saito

  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2020年09月, 査読有り

  
• Self‐Oscillation of Locally Heated Water Vapor Microbubbles in Degassed Water

  Kyoko Namura; Shunsuke Okai; Samir Kumar; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki

  Advanced Materials Interfaces, 2020年08月02日, 査読有り

  
• 20pCD-11 高速イオンの照射点付近における温度の測定III

  松崎 勝太; 林 宏昭; 北山 巧; 中嶋 薫; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 将彦

  日本物理学会講演概要集, 2016年

  
• 20pCD-5 高速C_<60>イオンを用いたペプチドの透過型二次イオン質量分析

  中嶋 薫; 丸毛 智矢; 山本 和輝; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 平田 浩一; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2016年

  
• 16aAA-4 高速Cu^<4+>イオン透過によるSiN薄膜上のペプチドの前方二次イオン放出

  山本 和輝; 丸毛 智矢; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2015年

  
• 21pCG-9 高速C_<60>^+イオン透過によるアミノ酸およびペプチドの前方二次イオン放出

  丸毛 智矢; 中嶋 薫; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2015年

  
• Fabrication of periodic arrays of silicide nanopillars by using self-assembled polystyrene nanosphere template and oblique deposition technique

  Motofumi Suzuki; Yasuyuki Kaneko; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  physica status solidi (c), 2013年, 査読有り

  
• Bottom-up Process to Fabricate Periodic Arrays of  -FeSi2 Nanopillars for Photonic Applications

  Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura

  ECS Transactions, 2012年10月, 査読有り

  
• Quantitative depth profiling of ultrathin high-k stacks with full spectrum time of flight-secondary ion mass spectrometry

  Matthieu Py; Jean-Paul Barnes; Rachid Boujamaa; Michael Gros-Jean; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Charbel Roukoss; Bernard Pelissier; Narciso Gambacorti

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011年05月, 査読有り

  
• High-resolution depth profiling of boron in silicon: comparison between high-resolution RBS/ERDA and atom probe

  Sho Fujita; Kaoru Nakajima; Kaoru Sasakawa; Motofumi Suzuki; Wilfried Vandervorst; Kenji Kimura

  8th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’11, 2011年

  
• Quasi-periodic Pattern Formation on Columnar Thin Films by Ion Beam Erosion at Oblique Incidence

  Motofumi Suzuki; Hiroki Moriwaka; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  8th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’11, 2011年

  
• Study of the gate insulator/silicon interface utilizing soft and hard X-ray photoelectron spectroscopy at Spring-8

  T. Hattori; H. Nohira; K. Azuma; K. W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Sugita; E. Ikenaga; K. Kobayashi; Y. Takata; H. Kondo; S. Zaima

  International Journal of High Speed Electronics and Systems, 2006年03月, 査読有り

  
• High-resolution RBS study of ultra-low energy ion implantation for microelectronic application

  K Kimura; Y Oota; K Nakajima; M Suzuki

  APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, 2003年, 査読有り

  
• Advanced RBS analysis of thin films in micro-electronics

  B Brijs; J Deleu; C Huyghebaert; S Nauwelaerts; K Nakajima; K Kimura; W Vandervorst

  APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, 2001年, 査読有り

  
• Secondary electron emission from SnTe(001) and KCl(001) surfaces induced by specularly reflected protons

  G Andou; S Ooki; K Nakajima; K Kimura

  APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, PTS 1 AND 2, 1999年, 査読有り

  
• Thermal vibration of surface atoms observed by high-resolution RBS

  K Nakajima; K Kimura; M Mannami

  APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY - PROCEEDINGS OF THE FOURTEENTH INTERNATIONAL CONFERENCE, PTS 1 AND 2, 1997年, 査読有り

  
• A RHEED study of temperature dependence of homoepitaxy of SnTe(111)

  K Nakajima; Y Fujii; K Kimura; M Mannami

  JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 1996年02月, 査読有り

  
• Incident Energy Dependence of the Molecular Orientation Effect of MeV C-2(+) Projectiles in Secondary-Ion Emission Processes

  Ryu Murase; Hidetsugu Tsuchida; Sohei Nakagawa; Shigeo Tomita; Atsuya Chiba; Kaoru Nakajima; Takuya Majima; Manabu Saito

  JOURNAL OF THE PHYSICAL SOCIETY OF JAPAN, 2022年02月, 査読有り

  
• Effect of structure and orientation of incident carbon-cluster ions C-n(+)(n <= 4) on secondary-ion emission induced by electronic excitation

  Ryu Murase; Hidetsugu Tsuchida; Sohei Nakagawa; Shigeo Tomita; Atsuya Chiba; Kaoru Nakajima; Takuya Majima; Manabu Saito

  PHYSICAL REVIEW A, 2021年06月, 査読有り

  
• Auger neutralization rate for slow Ar+ ions in front of KCl(001)

  K Kimura; T Tsujioka; S Tanaka; A Nakamoto; K Nakajima; M Suzuki

  PHYSICAL REVIEW A, 2004年08月, 査読有り

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• Secondary-electron emission by 0.5-MeV/u H, He, and Li ions specularly reflected from a SnTe(001) surface: Possibility of the surface track potential reducing the secondary-electron yield at a semiconductor surface

  K Kimura; S Usui; K Nakajima

  PHYSICAL REVIEW A, 2000年12月, 査読有り

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• 6 MeV C₆₀⁺イオンを用いた透過型SIMSにおけるアミノ酸分子の照射損傷

  石井 洋晶; 平田 浩一; 澤田 純平; 中嶋 薫; 木村 健二; 千葉 敦也; 山田 圭介; 平野 貴美; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2018年01月

  
• 透過型SIMSイメージング装置の横方向分解能の評価

  北村 俊也; 山本 和輝; 石井 洋晶; 澤田 純平; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2018年

  
• MeVイオンを用いた生体分子のSIMSにおける貴金属蒸着の効果

  野村 洸; 小林 史幸; 立道 良輔; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2018年01月

  
• MeVイオンを用いた生体分子のSIMSにおける貴金属蒸着の効果II

  野村 洸; 小林 史幸; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2018年

  
• C₆₀⁺イオンによる生体分子薄膜試料のスパッタリング収率の測定

  澤田 純平; 石井 洋晶; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2018年

  
• 高速イオンの照射点付近における温度の測定VII

  尹 善煕; 辻本 将彦; 古株 弘樹; 李 暁星; 中嶋 薫; 木村 健二; 松田 誠; 左高 正雄; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2018年

  
• Direction control of quasi-stokeslet induced by thermoplasmonic heating of a water vapor microbubble

  Namura Kyoko; Imafuku Souki; Kumar Samir; Nakajima Kaoru; Sakakura Masaaki; Suzuki Motofumi

  SCIENTIFIC REPORTS, 2019年03月18日, 査読有り

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• High-resolution depth profiling of soda-lime silicate glass using high-resolution RBS and ERDA

  Sakata Hiroki; Yamamoto Yuichi; Sato Koya; Nakajima Kaoru; Kimura Kenji

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2019年02月01日, 査読有り

  
• Measurement of local temperature around the impact points of fast ions under grazing incidence

  H. Kokabu; S. Yoon; H. Lee; K. Nakajima; M. Matsuda; M. Sataka; M. Tsujimoto; M. Toulemonde; K. Kimura

  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2019年01月01日

  
• Quantification of outermost OH group on silica glass surface by high-resolution elastic recoil detection analysis

  Yamamoto Yuichi; Sato Koya; Nakajima Kaoru; Kimura Kenji

  JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2018年11月01日, 査読有り

  
• Investigation of transition from thermal- to solutal-Marangoni flow in dilute alcohol/water mixtures using nano-plasmonic heaters

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki

  Nanotechnology, 2018年01月08日, 査読有り

  
• Sensitivity improvement of bio-molecules using ionic liquid matrix in mega electron volt secondary ion mass spectrometry

  K. Nakajima; R. Tatemichi; H. Kobayashi; K. Kimura

  Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2018年01月01日

  
• Local heating induced by single MeV C-60 ion impacts

  H. Hayashi; S. Matsuzaki; K. Nakajima; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Tsujimoto; M. Toulemonde; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2017年09月

  
• Temperature of thermal spikes induced by swift heavy ions

  S. Matsuzaki; H. Hayashi; K. Nakajima; M. Matsuda; M. Sataka; M. Tsujimoto; M. Toulemonde; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2017年09月

  
• Quasi-stokeslet induced by thermoplasmonic Marangoni effect around a water vapor microbubble

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki

  SCIENTIFIC REPORTS, 2017年03月, 査読有り

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• Surface structures of binary mixture of ionic liquids

  Kaoru Nakajima; Shunto Nakanishi; Martin Lisal; Kenji Kimura

  JOURNAL OF MOLECULAR LIQUIDS, 2017年03月, 査読有り

  
• Transmission secondary ion mass spectrometry of a peptide using 5 MeV C60 + ions

  Kaoru Nakajima

  IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems, 2017年

  
• Surface segregation in a binary mixture of ionic liquids: Comparison between high-resolution RBS measurements and molecular dynamics simulations

  Kaoru Nakajima; Shunto Nakanishi; Zdenek Chval; Martin Lisal; Kenji Kimura

  JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2016年11月, 査読有り

  
• Perfect Composition Depth Profiling of Ionic Liquid Surfaces Using High-resolution RBS/ERDA

  Kaoru Nakajima; Enkhbayar Zolboo; Tomohiro Ohasm; Martin Lisal; Kenji Kimura

  ANALYTICAL SCIENCES, 2016年10月, 査読有り

  
• Microfluidic control on nanoplasmonic thin films using Marangoni effect

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Motofumi Suzuki

  JOURNAL OF NANOPHOTONICS, 2016年07月, 査読有り

  
• Surface structure of imidazolium-based ionic liquids: Quantitative comparison between simulations and high-resolution RBS measurements

  Kaoru Nakajima; Shunto Nakanishi; Martin Lisal; Kenji Kimura

  JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2016年03月, 査読有り

  
• Behavior of Li on graphene surfaces observed using high-resolution ERDA

  Masataka Nikko; Kaoru Nakajima; Masataka Hasegawa; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2016年03月, 査読有り

  
• Sheathless particle focusing in a microfluidic chamber by using the thermoplasmonic Marangoni effect

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Motofumi Suzuki

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2016年02月, 査読有り

  
• Perfect composition depth profiling of ionic liquid surfaces using high-resolution RBS/ERDA

  Kaoru Nakajima; Enkhbayar Zolboo; Tomohiro Ohashi; Martin L�sal; Kenji Kimura

  Analytical Sciences, 2016年

  
• Sputtering of amorphous silicon nitride irradiated with energetic C-60 ions: Preferential sputtering and synergy effect between electronic and collisional sputtering

  T. Kitayama; Y. Morita; K. Nakajima; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Matsuda; M. Sataka; M. Toulemonde; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015年12月

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• Evaluation of local temperature around the impact points of fast ions

  H. Hayashi; T. Kitayama; S. Matsuzaki; K. Nakajima; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Tsujimoto; M. Toulemonde; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015年12月

  
• Study on the performance of Tungsten-Titanium alloy film as a diffusion barrier for iron in a flexible CIGS solar cell

  Zedong Gao; Ming Zhao; Daming Zhuang; Engang Fu; Xiaolong Li; Liangqi Ouyang; Li Guo; Rujun Sun; Kenji Kimura; Kaoru Nakajima

  SOLAR ENERGY, 2015年10月, 査読有り

  
• Tracing temperature in a nanometer size region in a picosecond time period

  Kaoru Nakajima; Takumi Kitayama; Hiroaki Hayashi; Makoto Matsuda; Masao Sataka; Masahiko Tsujimoto; Marcel Toulemonde; Serge Bouffard; Kenji Kimura

  SCIENTIFIC REPORTS, 2015年08月, 査読有り

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• Formation of ion tracks in amorphous silicon nitride films with MeV C-60 ions

  T. Kitayama; Y. Morita; K. Nakajima; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Matsuda; M. Sataka; M. Tsujimoto; S. Isoda; M. Toulemonde; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015年08月, 査読有り

  
• Temperature of thermal spikes in amorphous silicon nitride films produced by 1.11 MeV C-60(3+), impacts

  T. Kitayama; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Matsuda; M. Sataka; M. Tsujimoto; S. Isoda; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015年07月

  
• A compact high-resolution elastic recoil detection system for lithium depth profiling

  Masataka Nikko; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2015年07月, 査読有り

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• Photothermally controlled Marangoni flow around a micro bubble

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Motofumi Suzuki

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2015年01月, 査読有り

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• Microfluidic control on nano-plasmonic thin films using Marangoni effect

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Motofumi Suzuki

  NANOSTRUCTURED THIN FILMS VIII, 2015年, 査読有り

  
• Surface and interface roughness estimations by X-ray reflectivity and RBS measurements

  Y. Fujii; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura

  SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年12月

  
• Emission of secondary ions after grazing impact of keV ions on solid surfaces

  K. Nakajima; J. Lienemann; P. Eberlein; K. Kimura; K. Maass; H. Winter

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2014年12月

  
• Sputtering of SiN films by 540 keV C-60(2+) ions observed using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K. Nakajima; Y. Morita; T. Kitayama; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; M. Tsujimoto; S. Isoda; Y. Fujii; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2014年08月

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• Surface structures of ionic liquids observed by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Shinichi Oshima; Motoki Miyashita; Shunto Nakanishi; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, 2014年08月, 査読有り

  
• Surface sensitivity of secondary ion mass spectroscopy in the electronic sputtering regime

  Kaoru Nakajima; Motoki Miyashita; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2014年08月, 査読有り

  
• Enhancement of photoacoustic emission from self-supported plasmonic multilayers

  Kyoko Namura; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Motofumi Suzuki

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014年07月, 査読有り

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• Transmission secondary ion mass spectrometry using 5 MeV C-60(+) ions

  K. Nakajima; K. Nagano; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; K. Hirata; K. Kimura

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2014年03月

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• Surface structures of binary mixtures of imidazolium-based ionic liquids using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy and time of flight secondary ion mass spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Motoki Miyashita; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  Journal of Chemical Physics, 2013年12月14日, 査読有り

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• Growth of Nanowires by High-Temperature Glancing Angle Deposition

  Motofumi Suzuki; Haruhiko Minamitake; Ryo Kita; Kenji Hamachi; Hideki Hara; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Chia-Wei Hsu; Li-Jen Chou

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013年11月, 査読有り

  
• Surface effect on ion track formation in amorphous Si3N4 films

  Y. Morita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; N. Ishikawa; K. Hojou; M. Tsujimoto; S. Isoda; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2013年11月, 査読有り

  
• Highly localized photothermal conversion in two-dimensional Au nanoparticle arrays

  Kyoko Namura; Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  Journal of Applied Physics, 2013年08月21日, 査読有り

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• Photoacoustic emission from Au nanoparticles arrayed on thermal insulation layer

  Kyoko Namura; Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  Optics Express, 2013年04月08日, 査読有り

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• Waveguide-mode sensors with sculptured porous waveguide

  Motofumi Suzuki; Munehito Takagaki; Shohei Kuriyama; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2013年, 査読有り

  
• Waveguide-mode sensors with waveguide layer nanostructured by dynamic oblique deposition

  Motofumi Suzuki; Munehito Takagaki; Shohei Kuriyama; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  ECS Transactions, 2013年, 査読有り

  
• Fabrication of periodic arrays of silicide nanopillars by using self-assembled polystyrene nanosphere template and oblique deposition technique

  Motofumi Suzuki; Yasuyuki Kaneko; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  PHYSICA STATUS SOLIDI C: CURRENT TOPICS IN SOLID STATE PHYSICS, VOL 10, NO 12, 2013年, 査読有り

  
• Improvement of sensitivity in high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Hiroki Hashimoto; Kenji Kimura

  Journal of the Vacuum Society of Japan, 2013年, 査読有り

  
• Depth profiling of boron in silicon by high-resolution medium energy elastic recoil detection analysis

  Kaoru Sasakawa; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2012年12月22日, 査読有り

  
• Manipulations of thermal emission by beta-FeSi2 thin films and nanostructures

  Yasuyuki Kaneko; Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  NANOSTRUCTURED THIN FILMS V, 2012年, 査読有り

  
• Surface structures of equimolar mixtures of imidazolium-based ionic liquids using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Shinichi Oshima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  SURFACE SCIENCE, 2012年11月

  
• Direct observation of fine structure in ion tracks in amorphous Si3N4 by TEM

  K. Nakajima; Y. Morita; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; N. Ishikawa; K. Hojou; M. Tsujimoto; S. Isoda; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012年11月, 査読有り

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• Surface structures of equimolar mixtures of imidazolium-based ionic liquids using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Shinichi Oshima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  SURFACE SCIENCE, 2012年11月, 査読有り

  
• Effect of multiple scattering on high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Sasakawa; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012年08月, 査読有り

  
• Improvement of sensitivity in high-resolution ERDA

  H. Hashimoto; S. Fujita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Sasakawa; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012年02月, 査読有り

  
• Bottom-up process to fabricate periodic arrays of β-fesi2 nanopillars for photonic applications

  Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura

  ECS Transactions, 2012年, 査読有り

  
• Photoacoustic Emission from Local Plasmon Resonators Nanostructured by Glancing Angle Deposition

  K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura

  LOW-DIMENSIONAL NANOSCALE ELECTRONIC AND PHOTONIC DEVICES 5 -AND- STATE-OF-THE-ART PROGRAM ON COMPOUND SEMICONDUCTORS 54 (SOTAPOCS 54), 2012年, 査読有り

  
• Vapor-liquid-solid growth of Ge nanowhiskers enhanced by high-temperature glancing angle deposition

  Motofumi Suzuki; Kenji Hamachi; Hideki Hara; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Chia-Wei Hsu; Li-Jen Chou

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2011年11月, 査読有り

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• Cluster effect on projected range of 30 keV C-60(+) CL in silicon

  Y. Morita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Narumi; Y. Saitoh; W. Vandervorst; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2011年10月, 査読有り

  
• Heat-generating property of a local plasmon resonator under illumination

  Kyoko Namura; Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  OPTICS LETTERS, 2011年09月, 査読有り

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• Improvement of sensitivity in high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  H. Hashimoto; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Sasakawa; K. Kimura

  REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2011年06月, 査読有り

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• Grazing scattering of 1-2 MeV HeH+ ions from KCl(0 0 1): Effect of surface track potential

  Masakazu Sakata; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2011年05月, 査読有り

  
• Quantitative depth profiling of ultrathin high-k stacks with full spectrum time of flight-secondary ion mass spectrometry

  Matthieu Py; Jean-Paul Barnes; Rachid Boujamaa; Michael Gros-Jean; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Charbel Roukoss; Bernard Pelissier; Narciso Gambacorti

  Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics, 2011年, 査読有り

  
• Antireflection coatings with FeSi2 layer: Application to spectrally selective infrared emitter

  Y. Kaneko; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura; K. Akiyama; K. Harutsugu; H. Wakabayashi; T. Makino

  ASIA-PACIFIC CONFERENCE ON SEMICONDUCTING SILICIDES SCIENCE AND TECHNOLOGY TOWARDS SUSTAINABLE OPTOELECTRONICS (APAC-SILICIDE 2010), 2011年, 査読有り

  
• Direct evidence of the surface track potential

  Kaoru Nakajima; Masakazu Sakata; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  PHYSICAL REVIEW A, 2010年08月, 査読有り

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• Observation of surface structure of 1-alkyl-3-methylimidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl)imide using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Atsushi Ohno; Hiroki Hashimoto; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2010年07月, 査読有り

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• Precise nitrogen depth profiling by high-resolution RBS in combination with angle-resolved XPS

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Thierry Conard; Wilfried Vandervorst; Andreas Bergmaier; Guenther Dollinger

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2010年06月, 査読有り

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• Surface characterization of imidazolium ionic liquids by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy

  Hiroki Hashimoto; Atsushi Ohno; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Hiroshi Tsuji; Kenji Kimura

  SURFACE SCIENCE, 2010年02月, 査読有り

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• Analysis of Ultra-Thin HfO2/SiON/Si(001): Comparison of Three Different Techniques

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Thierry Conard; Wilfried Vandervorst; Andreas Bergmaier; Guenther Dollinger

  ANALYTICAL SCIENCES, 2010年02月, 査読有り

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• Growth of Nanowhiskers of Al, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cu, Ag, and Au by High-temperature Glancing Angle Deposition

  M. Suzuki; K. Hamachi; K. Nagai; R. Kita; K. Nakajima; K. Kimura

  LOW-DIMENSIONAL NANOSCALE ELECTRONIC AND PHOTONIC DEVICES 4, 2010年, 査読有り

  
• Growth of Metal Nanowhiskers on Patterned Substrate by High Temperature Glancing Angle Deposition

  Motofumi Suzuki; Ryo Kita; Hideki Hara; Kenji Hamachi; Koji Nagai; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010年, 査読有り

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• Exit angle dependence of charge-state distribution of backscattered He ions

  Kaoru Sasakawa; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  APPLIED SURFACE SCIENCE, 2009年11月, 査読有り

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• Energy loss and fragmentation of 3 keV C-60(+) ions at grazing scattering from a KCl(001)

  K. Kimura; T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年08月, 査読有り

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• Observation of surface structure of 1-butyl-3-methylimidazolium hexafluorophosphate using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Atsushi Ohno; Hiroki Hashimoto; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS, 2009年05月, 査読有り

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• Surface structure of an ionic liquid with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K. Nakajima; A. Ohno; M. Suzuki; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年02月, 査読有り

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• Growth of Metal Nanowhiskers on Patterned Substrate by High-Temperature Glancing Angle Deposition

  M. Suzuki; H. Hara; R. Kita; K. Hamachi; K. Nagai; K. Nakajima; K. Kimura

  NANOSCALE ONE-DIMENSIONAL ELECTRONIC AND PHOTONIC DEVICES 3 (NODEPD 3), 2009年, 査読有り

  
• Tailoring coupling of light to local plasmons by using Ag nanorods/structured dielectric/mirror sandwiches

  Motofumi Suzuki; Yoshikatsu Imai; Hiroki Tokunaga; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  JOURNAL OF NANOPHOTONICS, 2009年, 査読有り

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• Ag nanorod arrays tailored for surface-enhanced Raman imaging in the near-infrared region

  Motofumi Suzuki; Wataru Maekita; Yoshinori Wada; Koji Nagai; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  NANOTECHNOLOGY, 2008年07月, 査読有り

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• Observation of molecular ordering at the surface of trimethylpropylammonium bis(trifluoromethanesulfonyl)imide using high-resolution rutherford backscattering Spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Atsushi Ohno; Motofumil Suzuki; Kenji Kimura

  LANGMUIR, 2008年05月, 査読有り

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• Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: accurate depth profiling of chemical states

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Ming Zhao; Hiroshi Nohira; Takeo Hattori; Masaaki Kobata; Eiji Ikenaga; Jung An Kim; Keisuke Kobayashi; Thierry Conard; Wilfried Vandervorst

  SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2008年03月, 査読有り

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• Surface structure of 1-hexyl-3-methyl-imidazolium bis(trifluoromethanesulfonyl)-imide observed by high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  A. Ohno; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura

  ECS Transactions, 2008年, 査読有り

  
• In situ observation of oxygen gettering by titanium overlayer on HfO2/SiO2/Si using high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Akira Fujiyoshi; Zhao Ming; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2007年09月, 査読有り

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• Influence of elastic scattering of photoelectrons on angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Thierry Conard; Wilfried Vandervorst

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007年09月, 査読有り

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• Energy loss of slow C-60(+) ions during grazing scattering from a KCl(001) surface

  T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura

  PHYSICAL REVIEW A, 2007年09月, 査読有り

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• Subsurface structures in initial stage of FeSi2 growth studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  Motofumi Suzuki; Kohei Kinoshita; Shinji Jomori; Hidehiko Harada; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  THIN SOLID FILMS, 2007年08月, 査読有り

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• Effect of oblique-angle deposition on early stage of Fe-Si growth

  Hidehiko Harada; Shinji Jomori; Motofumi Suzuki; Kohei Kinoshita; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  THIN SOLID FILMS, 2007年08月, 査読有り

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• Morphological evolution of Al whiskers grown by high temperature glancing angle deposition

  Motofumi Suzuki; Koji Nagai; Sadamu Kinoshita; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Tomoki Okano; Kaoru Sasakawa

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2007年07月, 査読有り

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• Au nanorod Arrays tailored for surface-enhanced Raman Spectroscopy

  Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  ANALYTICAL SCIENCES, 2007年07月, 査読有り

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• Isotopic labeling study of the oxygen diffusion in HfO2/SiO2/Si

  Ming Zhao; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura; Masashi Uematsu; Kazuyoshi Torii; Satoshi Kamiyama; Yasuo Nara; Heiji Watanabe; Kenji Shiraishi; Toyohiro Chikyow; Keisaku Yamada

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007年03月, 査読有り

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• Secondary ion emission from a KCl(001) surface by grazing-angle incidence of swift heavy ions

  Kaoru Nakajima; Shigeharu Yamasaki; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年03月, 査読有り

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• Neutralization of slow C-60(+) ions in front of KCl(001) surface

  S. Tamehiro; T. Matsushita; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年03月, 査読有り

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• Interface reaction of high-k gate stack structures observed by high-resolution RBS

  Zhao Ming; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura; Masashi Uematsu; Kazuyoshi Torii; Satoshi Kamiyama; Yasuo Nara; Heiji Watanabe; Kenji Shiraishi; Toyohiro Chikyow; Keisaku Yamada

  ECS Transactions, 2007年, 査読有り

  
• シリコンとhigh-kゲート絶縁膜の界面の高分解能RBS/ERD分析(<特集>シリコン関連材料の作製と評価)

  中嶋 薫; 趙 明; 鈴木 基史; 木村 健二; 植松 真司; 鳥居 和功; 神山 聡; 奈良 安雄; 山田 啓作; 舘 喜一; 角嶋 邦之; 岩井 洋

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2006年12月

  
• Vapor phase growth of Al whiskers induced by glancing angle deposition at high temperature

  Motofumi Suzuki; Koji Nagai; Sadamu Kinoshita; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Tomoki Okano; Kaoru Sasakawa

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006年09月, 査読有り

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• The analysis of a thin SiO2/Si3N4/SiO2 stack: A comparative study of low-energy heavy ion elastic recoil detection, high-resolution Rutherford backscattering, and secondary ion mass spectrometry

  B. Brijs; T. Sajavaara; S. Giangrandi; T. Janssens; T. Conard; K. Arstila; K. Nakajima; K. Kimura; A. Bergmaier; G. Dollinger; A. Vantomme; W. Vandervorst

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年08月, 査読有り

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• Measurement of the strain in strained-Si/Si0.79Ge0.21 with HRBS/channeling

  T. Matsushita; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; A. Agarwal; H. J. Gossmann; M. Ameen; H. Harima

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年08月, 査読有り

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• Accumulation of hydrogen near the interface between ultrathin SiO2 and Si(001) under ion irradiation in high-resolution elastic recoil detection

  Kaoru Nakajima; Ryo Imaizumi; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年08月, 査読有り

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• Observation of Si emission during thermal oxidation of Si(001) with high-resolution RBS

  S. Hosoi; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Shimizu; S. Fukatsu; K. M. Itoh; M. Uematsu; H. Kageshima; K. Shiraishi

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年08月, 査読有り

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• Observation of the interfacial layer in HfO2(10 nm)/Si by high-resolution RBS in combination with grazing angle sputtering

  W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; B. Brijs

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年08月, 査読有り

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• Convoy electrons emitted by 2-MeV He+ ions at grazing incidence on KCl(001)

  K. Nakajima; A. Nakamoto; M. Suzuki; K. Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年07月, 査読有り

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• 酸素雰囲気アニール中のHfO_2/SiO_2/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

  趙 明; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 植松 真司; 鳥居 和功; 神山 聡; 奈良 安雄; 山田 啓作

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2006年06月

  
• In-line aligned and bottom-up Ag nanorods for surface-enhanced Raman spectroscopy

  M Suzuki; W Maekita; Y Wada; K Nakajima; K Kimura; T Fukuoka; Y Mori

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006年05月, 査読有り

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• Si emission from the SiO2/Si interface during the growth of SiO2 in the HfO2/SiO2/Si structure

  Z Ming; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; M Uematsu; K Torii; S Kamiyama; Y Nara; K Yamada

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006年04月, 査読有り

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• Lattice distortion at SiO2/Si(001) interface studied with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy/channeling

  K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; M Yamamoto; A Teramoto; T Ohmi; T Hattori

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 2006年04月, 査読有り

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• Thermal stability of Gd2O3/Si(100) interfacial transition layer

  H Nohira; T Yoshida; H Okamoto; S Shinagawa; W Sakai; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; NJ Aun; Y Kobayashi; S Ohmi; H Iwai; E Ikenaga; Y Takata; K Kobayashi; T Hattori

  JOURNAL DE PHYSIQUE IV, 2006年03月, 査読有り

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• Diflusion barrier for silver atoms in thermally grown oxide layer on silicon and mono-layered Ag nanocrystals formed by negative-ion implantation and subsequent annealing

  Hiroshi Tsuji; Nobutoshi Arai; Naoyuki Gotoh; Takashi Minotani; Toyotsugu Ishibashi; Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Tetsuya Okumine; Koulchlro Adachi; Hiroshi Kotaki; Yasuhito Gotoh; Junzo Ishikawa

  Transactions of the Materials Research Society of Japan, Vol 31, No 3, 2006年, 査読有り

  
• Angle-resolved photoelectron spectroscopy study on gate insulators

  T. Hattori; K. Kakushima; K. Nakajima; H. Nohira; K. Kimura; H. Iwai

  ECS Transactions, 2006年, 査読有り

  
• Diffusion measurement of silver atoms implanted into thermally grown oxide thin film on silicon substrate by high-resolution RBS and mono-layered silver nanoparticle formation by using diffusion barrier

  Hiroshi Tsuji; Nobutoshi Arai; Hiroyuki Nakatsuka; Naoyuki Gotoh; Takashi Minotani; Kenji Kojima; Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Tetsuya Okumine; Kouichiro Adachi; Hiroshi Kotaki; Yasuhito Gotoh; Junzo Ishikawa

  Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan, 2006年, 査読有り

  
• Study of the gate insulator/silicon interface utilizing soft and hard x-ray photoelectron spectroscopy at SPring-8

  T. Hattori; H. Nohira; K. Azuma; K. W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Sugita; E. Ikenaga; K. Kobayashi; Y. Takata; H. Kondo; S. Zaima

  FRONTIERS IN ELECTRONICS, 2006年, 査読有り

  
• Physically self-assembled Ag nanorod arrays for tunable plasmonic sensors

  Motofumi Suzuki; Yoshinori Wada; Wataru Maekita; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 2005年11月09日, 査読有り

  
• Neutralization rate for slow Ar+ ions in front of KCl(001)

  T Tsujioka; S Tanaka; A Nakamoto; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005年04月, 査読有り

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• Radiation damage induced by 5 keV Si+ ion implantation in strained-Si/Si0.8Ge0.2

  T Matsushita; W Sakai; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; A Agarwal; HJ Gossmann; M Ameen

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005年04月, 査読有り

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• Direct formation of arrays of prolate Ag nanoparticles by dynamic oblique deposition

  M Suzuki; W Maekita; K Kishimoto; S Teramura; K Nakajima; K Kimura; Y Taga

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS, 2005年, 査読有り

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• Structure of ultrathin epitaxial CeO2 films grown on Si(111)

  S Joumori; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; Y Nishikawa; D Matsushita; T Yamaguchi; N Satou

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2004年11月, 査読有り

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• Characterization of HfO2/Si(001) interface with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; S Joumori; M Suzuki; K Kimura; T Osipowicz; KL Tok; JZ Zheng; A See; BC Zhang

  APPLIED SURFACE SCIENCE, 2004年10月, 査読有り

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• Quality of SiO₂ and of SiGe formed by oxidation of Si/Si _0.7Ge_0.3 heterostructure using atomic oxygen at 400 °C

  H. Nohira; T. Kuroiwa; M. Nakamura; Y. Hirose; J. Mitsui; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; K. Sawano; K. Nakagawa; Y. Shiraki; T. Hattori

  Applied Surface Science, 2004年10月, 査読有り

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• Formation of iron silicide on Si(001) studied by high resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Kinoshita; R Imaizumi; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura

  THIN SOLID FILMS, 2004年08月, 査読有り

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• Auger neutralization rate for slow Ar+ ions in front of KCl(001)

  K Kimura; T Tsujioka; S Tanaka; A Nakamoto; K Nakajima; M Suzuki

  PHYSICAL REVIEW A, 2004年08月, 査読有り

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• Atomic-scale depth profiling of composition, chemical structure and electronic band structure of La2O3/Si(100) interfacial transition layer

  H Nohira; T Shiraishi; K Takahashi; T Hattori; Kashiwagi, I; C Ohshima; S Ohmi; H Iwai; S Joumori; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura

  APPLIED SURFACE SCIENCE, 2004年07月, 査読有り

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• Charge-state distribution of 400 keV He ions scattered from solid surfaces

  K Nakajima; Y Okura; M Suzuki; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004年06月, 査読有り

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• Use of grazing angle sputtering for improving depth resolution in high resolution RBS

  W Sakai; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004年06月, 査読有り

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• High-resolution RBS: a powerful tool for atomic level characterization

  K Kimura; S Joumori; Y Oota; K Nakajima; M Suzuki

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004年06月, 査読有り

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• Composition, chemical structure, and electronic band structure of rare earth oxide/Si(100) interfacial transition layer

  T Hattori; T Yoshida; T Shiraishi; K Takahashi; H Nohira; S Joumori; K Nakajima; M Suzuki; K Kimura; Kashiwagi, I; C Ohshima; S Ohmi; H Iwai

  MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2004年04月, 査読有り

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• Effects of surface track potential on secondary electron emission and surface stopping power

  K Kimura; S Usui; T Tsujioka; S Tanaka; K Nakajima; M Suzuki

  VACUUM, 2004年03月, 査読有り

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• Molecular effect on projected range in ultralow-energy ion implantation

  K Kimura; Y Oota; K Nakajima; M Suzuki; T Aoki; J Matsuo; A Agarwal; B Freer; A Stevenson; M Ameen

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年10月, 査読有り

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• Strain profiling of HfO2/Si(001) interface with high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; S Joumori; M Suzuki; K Kimura; T Osipowicz; KL Tok; JZ Zheng; A See; BC Zhang

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003年07月, 査読有り

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• 極薄希土類酸化膜/Si(100)界面構造(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)

  野平 博司; 白石 貴義; 高橋 健介; 柏木 郁未; 大島 千鶴; 大見 俊一郎; 岩井 洋; 城森 慎司; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 服部 健雄

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2003年06月

  
• 高分解能RBS/channelingを用いたSiO_2/Si(001)の界面分析(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)

  中嶋 薫; 羽野 仁彦; 鈴木 基史; 木村 健二

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2003年06月

  
• Compositional transition layer in SiO2/Si interface observed by high-resolution RBS

  K Kimura; K Nakajima

  APPLIED SURFACE SCIENCE, 2003年06月, 査読有り

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• Energy loss of 15-keV Arq+ (q=1-3) ions reflected from a KCl(001) surface

  K Nakajima; M Nakamura; T Tsujioka; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年05月, 査読有り

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• High-resolution depth profiling of ultrashallow boron implants in silicon using high-resolution RBS

  K Kimura; Y Oota; K Nakajima; TH Buyuklimanli

  CURRENT APPLIED PHYSICS, 2003年02月, 査読有り

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• SIMS and high-resolution RBS analysis of ultrathin SiOxNy films

  K Kimura; K Nakajima; H Kobayashi; S Miwa; K Satori

  APPLIED SURFACE SCIENCE, 2003年01月, 査読有り

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• Ion scattering on crystalline surfaces: Effects of surface track potential on secondary electron emission

  K Kimura; S Usui; K Maeda; K Nakajima

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002年06月, 査読有り

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• Hydrogen analysis of CVD homoepitaxial diamond films by high-resolution elastic recoil detection

  K Kimura; K Nakajima; S Yamanaka; M Hasegawa; H Okushi

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002年05月, 査読有り

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• Surface segregation of Ge during Si growth on Ge/Si(001) at low temperature observed by high-resolution RBS

  K Nakajima; N Hosaka; T Hattori; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002年05月, 査読有り

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• Advanced characterization of high-k materials: A nuclear approach

  B Brijs; C Huyghebaert; S Nauwelaerts; M Caymax; W Vandervorst; K Nakajima; K Kimura; A Bergmaier; G Dollinger; WN Lennard; G Terwagne; A Vantomme

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002年05月, 査読有り

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• Release of nitrogen from SiOxNy films during RBS measurement

  K Kimura; K Nakajima; H Kobayashi; S Miwa; K Satori

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2002年05月, 査読有り

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• Oxidation of Si(001) observed by high-resolution RBS

  K Kimura; K Nakajima; Y Okazaki

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2001年07月, 査読有り

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• Nitrogen profile in SiOxNy prepared by thermal nitridation of ozone oxide

  K Nakajima; K Kimura; A Kurokawa; S Ichimura; H Fukuda

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2001年06月, 査読有り

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• Anomalous surface amorphization of Si(001) induced by 3-5 keV Ar+ ion bombardment

  K Nakajima; H Toyofuku; K Kimura

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2001年04月, 査読有り

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• Initial oxidation process on Si(001) studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; Y Okazaki; K Kimura

  PHYSICAL REVIEW B, 2001年03月, 査読有り

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• Hydrogen depth-profiling in chemical-vapor-deposited diamond films by high-resolution elastic recoil detection

  K Kimura; K Nakajima; S Yamanaka; M Hasegawa; H Okushi

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2001年03月, 査読有り

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• Initial oxidation process on Si(001) studied by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; Y Okazaki; K Kimura

  PHYSICAL REVIEW B, 2001年03月, 査読有り

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• Secondary-electron emission by 0.5-MeV/u H, He, and Li ions specularly reflected from a SnTe(001) surface: Possibility of the surface track potential reducing the secondary-electron yield at a semiconductor surface

  K Kimura; S Usui; K Nakajima

  PHYSICAL REVIEW A, 2000年12月, 査読有り

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• Nitrogen depth profiling in ultrathin silicon oxynitride films with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  K Kimura; K Nakajima; Y Okazaki; H Kobayashi; S Miwa; K Satori

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2000年07月, 査読有り

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• Oxidation of Si(001) surfaces studied by high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; Y Okazaki; K Kimura

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2000年07月, 査読有り

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• Surface-plasmon-assisted secondary-electron emission from an atomically flat LiF(001) surface

  K Kimura; G Andou; K Nakajima

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年04月, 査読有り

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• Stopping power of a KCl(001) surface for low energy Ne atoms

  K Nakajima; S Sonobe; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年04月, 査読有り

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• Intermixing at Ge/Si(001) interfaces studied by high-resolution RBS

  K Nakajima; A Konishi; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年03月, 査読有り

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• Characterization of ultra thin oxynitrides: A general approach

  B Brijs; J Deleu; T Conard; H De Witte; W Vandervorst; K Nakajima; K Kimura; Genchev, I; A Bergmaier; L Goergens; P Neumaier; G Dollinger; M Dobeli

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年03月, 査読有り

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• Secondary-electron emission by MeV He ions reflected from a SnTe(001) surface: Separation of above- and below-surface processes

  K Kimura; S Ooki; G Andou; K Nakajima

  PHYSICAL REVIEW A, 2000年01月, 査読有り

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• Secondary electron emission from surface channeled protons at a KCl(001) surface

  G Andou; K Nakajima; K Kimura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年01月, 査読有り

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• Secondary-electron emission by 0.5-MeV/u H, He, and Li ions specularly reflected from a SnTe(001) surface: Possibility of the surface track potential reducing the secondary-electron yield at a semiconductor surface

  K Kimura; S Usui; K Nakajima

  PHYSICAL REVIEW A, 2000年12月, 査読有り

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• Direct observation of intermixing at Ge/Si(001) interfaces by high-resolution Rutherford backscattering spectroscopy

  K Nakajima; A Konishi; K Kimura

  PHYSICAL REVIEW LETTERS, 1999年08月, 査読有り

  
• Position-dependent stopping power of low velocity rare gas atoms at a SnTe(001) surface

  K Nakajima; Y Fukusumi; K Kimura; M Mannami; M Yamamoto; S Naito

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1999年01月, 査読有り

  
• Preparation of smooth Si(001) surfaces by glancing angle sputtering

  K Kimura; A Fukui; K Nakajima; M Mannami

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1999年01月, 査読有り

  
• Amorphization of Si(001) by ultra low energy (0.5-5 keV) ion implantation observed with high-resolution RBS

  K Kimura; A Agarwal; H Toyofuku; K Nakajima; HJ Gossmann

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1999年01月, 査読有り

  
• Enhancement of the secondary-electron production process in front of insulator surfaces

  K Kimura; C Andou; K Nakajima

  PHYSICAL REVIEW LETTERS, 1998年12月, 査読有り

  
• Secondary-electron emission from specularly reflected MeV protons

  K Kimura; S Ooki; G Andou; K Nakajima; MH Mannami

  PHYSICAL REVIEW A, 1998年08月, 査読有り

  
• Energy losses of MeV B clusters in solids

  K Narumi; K Nakajima; K Kimura; M Mannami; Y Saitoh; S Yamamoto; Y Aoki; H Naramoto

  MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 1998年07月, 査読有り

  
• Hydrogen depth profiling with sub-nm resolution in high-resolution ERD

  K Kimura; K Nakajima; H Imura

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998年05月, 査読有り

  
• Some applications of high-resolution RBS and ERD using a magnetic spectrometer

  K Kimura; K Nakajima; M Mannami

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998年03月, 査読有り

  
• The (111) surface of PbTe observed by high-resolution RES

  K Nakajima; K Kimura; M Mannami

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998年02月, 査読有り

  
• Energy losses of B clusters transmitted through carbon foils

  K Narumi; K Nakajima; K Kimura; M Mannami; Y Saitoh; S Yamamoto; Y Aoki; H Naramoto

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998年02月, 査読有り

  
• Defect generation in layer-by-layer-grown ZnSe films on Te-terminated GaAs(001) surfaces

  A Ohtake; LH Kuo; K Kimura; S Miwa; T Yasuda; CG Jin; TF Yao; K Nakajima; K Kimura

  PHYSICAL REVIEW B, 1998年01月, 査読有り

  
• Heterovalent ZnSe/GaAs interfaces

  T Yao; F Lu; MW Cho; KW Koh; Z Zhu; LH Kuo; T Yasuda; A Ohtake; S Miwa; K Kimura; K Nakajima; K Kimura

  PHYSICA STATUS SOLIDI B-BASIC RESEARCH, 1997年08月, 査読有り

  
• Growth mode and defect generation in ZnSe heteroepitaxy on Te-terminated GaAs(001) surfaces

  A Ohtake; LH Kuo; T Yasuda; K Kimura; S Miwa; T Yao; K Nakajima; K Kimura

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1997年07月, 査読有り

  
• MONOLAYER RESOLUTION IN RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY

  K KIMURA; K OHSHIMA; K NAKAJIMA; Y FUJII; M MANNAMI; HJ GOSSMANN

  NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1995年05月, 査読有り

  
• OBSERVATION OF THE PBSE(111) SURFACE USING HIGH-RESOLUTION RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY

  K KIMURA; K NAKAJIMA; Y FUJII; M MANNAMI

  SURFACE SCIENCE, 1994年10月, 査読有り

  
• LAYER-BY-LAYER GROWTH OF PBSE STUDIED BY GLANCING ANGLE SCATTERING OF 500-KEV PROTONS

  Y FUJII; K NAKAJIMA; K NARUMI; K KIMURA; M MANNAMI

  SURFACE SCIENCE, 1994年10月, 査読有り

  

MISC

• Secondary Ion Mass Spectrometry of Ionic Liquids with Different Anions Using Grazing Incidence of MeV Ions

  Nakajima K.; Suzuki M.; Kimura K.

  Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2014年04月

  
• Secondary Ion Emission from Phenylalanine Thin Films on a-SiN Membranes under Transmission of 6 MeV Cu⁴⁺ Ions

  Nagano K.; Nakajima K.; Suzuki M.; Kimura K.

  Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2014年04月

  
• Surface Analysis of Binary Mixtures of Ionic Liquids by Secondary Ion Mass Spectrometry with grazing incidence of MeV ions

  Miyashita M.; Nakajima K.; Suzuki M.; Kimura K.

  Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2013年04月

  
• Secondary Ion Emission from Phenylalanine Thin Films on SiN Membranes Penetrated by 6 MeV Cu⁴⁺ Ions from The Backside

  Nagano K.; Nakajima K.; Suzuki M.; Kimura K.

  Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2013年04月

  
• Detection of Oxidation-Induced Compressive Stress in Si(100) Substrate Near the SiO2/Si Interface by X-Ray Photoelectron Spectroscopy

  Hiroshi Nohira; T. Suwa; K. Nagata; K. Nakajima; A. Teramoto; A. Ogura; K. Kimura; T. Muro; T. Kinoshita; S. Sugawa; T. Hattori; T. Ohmi

  2013年

  
• Detection of oxidationinduced compressive stress in Si(100) substrate near the SiO2/Si interface with atomic-scale resolution

  T. Suwa; K. Nagata; H. Nohira; K. Nakajima; A. Teramoto; A. Ogura; K. Kimura; T. Muro; T. Kinoshita; S. Sugawa; T. Hattori; T. Ohmi

  2013年

  
• Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: accurate depth profiling of chemical states (Extended abstracts book of the International Workshop for Surface Analysis and Standardization '09 (iSAS-09))

  Nakajima Kaoru; Kimura Kenji; Conard Thierry

  Journal of surface analysis, 2009年03月

  
• High-resolution RBS analysis of Si-dielectrics interfaces

  ZHAO Ming; NAKAJIMA Kaoru; SUZUKI Motofumi; KIMURA Kenji; UEMATSU Masashi; TORII Kazuyoshi; KAMIYAMA Satoshi; NARA Yasuo; WATANABE Heiji; SHIRAISHI Kenji; CHIKYOW Toyohiro; YAMADA Keisaku

  Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials, 2006年09月13日

  
• Influence of Thermal Annealing on Chemical Structure of Lanthanum oxide/Si Interfacial Transition Layer

  H. Nohira; T. Yoshida; H. Okamoto; S. Shinagawa; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Ng Jin Aun; Y. Kobayashi; S. Ohmi; H. Iwai; Y. Takata; K. Kobayashi; T. Hattori

  2004年

  
• Effect of Post-Deposition Annealing of Composition and Chemical Structures of La2O3 film/Si(100) Interfacial Transition Layers

  T. Yoshida; T. Shiraishi; H. Nohira; S. Ohmi; Y. Kobayashi; Ng Jin Aun; H. Iwai; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; T. Hattori

  2004年

  
• Chemical Structures of HfO2/Si Interfacial Transition Layer

  H. Nohira; Y. Takata; K. Kobayashi; M. B. Seman; S. Joumori; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Y. Sugita; O. Nakatsuka; A. Sakai; S. Zaima; T. Ishikawa; S. Shin; T. Hattori

  2003年

  
• 高分解能RBSによるイオン液体表面構造解析

  中嶋 薫; 中西 竣飛; LISAL Martin; 木村 健二

  表面科学, 2017年

  
• 二次電子顕微鏡を用いたSIMSイメージング装置の開発

  中嶋 薫; 山本 和輝; 石井 洋晶; 澤田 純平; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2017年

  
• 高速イオンの照射点付近における温度測定V

  古株 弘樹; 辻本 将彦; 松崎 勝太; 李 暁星; 中嶋 薫; 木村 健二; 松田 誠; 左高 正雄; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2017年

  
• 高速イオンの照射点付近における温度測定VI

  古株 弘樹; 中嶋 薫; 木村 健二; 松田 誠; 左高 正雄; 辻本 将彦

  日本物理学会講演概要集, 2017年

  
• MeV-SIMSにおけるイオン液体マトリックス添加の効果

  立道 良輔; 野村 洸; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2017年

  
• 高速イオンを用いた透過型SIMSにおける生体分子の消失断面積

  石井 洋晶; 山本 和輝; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2016年

  
• 高速イオンの照射点付近における温度測定IV

  中嶋 薫; 林 宏昭; 松崎 勝太; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 将彦

  日本物理学会講演概要集, 2016年

  
• Al₂O₃/Ge構造に対する熱酸化にともなうGe表面からのGe原子放出過程

  柴山茂久; 柴山茂久; 中嶋薫; 坂下満男; 中塚理; 木村健二; 財満鎭明; 財満鎭明

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2015年02月

  
• 雰囲気ガスによる表面拡散の制御法の開発と明瞭なAgナノコラム形成への応用

  伊東孝将; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2015年02月

  
• 21pCG-3 高速イオンの照射点付近における温度の測定

  林 宏昭; 辻本 将彦; 磯田 正二; 北山 巧; 森田 陽亮; 中嶋 薫; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 松田 誠; 左高 正雄

  日本物理学会講演概要集, 2015年

  
• 高速C60イオンを用いた透過型二次イオン質量分析

  中嶋 薫; 丸毛 智矢; 山本 和輝; 永野 賢悟; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 平田 浩一; 木村 健二

  表面科学学術講演会要旨集, 2015年

  
• 高速イオンの照射点付近における温度の測定

  松崎 勝太; 林 宏昭; 北山 巧; 中嶋 薫; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 将彦

  表面科学学術講演会要旨集, 2015年

  
• 斜め蒸着による金属ナノコラムの成長に与える雰囲気ガスの影響

  伊東孝将; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2014年10月

  
• 金ナノ粒子の光熱変換によるマイクロ流体駆動

  名村今日子; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2014年10月

  
• 半導体ナノコラム膜の太陽光選択吸収特性に対する形態効果

  西浦健介; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2014年10月

  
• 7pAZ-3 高速C_<60^+>イオン透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方二次イオン放出II(7pAZ 放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線))

  中嶋 薫; 丸毛 智矢; 永野 賢悟; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2014年08月

  
• 7pAZ-6 C_<60>イオン照射による非晶質SiNのスパッタリング(7pAZ 放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線))

  北山 巧; 森田 陽亮; 中嶋 薫; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 松田 誠; 左高 正雄; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2014年08月

  
• 周期的な非稠密円柱配列構造のボトムアップ形成

  菅沼真太; 兼子泰幸; 名村今日子; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2014年03月

  
• 斜め蒸着膜により高感度化された光導波路センサー

  栗山頌平; 高垣宗寛; 名村今日子; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2014年03月

  
• 28aCH-5 高速C_<60>^+イオン透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方二次イオン放出(28aCH 放射線物理(放射線計測・2次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線))

  永野 賢悟; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2014年03月

  
• 28aCH-6 540keV C_<60>^<2+>照射による非晶質SiNのスパッタリング(28aCH 放射線物理(放射線計測・2次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子分子・量子エレクトロニクス・放射線))

  北山 巧; 森田 陽亮; 中嶋 薫; 鈴木 基文; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 松田 誠; 左高 正雄; 辻本 将彦; 磯田 正二

  日本物理学会講演概要集, 2014年03月

  
• 斜め蒸着膜を用いた光導波路センサーの開発

  栗山頌平; 高垣宗寛; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2013年11月

  
• 斜め蒸着による周期的な非稠密円柱配列の作製

  菅沼真太; 兼子泰幸; 中嶋薫; 木村健二; 鈴木基史

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2013年11月

  
• SiO₂コラム上のバナジウム酸化物ナノワイヤの成長

  名村今日子; LI Shu‐Yi; GRANQVIST Claes G; 斉藤光; 倉田博基; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2013年08月

  
• 26aBC-3 MeV領域のCu^<4+>とC_<60>+イオンの透過によるSiN薄膜上のアミノ酸の前方2次イオン放出(放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  永野 賢悟; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2013年08月

  
• 26aBC-8 C_<60>イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性(放射線物理(放射線計測・二次電子放出・クラスター・放射線損傷),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  中嶋 薫; 森田 陽亮; 北山 巧; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 将彦; 磯田 正二

  日本物理学会講演概要集, 2013年08月

  
• 26pBC-4 高速分子イオンのナノキャピラリー透過におけるウェイク効果(融合セッション(原子・分子・キャピラリー),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  土田 秀次; 中嶋 薫; 横江 潤也; 杉山 元彦; 太田 優史; 間嶋 拓也; 柴田 裕実; 冨田 成夫; 笹 公和; 平田 浩一; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 千葉 敦也; 山田 圭介; 的場 史郎; 木村 健二; 伊藤 秋男

  日本物理学会講演概要集, 2013年08月

  
• 27pEG-5 非晶質Si_3N_4薄膜中のイオントラックのHAADF-STEM観察(27pEG 放射線物理(放射線損傷・阻止能・二次電子放出・クラスター),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  森田 陽亮; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 政彦; 磯田 正二

  日本物理学会講演概要集, 2013年03月

  
• 高温斜め蒸着法によるGa₂O₃ナノワイヤの成長

  南竹春彦; 鈴木基史; 原英貴; 中嶋薫; 木村健二; HSU Chia‐Wei; CHOU Li‐Jen

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2012年11月

  
• イオン液体混合物の表面組成分析

  宮下基希; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2012年11月

  
• 高温斜め蒸着法によるGa₂O₃ナノワイヤの成長におけるO₂分子流の影響

  南竹春彦; 鈴木基史; 原英貴; 中嶋薫; 木村健二; HSU C.‐W; CHOU L.‐J

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2012年10月

  
• 斜め蒸着膜を用いた高感度導波路センサ

  高垣宗寛; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2012年10月

  
• 24aAB-6 10-540 keV C_<60>イオンを照射したSi中の照射損傷に対するクラスター効果(24aAB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  鳴海 一雅; 楢本 洋; 山田 圭介; 千葉 敦也; 斎藤 勇一; 森田 陽亮; 中嶋 薫; 木村 健二; 前田 佳均

  日本物理学会講演概要集, 2012年03月

  
• 24aAB-7 数百keV C_<60>イオン照射によって形成された非晶質Si_3N_4薄膜中のイオントラックのTEM観察(24aAB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  森田 陽亮; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 斎藤 勇一; 辻本 政彦; 磯田 正二

  日本物理学会講演概要集, 2012年03月

  
• ふく射制御のためのFeSi₂コラム周期配列のボトムアップ形成―II

  兼子泰幸; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2012年02月

  
• 金ナノ粒子からの光音響放出の干渉による制御

  名村今日子; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2011年11月

  
• Spatiotemporal-photothermal and photoacoustic conversions with local plasmon resonators

  K. Namura; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura

  Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2011年10月17日, 査読有り

  
• 高温斜め蒸着法によるGa‐Oナノワイヤの成長

  南竹春彦; 鈴木基文; 原英貴; 中嶋薫; 木村健二; CHOU L.‐J

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2011年10月

  
• 自己組織的に配列した金ナノ粒子からの高効率光音響放出

  名村今日子; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2011年10月

  
• ポリスチレンナノ球への斜め堆積による円柱配列の作製

  兼子泰幸; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2011年10月

  
• 高温斜め蒸着によるナノウィスカ成長のモンテカルロシミュレーション

  鈴木基史; 喜多僚; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年08月

  
• シリコンにプラズマドープしたホウ素の深さ分布の測定:アトムプローブと高分解能RBS法の比較

  藤田頌; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; KOELLING Sebastian; VANDERVORST Wilfried

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年08月

  
• ふく射制御のためのFeSi₂コラム周期配列のボトムアップ形成

  兼子泰幸; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年08月

  
• 高分解能RBS/ERDAにおける検出感度の向上

  橋元弘貴; 藤田頌; 中嶋薫; 鈴木基史; 笹川薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年08月

  
• 21pEB-10 30keVC_<60^+>イオンのSi中での振る舞いに対するクラスター効果(21pEB 放射線物理(クラスター・微粒子),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  森田 陽亮; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 齋藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2011年08月

  
• 24aGD-8 高分解能RBSによるイオン液体2元混合物の表面組成分析(24aGD 液体金属,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))

  大島 伸一; 宮下 基希; 大野 敦史; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2011年08月

  
• 高分解能RBS/ERDAの検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減

  橋元弘貴; 藤田頌; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年03月

  
• 高温斜め蒸着による金属ナノウィスカの成長モデリング

  鈴木基史; 喜多僚; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年03月

  
• 高分解能反跳散乱分析法による極浅イオン注入ボロンの分析

  笹川薫; 牟礼祥一; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2011年03月

  
• 25pRA-12 30keVC_<60^+>イオンのSi中の飛程に対するクラスター効果(25pRA 放射線物理(固体との相互作用・クラスター),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  森田 陽亮; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 鳴海 一雅; 齋藤 勇一

  日本物理学会講演概要集, 2011年03月

  
• コンビナトリアル局所プラズモン共振器の作製と光による発熱特性

  名村今日子; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2010年10月

  
• 高温斜め蒸着によるGeナノウィスカの成長

  原英貴; 鈴木基史; 浜地健次; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2010年10月

  
• 斜め蒸着‐イオンビームエッチングによる薄膜のナノ形態制御

  森若大貴; 鈴木基史; 白井友也; 中嶋薫; 木村健二

  日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集, 2010年10月

  
• 絶縁体表面における高速イオン・分子イオンの斜入射散乱

  中嶋薫

  原子衝突研究協会年会講演概要集, 2010年08月

  
• β‐FeSi₂薄膜を用いた分光選択赤外線源の開発

  兼子泰幸; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二; 春次良彦; 若林英信; 牧野俊郎; 秋山賢輔

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年08月

  
• 局所プラズモン共振器の光による発熱特性

  名村今日子; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年08月

  
• 24aRD-7 KCI(001)表面で鏡面散乱したC_<60^+>イオンのC_2放出(24aRD 放射線物理・原子分子放射線融合(表面・イオン照射),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  前川 真吾; 高木 慎平; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2010年08月

  
• 24aRD-9 イオン性結晶の表面軸チャネリングイオンに対する相互作用ポテンシャル(24aRD 放射線物理・原子分子放射線融合(表面・イオン照射),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  鈴木 俊朗; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2010年08月

  
• 高温斜め蒸着における原子の付着率と金属ウィスカ成長の関係

  喜多僚; 鈴木基史; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年03月

  
• 中エネルギーイオン散乱スペクトルの多重散乱補正

  笹川薫; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年03月

  
• 高分解能RBS法の検出器系におけるバックグラウンド・ノイズ低減

  橋元弘貴; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年03月

  
• 斜め蒸着‐イオンビームエッチング法による薄膜のナノ形態制御

  森若大貴; 鈴木基史; 白井友也; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 2010年03月

  
• 高分解能RBSによるイオン液体混合物の表面分析

  大島 伸一; 大野 敦史; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  表面科学学術講演会要旨集, 2010年

  
• 高分解能RBS法による[C_nMIM][TFSI]表面の分析

  中嶋 薫; 大野 敦史; 鈴木 基史; 木村 健二

  表面科学学術講演会要旨集, 2010年

  
• 高温斜め蒸着によるGeウィスカの成長

  原英貴; 鈴木基史; 浜地健次; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2009年09月

  
• 高分解能RBSによる[C_nMIM][TFSI]の表面構造の研究

  大野敦史; 橋元弘貴; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2009年09月

  
• HfO₂/SiO₂/Si(001)のSi基板表面近傍における変位Si原子の評価

  笹川薫; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2009年03月

  
• 高温斜め蒸着による二元金属ウィスカの創製

  浜地健次; 鈴木基史; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2009年03月

  
• 27pRA-12 斜入射高速イオンによるイオン液体表面からの2次イオン放出(27pRA 放射線物理(クラスター・二次粒子放出),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  脇 祐介; 中嶋 薫; 鈴木 俊朗; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2009年03月

  
• 27pRA-13 鏡面反射イオンによりKCl(001)表面から放出される2次電子数と2次イオン収率の相関(27pRA 放射線物理(クラスター・二次粒子放出),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  鈴木 俊朗; 脇 祐介; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2009年03月

  
• 28pSD-4 KCl(001)表面におけるC_<60>^+イオンの斜入射散乱(28pSD 領域1シンポジウム:エキゾチックな粒子ビームと固体・表面との相互作用,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  松下 知義; 高木 慎平; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2009年03月

  
• Secondary ion emission from a KCl(001) surface by grazing-angle incidence of swift ions

  K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura

  14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THE PHYSICS OF HIGHLY CHARGED IONS (HCI 2008), 2009年, 査読有り

  
• Surface analysis using high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima

  Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan, 2008年12月16日

  
• 高分解能RBSを用いた表面・界面の評価

  中嶋 薫; 木村 健二

  表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan, 2008年12月

  
• Novel synthesis of metal nanowhiskers: High-Temperature glancing angle deposition

  Motofumi Suzuki; Kenji Hamachi; Koji Nagai; Ryo Kita; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2008年12月01日

  
• Selective growth of al nanowhiskers on the patterned substrate by glancing angle deposition at high temperature

  Motofumi Suzuki; Ryo Kita; Kenji Hamachi; Koji Nagai; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2008年12月01日

  
• Effect of the surface nanomorphology on the growth of Al whiskers formed by glancing angle deposition on a high temperature substrate

  K. Hamachi; M. Suzuki; K. Nakajima; K. Kimura

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2008年12月01日, 査読有り

  
• Metal Nanowhiskers Synthesized by High-temperature Glancing Angle Deposition

  Motofumi Suzuki; Kenji Hamachi; Ryo Kita; Koji Nagai; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura

  NANOSTRUCTURED THIN FILMS, 2008年, 査読有り

  
• Tailoring coupling of light to local plasmons by using Ag nanorods/dielectric layer/mirror sandwich structures

  Motofumi Suzuki; Yoshikatsu Imai; Hiroki Tokunaga; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  NANOSTRUCTURED THIN FILMS, 2008年, 査読有り

  
• 高温斜め蒸着による金属ウィスカの成長

  浜地健次; 鈴木基史; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2008年10月

  
• 高温斜め蒸着による金属ウィスカの成長

  浜地健次; 鈴木基史; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2008年09月

  
• 近赤外局所プラズモン共振器の開発と表面増強ラマン分光への応用

  今井義勝; 鈴木基史; 徳永博樹; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康維

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2008年09月

  
• 高分解能ラザフォード後方散乱法による表面分析

  木村 健二; 中嶋 薫

  真空, 2008年09月

  
• 高分解能RBSによる歪みSi(001)の酸化初期過程の観察

  入谷健元; 錦織雅弘; 木村健二; 中嶋薫; 鈴木基史

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年03月

  
• トレンチ基板への高温斜め蒸着によるAlウィスカの成長

  喜多僚; 鈴木基史; 浜地健次; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年03月

  
• 高温斜め蒸着によるFeウィスカの成長

  永井孝治; 鈴木基史; 木下定; 木村健二; 中嶋薫

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年03月

  
• 高分解能RBSによるイオン液体表面構造の研究

  大野敦史; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年03月

  
• 23pRB-4 KCl(001)表面で鏡面反射した低速C_<60>^+イオンのエネルギー損失(放射線物理(衝突に伴うエネルギー付与),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  松下 知義; 爲廣 信也; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2008年02月

  
• 23aRB-1 斜入射高速イオンのイオン液体表面での散乱(放射線物理(散乱素過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  脇 祐介; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2008年02月

  
• 加熱基板上への斜め蒸着によるFeウィスカの形成

  永井孝治; 鈴木基史; 木下定; 木村健二; 中嶋薫

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2007年11月

  
• 角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み

  野平 博司; 中嶋 薫; 木村 健二; 服部 健雄

  表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan, 2007年11月

  
• 高分解能RBS法の原理と分析精度

  木村 健二; 中嶋 薫

  表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan, 2007年11月

  
• 高分解能RBSによる歪Si(001)上のGe成長初期過程の観察

  錦織雅弘; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2007年09月

  
• 貴金属ナノロッドアレイを用いた神経ガスVX加水分解物の表面増強ラマン散乱

  福岡隆夫; 鈴木基史; 和田吉典; 中嶋薫; 木村健二; 森康維; 尾崎幸洋

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2007年09月

  
• 21aRF-6 KCl(001)表面における低速グリシンイオンの散乱(放射線・原子分子融合(イオン・表面相互作用),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  為広 信也; 高木 慎平; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2007年08月

  
• 21pRE-3 KCl(001)で鏡面反射したHeH^+分子イオンの解離片に対する表面トラックポテンシャルの影響(放射線物理(エネルギー付与過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  中嶋 薫; 阪田 正和; 千葉 元気; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2007年08月

  
• Agナノロッドアレイによる官能基で修飾したポリスチレンビーズの表面増強ラマン散乱

  和田吉典; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康維

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2007年03月

  
• 反応斜め蒸着によるFe‐Siウィスカの形成

  永井孝治; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2007年03月

  
• 制御されたナノ形態を有する表面での高温斜め蒸着によるAlウィスカの成長

  浜地健次; 鈴木基史; 永井孝治; 木下定; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2007年03月

  
• 18aXK-1 ECRイオン源を用いたグリシンイオンの生成(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  為広 信也; 高木 慎平; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2007年02月

  
• 18aXK-5 斜入射高速イオンによるKC1(00l)表面からの2次イオン放出II(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  中嶋 薫; 千葉 元気; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2007年02月

  
• 18aXK-2 KC1(001)結晶表面で鏡面反射したHeH^+分子イオンの解離過程II(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)

  阪田 正和; 千葉 元気; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2007年02月

  
• 角度分解光電子分光法による深さ方向組成分析の高精度化の試み

  野平 博司; 中嶋 薫; 木村 健二; 服部 健雄

  表面科学, 2007年

  
• 高分解能ＲＢＳ法の原理と分析精度

  木村 健二; 中嶋 薫

  表面科学, 2007年

  
• Plasmonic nanocoatings tailored for surface-enhanced Raman imaging in near-infrared region

  Motofumi Suzuki; Wataru Maekita; Yoshinori Wada; Shuyi Li; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  NANOCOATINGS, 2007年, 査読有り

  
• An approach to self-cleaning SERS sensors by arraying Au nanorods on TiO2 layer

  Shuyi Li; Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  NANOCOATINGS, 2007年, 査読有り

  
• Oxidation process of HfO 2/SiO 2/Si structures observed by high-resolution RBS

  Ming Zhao; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki; Kenji Kimura; Masashi Uematsu; Kazuyoshi Torii; Satoshi Kamiyama; Yasuo Nara; Heiji Watanabe; Kenji Shiraishi; Toyohiro Chikyow; Keisaku Yamada

  ICSICT-2006: 2006 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, Proceedings, 2007年, 査読有り

  
• Physically self-assembled Au nanorod arrays for SERS

  Motofumi Suzuki; Kaoru Nakajima; Kenji Kimura; Takao Fukuoka; Yasushige Mori

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2006年12月01日

  
• 高温基板への斜め蒸着によるアルミニウムナノワイヤーの形成

  永井孝治; 鈴木基史; 木村健二; 中嶋薫; 木下定; 岡野智規; 笹川薫

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2006年08月

  
• HfO₂/SiO₂/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察

  ZHAO Ming; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; 植松真司; 鳥居和功; 神山聡; 奈良安雄; 山田啓作

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2006年08月

  
• 高分解能RBSによるTi/HfO₂/SiO₂/Si(001)の界面反応の観察

  藤吉旭; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2006年08月

  
• 26aWD-2 低速C_<60>^+イオンのKCl(001)表面における中性化(26aWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  為広 信也; 松下 知義; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2006年08月

  
• 26aWD-3 KCl(001)結晶表面で鏡面反射した1〜2MeV HeH^+分子イオンの解離過程(26aWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  阪田 正和; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2006年08月

  
• 高分解能ERD法を用いたLa₂O₃/Si(001)中の水素分析

  中嶋薫; 木村健二; 舘喜一; 角嶋邦之; 岩井洋

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2006年03月

  
• 動的斜め蒸着Agナノロッドアレイの異方性表面増強ラマン散乱

  鈴木基史; 和田吉典; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康維

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2006年03月

  
• 28aTA-1 低速C_<60+>のKCl(001)表面における鏡面反射(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  松下 知義; 為広 信也; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2006年03月

  
• 表面トラックポテンシャル : イオンの通過により生じる絶縁体表面のミクロな帯電(最近の研究から)

  中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理學會誌, 2006年02月

  
• 動的斜め蒸着法による高密度金ナノロッドアレイの形成と表面増強ラマン散乱基板への応用

  鈴木基史; 和田吉典; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康維

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2006年

  
• 高分解能ラザフォード後方散乱法によるサブnmレベルの分析 (特集 放射線を利用した計測・評価技術)

  木村 健二; 中嶋 薫

  放射線と産業, 2006年

  
• 高分解能ラザフォード後方散乱分光法(高分解能RBS)を用いた界面近傍の格子ひずみ測定

  中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN, 2006年

  
• 高分解能RBSによるHfO2/SiO2/Siの酸化過程の観察

  趙 明; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二; 植松 真司; 鳥居 和功; 神山 聡; 奈良 安雄; 渡部 平司; 白石 賢二; 知京 豊祐; 山田 啓作

  表面科学講演大会講演要旨集, 2006年

  
• 高温斜め蒸着による金属ウィスカの気相成長

  鈴木 基史; 永井 孝治; 木下 定; 中嶋 薫; 木村 健二; 岡野 智規; 笹川 薫

  表面科学講演大会講演要旨集, 2006年

  
• High-resolution Rutherford backscattering spectroscopy for Nano-CMOS applications

  Kenji Kimura; Zhao Ming; Kaoru Nakajima; Motofumi Suzuki

  2006 INTERNATIONAL WORKSHOP ON NANO CMOS, PROCEEDINGS, 2006年, 査読有り

  
• Thermal stability of lanthanum oxide/Si(100) interfacial transition layer

  H. Nohira; T. Yoshida; H. Okamoto; W. Sakai; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; Ng Jin Aun; Y. Kobayashi; S. Ohmi; H. Iwai; E. Ikenaga; K. Kobayashi; Y. Takata; T. Hattori

  ECS Transactions, 2005年12月01日

  
• Surface enhanced raman scattering on physically self-assembled Ag nanorod arrays

  M. Suzuki; W. Maekita; Y. Wada; K. Nakajima; K. Kimura; T. Fukuoka; Y. Mori

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2005年12月01日, 査読有り

  
• 銀負イオン注入したSiO₂薄膜の熱処理と高分解能RBSによる深さ分析

  後藤直行; 辻博司; 洗暢俊; 上野和也; 箕谷崇; 木村健二; 中嶋薫; 奥峰徹也; 足立浩一郎; 小滝浩; 後藤康仁; 石川順三

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2005年09月

  
• SiO₂/Si(001)界面ひずみの酸化プロセス依存性

  中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; 山本雅士; 寺本章伸; 大見忠弘; 服部健雄

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2005年09月

  
• 動的斜め蒸着Agナノ粒子アレイの近赤外表面増強ラマン散乱基板への応用

  鈴木基史; 和田吉典; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康維

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2005年09月

  
• 動的斜め蒸着Agナノ粒子アレイにおける局所電場増強

  鈴木基史; 和田吉典; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫; 森康雄

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2005年09月

  
• Photocatalysis of columnar TiO2 thin films

  M Suzuki; K Kishimoto; W Maekita; K Nakajima; K Kimura

  Kinetics-Driven Nanopatterning on Surfaces, 2005年

  
• Suppression of reaction between si substrate and obliquely deposited Fe atoms

  S Jomori; M Suzuki; K Nakajima; K Kimura

  Kinetics-Driven Nanopatterning on Surfaces, 2005年, 査読有り

  
• Dichroism of thin films containing aligned Ag nanoparticles prepared by multi-source dynamic oblique deposition.

  W Maekita; M Suzuki; K Kishimoto; K Nakajima; K Kimura

  Kinetics-Driven Nanopatterning on Surfaces, 2005年, 査読有り

  
• Siの同位体を用いた熱酸化に伴う酸化膜中へのSi放出の観測

  細井重孝; 中嶋薫; 鈴木基史; 清水康雄; 深津茂人; 伊藤公平; 植松真司; 影島博之; 白石賢二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2005年03月

  
• 高分解能RBS/channelingによる歪みSi/Si_0.8Ge_0.2中の歪みの評価

  松下知義; 酒井渉; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; AGARWAL A; GOSSMANN H‐J

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2005年03月

  
• 金属ナノ粒子アレイの物理的自己組織化

  鈴木基史; 前北渉; 和田吉典; 岸本一昭; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2005年03月

  
• Fe‐Si成長初期過程における斜め蒸着効果

  城森慎司; 鈴木基史; 木下恒平; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2005年03月

  
• 動的斜め蒸着法により作製したAgナノ粒子アレイの局所プラズモン共鳴特性

  前北渉; 鈴木基史; 中嶋薫; 木村健二; 福岡隆夫

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2005年03月

  
• 25aYJ-7 斜入射高速イオンによるKC1(001)表面からの2次イオン放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))

  中嶋 薫; 山崎 成晴; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2005年03月

  
• 銀負イオン注入熱酸化薄膜における銀の熱拡散とナノ粒子形成

  辻博司; 洗暢俊; 中塚博之; 後藤直行; 箕谷崇; 小嶋研史; 木村健二; 中嶋薫; 奥峰徹也; 足立浩一郎; 小滝浩; 後藤康仁; 石川順三

  真空に関する連合講演会講演予稿集, 2005年

  
• Direct formation of arrays of prolate Ag nanoparticles by dynamic oblique deposition

  M Suzuki; W Maekita; K Kishimoto; S Teramura; K Nakajima; K Kimura; Y Taga

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS, 2005年

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• Photocatalysis of columnar TiO2 thin films

  M Suzuki; K Kishimoto; W Maekita; K Nakajima; K Kimura

  Kinetics-Driven Nanopatterning on Surfaces, 2005年, 査読有り

  
• 5keV Si⁺注入により歪みSi/Si_0.8Ge_0.2に生じた欠陥の熱処理による回復

  松下知義; 酒井渉; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; AGARWAL A; GOSSMANN H‐J

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察―II

  鈴木基史; 木下恒平; 城森慎司; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察―III

  城森慎司; 木下恒平; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• 動的斜め蒸着法によるAg‐SiO₂偏光膜の作製

  前北渉; 鈴木基史; 岸本一昭; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• 高分解能RBS法によるAg/Si(111)の界面格子ひずみの測定

  細井重孝; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• LaO_x/Si界面組成遷移層の化学結合状態の熱処理依存性

  野平博司; 吉田徹史; 酒井渉; 中嶋薫; NG J A; 小林洋一; 大見俊一郎; 池永英司; 小林啓介

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• GdO_x/Si界面組成遷移層の化学結合状態の深さ方向分布の熱処理依存性

  吉田徹史; 岡本英介; 酒井渉; 中嶋薫; 吉田丈治; 大見俊一郎; 岩井洋; 池永英司; 小林啓介

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2004年09月

  
• 13aTG-3 低速 Ar^+ イオンの KC1(001) 表面における中性化 II(放射線物理, 領域 1)

  中嶋 薫; 辻岡 照泰; 田中 晋介; 中本 篤; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2004年08月

  
• TiO₂動的斜め蒸着膜の光触媒特性の膜厚依存

  鈴木基史; 岸本一昭; 前北渉; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2004年03月

  
• 歪みSi/Si_0.7Ge_0.3への5keV Si⁺イオン注入による照射損傷

  松下知義; 酒井渉; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; AGARWAL A; GOSSMANN H‐J

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2004年03月

  
• Si(111)上にエピタキシャル成長した極薄CeO₂薄膜の構造

  城森慎司; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; 西川幸江; 松下大介; 山口豪; 佐藤暢高

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2004年03月

  
• 高分解能RBSによるFe‐Si薄膜成長初期過程の観察

  木下恒平; 鈴木基史; 今泉亮; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2004年03月

  
• 27aXP-5 KCl(001)表面に斜入射した2MeV He^+イオンによるコンボイ電子の放出(放射線物理)(領域1)

  中本 篤; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2004年03月

  
• Recent developments in nuclear methods in support of. semiconductor characterization

  B Brijs; H Bender; C Huyghebaert; T Janssens; W Vandervorst; K Nakajima; K Kimura; K Nakajima; K Kimura; A Bergmaier; G Dollinger; JA van den Berg

  ANALYTICAL AND DIAGNOSTIC TECHNIQUES FOR SEMICONDUCTOR MATERIALS, DEVICES, AND PROCESSES, 2003年, 査読有り

  
• 酸化によるSi/Si_0.7Ge_0.3の深さ方向組成変化

  黒岩諭人; 広瀬佳久; 酒井渉; 中嶋薫; 鈴木基史; 沢野憲太郎; 中川清和; 白木靖寛; 服部健雄

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003年08月

  
• ナノ形態制御薄膜の屈折率制御―II

  鈴木基史; KAMINSKA K; ROBBIE K; 木村健二; 中嶋薫; 多賀康訓

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003年08月

  
• 斜入射スパッタリングを用いた高分解能RBSの深さ分解能の向上

  酒井渉; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003年08月

  
• RDE法によって作製したFe‐Si薄膜の高分解能RBS分析

  木下恒平; 今泉亮; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二; 末益崇; 長谷川文夫

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003年08月

  
• 20aTD-6 低速 Ar^+ イオンの KCI(001) 表面における中性化

  田中 晋介; 辻岡 照泰; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2003年08月

  
• ナノ形態制御薄膜による屈折率制御―Monte Carlo simulationによるアプローチ

  鈴木基史; 中嶋薫; ROBBIE K; KAMINSKA K; 多賀康訓

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2003年03月

  
• La₂O₃,Gd₂O₃およびLu₂O₃極薄膜の高分解能RBSによる分析

  中嶋薫; 城森慎司; 鈴木基史; 木村健二; 大見俊一郎; 岩井洋

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2003年03月

  
• 28pXD-5 表面トラックポテンシャルの阻止能への影響

  前田 謙一郎; 辻岡 照泰; 中嶋 薫; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2003年03月

  
• 31aWD-1 高分解能 RBS による Si(001)(2×1) 清浄表面近傍の格子ひずみ測定

  中嶋 薫; 羽野 仁彦; 鈴木 基史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2003年03月

  
• 高分解能ラザフォード後法散乱法を用いた極浅ドーパントの深さプロファイル分析

  木村 健二; 大田 行俊; 中嶋 薫; 鈴木 基史

  真空, 2003年

  
• Composition, chemical structure and electronic band structure of rare earth Oxide/Si(100) interfacial transition layer

  T. Hattori; T. Yoshida; T. Shiraishi; K. Takahashi; H. Nohira; S. Joumori; K. Nakajima; M. Suzuki; K. Kimura; K. Kashiwagi; S. Ohmi; C. Ohshima; H. Iwai

  2003 International Semiconductor Device Research Symposium, ISDRS 2003 - Proceedings, 2003年

  
• 高分解能RBS/channelingを用いたSiO₂/Si(001)の界面分析

  羽野仁彦; 中嶋薫; 鈴木基史; 木村健二

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2002年09月

  
• 6pWE-2 RBS測定によるエネルギーストラグリングの評価(放射線物理,領域1)

  中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2002年08月

  
• 極薄シリコン酸窒化膜中の窒素分布の測定 高分解能RBSとSIMSの比較

  中嶋薫; 城森慎司; 木村健二; 小林一; 三輪司郎; 佐鳥浩太郎

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2002年03月

  
• 極低エネルギーでイオン注入したホウ素の深さ分布の高分解能RBSによる測定

  太田行俊; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2002年03月

  
• 25aZA-2 イオン照射によるSi(111)表面のクレータ状損傷の形成(25aZA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理分野))

  太田 行俊; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2002年03月

  
• 27pYF-3 Ge/Si(001)酸化初期過程の高分解能RBSによる観察(27pYF 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長分野))

  中嶋 薫; 羽野 仁彦; 木下 恒平; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2002年03月

  
• 高分解能RBSによるZrO₂(2nm)/Al₂O₃(1nm)/Si中の元素の深さ分布の測定

  木村健二; 中嶋薫; IMEC Bert Brijs

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2001年09月

  
• 18pTD-5 2次電子放出に対する表面粗さの効果

  前田 謙一郎; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2001年09月

  
• 20aTF-6 高分解能RBSによるSi(111)酸化初期過程

  中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2001年09月

  
• F02-(1) イオンビームを用いた1原子層ごとの元素分析(ナノへの挑戦)(材料力学部門企画)

  木村 健二; 中嶋 薫

  年次大会講演資料集, 2001年08月

  
• 高分解能 RBS 装置の開発

  木村 健二; 中嶋 薫

  表面科学, 2001年07月

  
• Nitrogen profile in SiOxNy prepared by thermal nitridation of ozone oxide

  K Nakajima; K Kimura; A Kurokawa; S Ichimura; H Fukuda

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2001年06月

  このMISCにアクセスする：

  
• Anomalous surface amorphization of Si(001) induced by 3-5 keV Ar+ ion bombardment

  K Nakajima; H Toyofuku; K Kimura

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 2001年04月

  このMISCにアクセスする：

  
• CVDホモエピタキシャルダイヤモンドの高分解能ERDによる水素分析

  中嶋薫; 木村健二; 山中貞則; 長谷川雅考; 大串秀世

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2001年03月

  
• He⁺イオン照射によるシリコン酸窒化膜からの窒素の脱離

  中嶋薫; 木村健二; 小林一; 三輪司郎; 佐鳥浩太郎

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2001年03月

  
• 28pZE-6 鏡面反射イオンのエネルギー損失と二次電子放出の同時計測

  前田 謙一郎; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2001年03月

  
• Oxidation of Si(001) surfaces studied by high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  Kaoru Nakajima; Yasutaka Okazaki; Kenji Kimura

  Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers, 2000年12月01日

  このMISCにアクセスする：

  
• Nitrogen depth profiling in ultrathin silicon oxynitride films with high-resolution rutherford backscattering spectroscopy

  Kenji Kimura; Kaoru Nakajima; Yasutaka Okazaki; Hajime Kobayashi; Shiro Miwa; Kotaro Satori

  Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers, 2000年12月01日

  このMISCにアクセスする：

  
• 22aWB-11 Si(001)酸化初期過程の高分解能RBSによる観察

  中嶋 薫; 岡崎 康敬; 保坂 憲之; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2000年09月

  
• 23pYN-2 2次電子放出に対するKCl(001)表面の局所帯電効果

  臼井 悟史; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 2000年09月

  
• 高分解能RBSを用いたシリコン(001)表面の酸化初期過程の研究

  岡崎康敬; 中嶋薫; 木村健二

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2000年03月

  
• 高分解能RBSによる酸窒化シリコン薄膜の窒素分布測定

  中嶋薫; 保坂憲之; 岡崎康敬; 木村健二; 小林一; 三輪司郎; 佐鳥浩太郎

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2000年03月

  
• 27aB-5 低速希ガス原子に対するKCI(001)表面の阻止能

  中嶋 薫; 園部 真也; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 1999年09月

  
• 28a-XK-11 表面チャネリングイオンの2次電子放出

  安堂 豪; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 1999年03月

  
• 28p-S-6 高分解能RBS法で観察したGe/Si(001)界面の相互拡散

  中嶋 薫; 小西 厚史; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 1999年03月

  
• Comparative growth kinetics of SiGe in a commercial reduced pressure chemical vapour deposition EPI reactor and anomalies during growth of thin Si layers on SiGe

  M Caymax; R Loo; B Brijs; W Vandervorst; DJ Howard; K Kimura; K Nakajima

  EPITAXY AND APPLICATIONS OF SI-BASED HETEROSTRUCTURES, 1998年, 査読有り

  
• 高分解能RBSによる極低エネルギーイオン注入Si(100)の非晶質化の研究

  豊福久巳; 中嶋薫; 木村健二; AGARWAL A; GOSSMANN H‐J

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 1998年09月

  
• 25p-J-1 鏡面反射水素イオンによるKCl(001) 表面からの2次電子放出

  安堂 豪; 中嶋 薫; 木村 健二

  日本物理学会講演概要集, 1998年09月

  
• 25p-J-2 低速希ガス原子に対するSnTe(001) 表面の阻止能

  中嶋 薫; 福住 幸大; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1998年09月

  
• 斜入射スパタリングによる表面の平滑化

  福井彰; 中嶋薫; 木村健二; 万波通彦

  応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 1998年03月

  
• 2p-YF-12 高分解能ERDAシステムの開発

  中嶋 薫; 井村 英樹; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1998年03月

  
• 30p-K-1 鏡面反射Heイオンの2次電子放出

  大木 俊; 安藤 豪; 中嶋 薫; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1998年03月

  
• 5a-YC-5 炭素薄膜を透過したMeV Bクラスターイオンのエネルギー損失

  鳴海 一雅; 中嶋 薫; 木村 健二; 万波 通彦; 斎藤 勇一; 山本 春也; 青木 康; 楢本 洋

  日本物理学会講演概要集, 1997年09月

  
• 5a-YC-9 鏡面反射イオンの二次電子放出

  大木 俊; 安堂 豪; 中嶋 薫; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1997年09月

  
• 5a-YC-12 磁場型エネルギー分析器を用いた高分解能ERDA

  中嶋 薫; 井村 英樹; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1997年09月

  
• 29a-YD-7 高分解能RBS法による表面原子の熱振動の観察

  中嶋 薫; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集, 1997年03月

  
• 28a-T-4 Te終端GaAs(001)表面上におけるZnSeの成長形態と欠陥生成

  大竹 晃浩; 郭 立信; 安田 哲二; 木村 康三; 三輪 司郎; 木村 健二; 中嶋 薫; 八百 隆文

  日本物理学会講演概要集, 1997年03月

  
• 28a-S-9 PbSe(111)ホモエピタキシャル成長中の鏡面反射イオンの強度振動

  中嶋 薫; 藤居 義和; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集. 秋の分科会, 1995年09月

  
• 2a-Q-6 PbSe(111)(√<3>×√<3>)R30°の高分解能RBSによる観察

  中嶋 薫; 藤居 義和; 長枝 浩; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集. 秋の分科会, 1994年08月

  
• 28a-WB-2 鏡面反射イオン分光によるlayer-by-layer成長表面のその場観察

  中嶋 薫; 藤居 義和; 鳴海 一雅; 木村 健二; 万波 通彦

  日本物理学会講演概要集. 年会, 1994年03月

  

講演・口頭発表等

• 表面・界面分析の基礎と応用 イオン散乱分光法

  中嶋薫; 笹川薫

  表面科学基礎講座, 2014年06月04日

  
• イオン散乱分光法

  中嶋薫; 笹川薫

  表面科学基礎講座, 2013年10月16日

  
• イオン散乱分光法

  中嶋薫; 笹川薫

  表面科学基礎講座, 2013年07月09日

  
• イオン散乱分光法

  中嶋薫; 笹川薫

  表面科学基礎講座, 2012年10月16日

  
• イオン散乱分光法

  中嶋薫; 笹川薫

  表面科学基礎講座, 2012年07月10日

  
• イオン散乱分光法

  中嶋薫

  表面科学基礎講座, 2011年09月14日

  
• イオン散乱分析の基礎と高分解能ラザフォード後方散乱

  中嶋薫

  表面科学基礎講座, 2009年11月25日

  

書籍等出版物

• 最新 実用真空技術総覧

  中嶋 薫, 分担執筆, 第5編第2節 イオン散乱法

  株式会社 エヌ・ティー・エス, 2019年02月, 査読無し

  
• Advances in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms(jointly worked)

  中嶋 薫

  Elsevier Science B. V.,, 1997年, 査読無し

  

受賞

• 2002年

  日本表面科学会, 表面科学技術賞

外部資金：科学研究費補助金

• 高エネルギークラスターイオンを用いた新しい顕微質量分析法

  基盤研究(A)

  京都大学

  木村 健二

  自 2014年04月01日, 至 2017年03月31日, 完了

  2次イオン質量分析;分子イメージング;フラーレンイオン;熱スパイク;フラーレン;二次イオン質量分析

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26246025/
• ナノ形態制御薄膜-液体系の光熱音響効果に関する研究

  基盤研究(B)

  京都大学

  鈴木 基史

  自 2013年04月01日, 至 2016年03月31日, 完了

  サーモプラズモニクス;動的斜め蒸着;自己組織化;熱工学;マイクロ・ナノデバイス;マランゴニ効果;マイクロ・ナノでバイス

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25286037/
• ＤＮＡ単分子操作を目指した多層膜細孔の作成

  挑戦的萌芽研究

  京都大学

  木村 健二

  自 2012年04月01日, 至 2014年03月31日, 完了

  ナノ細孔;フラーレンイオン;スパッタリング;イオントラック;シリコン窒化膜

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24651114/
• シリコン中ドーパントの超高分解能深さ分布測定法の開発

  基盤研究(C)

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2012年04月01日, 至 2015年03月31日, 完了

  半導体物性;表面・界面物性;軽元素分析;ドーパント;イオン散乱分光法;弾性反跳粒子検出法;アトムプローブ;イオン散乱分光;二次イオン質量分析

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24560027/
• 高分解能RBS法の超高感度化に関する研究

  基盤研究(B)

  京都大学

  木村 健二

  自 2009年04月01日, 至 2012年03月31日, 完了

  ノイズ低減;高分解能RBS;高分解能ERDA;軽元素分析;位置検出器

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360022/
• 飛行時間ERDによるシリコン酸化膜・high-k酸化膜中の水素プロファイル測定

  若手研究(B)

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2007年04月01日, 至 2009年03月31日, 完了

  薄膜;高分解能ERD;水素プロファイル;シリコン酸化膜;high-k酸化膜

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760024/
• 超高感度・高分解能界面分析によるゲート絶縁膜/シリコン界面構造の決定

  基盤研究(B)

  東北大学

  服部 健雄

  自 2007年04月01日, 至 2010年03月31日, 完了

  界面;シリコン酸化膜;シリコン窒化膜;光電子分光法

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360014/
• ディレイラインディテクターを用いた飛行時間RBS、飛行時間ERDの開発

  若手研究(B)

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2005年04月01日, 至 2007年03月31日, 完了

  高分解能RBS;高分解能ERD;飛行時間測定

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17760028/
• ひずみシリコンデバイス開発のための基礎研究

  基盤研究(B)

  京都大学

  木村 健二

  自 2005年04月01日, 至 2008年03月31日, 完了

  ひずみシリコン;高分解能RBS;イオン注入;Ge成長;シリコン初期酸化;ひずみ測定, strain-Si;high-resolution RBS;ion implantation;Ge growth;oxidation of Si

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17360139/
• 動的斜め蒸着法による金属ナノ粒子の形態制御とプラズモニクスへの展開

  基盤研究(B)

  京都大学

  鈴木 基史

  自 2005年04月01日, 至 2008年03月31日, 完了

  ナノ材料;表面・界面物性;光物性;自己組織化;動的斜め蒸着;金属ナノ粒子;局所プラズモン, Nanomaterials;Surface and interfaces;Optical properties;Self-assembly

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17310073/
• 低速イオンビームエッチングと高分解能RBSによる固体内部の高分解能組成分析

  若手研究(B)

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2003年04月01日, 至 2005年03月31日, 完了

  ラザフォード後方散乱分光法;低速イオン;照射損傷;イオンビームエッチング;高分解能

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15760021/
• シリコン(111)表面の酸化初期生成物の構造および反応性に関する研究

  若手研究(B)

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2001年04月01日, 至 2003年03月31日, 完了

  シリコン表面;酸化初期過程;高分解能RBS

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13750030/
• プラズマCVDダイヤモンドのp型表面伝導層の発現機構の解明

  基盤研究(B)

  京都大学

  木村 健二

  自 2001年04月01日, 至 2003年03月31日, 完了

  CVDダイヤモンド;水素分析;高分解能;反跳粒子検出法;表面伝導層;反跳粒子走出法;CDVダイヤモンド, CVD diamond;Hydrogen analysis;High resolution;Elastic recoil detection;Surface conductivity

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13450127/
• 極薄ゲート酸窒化膜中の窒素分布の定量分析法の開発

  基盤研究(B)

  京都大学

  木村 健二

  自 2000年04月01日, 至 2002年03月31日, 完了

  ゲート酸化膜;ラザフォード後方散乱法;SIMS;高分解能;マトリックス効果;窒素分布;ゲート酸窒化膜;AES, gate oxide film;Ratherford backscattering;SIMS;high-resolution;matrix effect;nitrogen profile

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-12555090/
• 高分解能RBS法を用いた極低エネルギーイオン注入の研究

  基盤研究(B)

  京都大学

  木村 健二

  自 1998年04月01日, 至 2001年03月31日, 完了

  高分解能;ラザフォード後方散乱法;極低エネルギーイオン注入;Si(001);非晶質化;軽元素分析;極低エネルギー;イオン注入;イオンチャネリング, high-resolution;Ratherford backscattering;ultra-low energy ion implantation;Si(001);amorphization;analysis of light elements

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10450121/
• 超小型高分解能RBS装置の試作に関する基礎研究

  基盤研究(A)

  京都大学

  木村 健二;万波 通彦

  自 1997年04月01日, 至 2000年03月31日, 完了

  高分解能;ラザフォード後方散乱法;原子レベル分解能;Ge;Si(001)成長初期過程;Si(001)酸化初期過程;軽元素分析;シリコン酸窒化膜;水素分析;酸窒化膜;Si(001);酸化初期過程;超小型;組成分析;結晶性評価;RBS;エピタキシャルシャル成長;熱振動;反跳粒子検出法, high-resolution;Ratherford backscattering;monolayer resolution;growth of Ge;Si(001);initial oxidation process on Si(001);analysis of light elements;silicon oxynitride;hydrogen analysis

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-09355003/
• 高速C60イオンビームによる有機分子薄膜のスパッタリング過程の解明

  基盤研究(C)

  小区分80040:量子ビーム科学関連

  京都大学

  中嶋 薫

  自 2024年04月01日, 至 2027年03月31日, 交付

  スパッタリング;クラスターイオン;有機分子薄膜

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24K15594/

教育

担当科目

• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  固体物性学

  5071, 前期, 工学部, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  機械設計演習１

  5059, 前期, 工学部, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  量子物理学１

  5018, 後期, 工学部, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  物性物理学２

  V205, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  物性物理学１

  G211, 後期, 工学研究科, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  量子物性物理学

  G009, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  固体物性学

  5071, 前期, 工学部, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  機械設計演習１

  5059, 前期, 工学部, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  量子物理学１

  5018, 後期, 工学部, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  物理工学総論Ａ

  5110, 前期, 工学部, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  物性物理学２

  V205, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  物性物理学１

  G211, 後期, 工学研究科, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  量子物性物理学

  G009, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  固体物性学

  5071, 前期, 工学部, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験２

  5057, 後期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  物性物理学２

  V205, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  物理工学総論Ａ

  5110, 後期, 工学部, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験１

  5056, 前期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験３

  5058, 後期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験２

  5057, 前期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  物性物理学１

  G211, 後期, 工学研究科, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験１

  5056, 後期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械システム工学実験３

  5058, 前期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  量子物理学１

  5018, 後期, 工学部, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  量子物性物理学

  G009, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  機械設計演習１

  5059, 前期, 工学部, 2
• 機械システム工学実験3
• 機械製作実習
• 自 2012年04月, 至 2013年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2012年04月, 至 2013年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2013年04月, 至 2014年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2013年04月, 至 2014年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2014年04月, 至 2015年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2014年04月, 至 2015年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  固体物性学

  前期, 工学部
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  機械設計演習１

  前期, 工学部
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2015年04月, 至 2016年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2016年04月, 至 2017年03月

  固体物性学

  前期, 工学部
• 自 2016年04月, 至 2017年03月

  機械設計演習１

  前期, 工学部
• 自 2016年04月, 至 2017年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2016年04月, 至 2017年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  固体物性学

  前期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験１

  前期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験１

  後期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験２

  前期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験２

  後期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  機械設計演習１

  前期, 工学部
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2017年04月, 至 2018年03月

  量子物理学１

  後期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  固体物性学

  前期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験１

  前期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験１

  後期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験２

  前期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験２

  後期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  機械設計演習１

  前期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  物理工学総論Ａ

  後期, 工学部
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  複雑系機械工学セミナーＢ

  後期, 工学研究科
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  複雑系機械工学セミナーＤ

  後期, 工学研究科
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  複雑系機械工学セミナーＦ

  後期, 工学研究科
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2018年04月, 至 2019年03月

  量子物理学１

  後期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  固体物性学

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験１

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験１

  後期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験２

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験２

  後期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験３

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械システム工学実験３

  後期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  機械設計演習１

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  物性物理学２

  前期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  物理工学総論Ａ

  前期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  複雑系機械工学セミナーＢ

  後期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  複雑系機械工学セミナーＤ

  後期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  複雑系機械工学セミナーＦ

  後期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  複雑系機械工学基礎セミナー２

  後期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  量子物理学１

  後期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  固体物性学（機）

  前期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験１（機）

  前期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験１（機）

  後期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験２（機）

  前期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験２（機）

  後期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験３（機）

  前期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械システム工学実験３（機）

  後期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  機械設計演習１（機）

  前期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  物性物理学２

  前期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  複雑系機械工学セミナーＢ

  後期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  複雑系機械工学セミナーＤ

  後期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  複雑系機械工学セミナーＦ

  後期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  複雑系機械工学基礎セミナー２

  後期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  量子物理学１（機：学番偶数）

  後期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  固体物性学（機）

  前期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験１（機）

  前期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験１（機）

  後期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験２（機）

  前期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験２（機）

  後期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験３（機）

  前期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械システム工学実験３（機）

  後期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  機械設計演習１（機）

  前期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  物性物理学１

  後期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  物性物理学２

  前期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  複雑系機械工学セミナーＢ

  後期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  複雑系機械工学セミナーＤ

  後期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  複雑系機械工学セミナーＦ

  後期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  複雑系機械工学基礎セミナー２

  後期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  量子物性物理学

  前期, 工学研究科
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  量子物理学１（機：学番偶数）

  後期, 工学部

大学運営

部局運営(役職等)

• 自 2024年04月01日, 至 2026年03月31日

  桂事業場環境安全衛生委員会　委員
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  桂事業場環境安全衛生委員会　委員
• 自 2015年04月01日, 至 2019年03月31日

  工学研究科・工学部図書委員会　委員

学術・社会貢献

委員歴

• 自 2020年04月, 至 現在

  関西支部役員, 日本表面真空学会
• 自 2019年10月, 至 2020年09月

  領域１放射線物理分科会運営委員, 日本物理学会
• 自 2013年01月, 至 2014年12月

  関西支部 会計監事, 日本真空学会
• 自 2011年01月, 至 2012年12月

  関西支部 庶務幹事・会計幹事, 日本真空学会
• 自 2001年

  放射線物理分野 世話人, 日本物理学会