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土屋 智由

ツチヤ トシユキ

工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻ナノシステム創成工学講座 教授

土屋 智由
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    Last Updated :2022/05/13

    基本情報

    学部兼担

    • 工学部

    学内兼務

    • 学際融合教育研究推進センター, ナノテクノロジーハブ拠点, ユニット長

    所属学協会

    • Institute of Electrical and Electronics Engineers
    • 電気学会
    • 日本機械学会
    • Materials Research Society
    • SPIE, the international society for optics and photonics
    • 応用物理学会

    学位

    • 修士(工学)(東京大学)
    • 博士(工学)(名古屋大学)

    出身大学院・研究科等

    • 東京大学, 大学院工学系研究科修士課程精密機械工学専攻, Department of Precision Mechanical Engineering, 修了
    • 名古屋大学, 大学院工学研究科博士課程後期課程マイクロシステム工学専攻, Department of Microsystem Engineering, 修了

    出身学校・専攻等

    • 東京大学, 工学部精密機械工学科, Department of Precision Mechanical Engineering, 卒業

    経歴

    • 自 2019年09月, 至 現在
      京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 教授
    • 自 2007年04月, 至 2019年08月
      京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 准教授
    • 自 2005年04月, 至 2007年03月
      京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 助教授
    • 自 2004年03月, 至 2005年03月
      京都大学, 大学院工学研究科 機械工学専攻, 助教授
    • 自 1993年04月, 至 2004年02月
      株式会社豊田中央研究所

    プロフィール

    • プロフィール

      半導体微細加工技術を用いて作る小さな機械,微小電気機械システム(MEMS)の研究をしています.主にシリコンを構造体として用いるセンサ(加速度センサ,角速度センサ)やアクチュエータ(ミラー)の設計・製作・評価について,また,MEMSに用いられるマイクロ材料の機械的信頼性の評価について,MEMSを用いたナノ材料の評価デバイスについて,などを研究テーマとしています.

    使用言語

    • 日本語
    • 英語

    ID,URL

    関連Webサイト

    researchmap URL

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      Last Updated :2022/05/13

      研究

      研究テーマ・研究概要

      • 研究テーマ

        ナノ・マイクロ材料の機械物性評価,微小電気機械システム,マイクロシステム,マイクロマシン,慣性センサ
      • 研究概要

        半導体微細加工を用いて作製する微小なセンサ・アクチュエータ,いわゆる微小電気機械システム(MEMS)の研究を行っている.特に静電容量型センサ・アクチュエータとして慣性センサ(加速度センサ,角速度センサ),光アクチュエータ(ミラー)デバイスの設計,製作,評価の研究を行っている.また,これらMEMSデバイスの信頼性に関する研究,マイクロ・ナノ材料の機械的特性の評価法の開発,評価を行っている.

      研究キーワード

      • マイクロ材料の機械的物性評価
      • マイクロ・ナノ機械の信頼性
      • 慣性センサ
      • MEMS,マイクロシステム
      • 慣性力センサ
      • マイクロマシン
      • マイクロシステム工学
      • MEMS
      • 薄膜材料の機械物性評価
      • Mechanical Properties Evaluation of Thin films
      • MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
      • Micro System Engineering

      研究分野

      • 情報通信, 機械力学、メカトロニクス
      • 情報通信, ロボティクス、知能機械システム
      • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学), 材料力学、機械材料
      • ナノテク・材料, ナノマイクロシステム
      • ナノテク・材料, ナノ材料科学

      論文

      • Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component
        Shun Kiyose; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Japanese Journal of Applied Physics, 2021年06月01日
      • Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement
        Takashi Miyazaki; Yoshikazu Hirai; Ken‐ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electronics and Communications in Japan, 2021年06月
      • Uniform needle-emitter arrays for ionic liquid electrospray thrusters with precise thrust control
        Fumiya Tachibana; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao
        Japanese Journal of Applied Physics, 2021年03月, 査読有り
      • Piezoelectric Disk Gyroscope Fabricated With Single-Crystal Lithium Niobate
        Kazutaka Obitani; Kazutaka Araya; Masanori Yachi; Toshiyuki Tsuchiya
        Journal of Microelectromechanical Systems, 2021年01月, 査読有り
      • 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgan-on-a-Chipの設計法
        宮崎 貴史; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2021年, 査読有り
      • Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film
        Yuanlin Xia; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2021年01月
      • Spin transport in a lateral spin valve with a suspended Cu channel
        Kenjiro Matsuki; Ryo Ohshima; Livio Leiva; Yuichiro Ando; Teruya Shinjo; Toshiyuki Tsuchiya; Masashi Shiraishi
        SCIENTIFIC REPORTS, 2020年07月, 査読有り
      • Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2020年05月, 査読有り
      • Laser-driven optothermal microactuator operated in water
        Qingyang You; Yingda Wang; Ziyao Zhang; Haijun Zhang; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        APPLIED OPTICS, 2020年02月, 査読有り
      • マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法
        宮崎 貴史; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2020年
      • Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids
        Jiaxu Wu; Yoshikazu Hirai; Ken-Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN, 2019年10月, 査読有り
      • Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope
        Yunyi Shu; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2019年06月, 査読有り
      • Ferroelectric Extended Nanofluidic Channels for Room‐Temperature Microfuel Cells
        Yuriy Pihosh; Yutaka Kazoe; Kazuma Mawatari; Hangyeol Seo; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Kenji Kitamura; Masahiro Tosa; Ivan Turkevych; Takehiko Kitamori
        Advanced Materials Technologies, 2019年06月, 査読有り
      • Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film
        Wenlei Zhang; Kazutaka Obitani; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2019年02月, 査読有り
      • AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定
        山下 直輝; 朴 晟洙; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2019年01月, 査読有り
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        実験力学, 2019年01月, 査読有り
      • 心臓拍動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス
        呉 家旭; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2019年01月, 査読有り
      • 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測
        土屋 智由; 鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修
        実験力学, 2019年01月, 査読有り
      • がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発
        植田 啓太; 萩原 健; 平井 義和; 近藤 純平; 井上 正宏; 土屋 智由; 亀井 謙一郎; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年
      • Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        SENSORS AND MATERIALS, 2018年09月, 査読有り
      • Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 2018年07月01日, 査読有り
      • Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film
        Wenlei Zhang; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Applied Surface Science, 2018年06月15日, 査読有り
      • Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device
        Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun-Ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        Applied Sciences (Switzerland), 2018年05月28日, 査読有り
      • Numerical Investigation of Steady and Transient Ion Beam Extraction Mechanisms for Electrospray Thrusters
        Kazuma Emoto; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao
        Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan, 2018年03月, 査読有り
      • High-Yield Bridged Assembly of ssDNA-Modified SWCNT Using Dielectrophoresis
        Yusuke Shiomi; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        International Journal of Automation Technology, 2018年01月05日
      • Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs
        Zhipeng Ma; Yunfei Huang; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Do-Nyun Kim; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Yamada; Osamu Tabata
        Small, 2018年01月04日, 査読有り
      • リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 (特集 平成29年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会)
        稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2018年01月, 査読有り
      • リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明
        稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2018年, 査読有り
      • 静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築
        宇野 亜季子; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2018年, 査読有り
      • 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価
        辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2018年
      • Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2017年11月, 査読有り
      • Microfabricated emitter array for an ionic liquid electrospray thruster
        Kaito Nakagawa; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2017年06月, 査読有り
      • Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design
        Zhipeng Ma; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method
        Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Dry Etching and Low-Temperature Direct Bonding Process of Lithium Niobate Wafer for Fabricating Micro/Nano Channel Device
        Toshiyuki Tsuchiya; Koji Sugano; Hideki Takahashi; H. Seo; Yuriy Pihosh; Yutaka Kazoe; Kazuma Mawatari; Takehiko Kitamori; Osamu Tabata
        The 19th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers2017), 2017年06月, 査読有り
      • Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro
        Ken-ichiro Kamei; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Shinji Ito; Junko Satoh; Atsuko Oka; Toshiyuki Tsuchiya; Yong Chen; Osamu Tabata
        RSC ADVANCES, 2017年, 査読有り
      • 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデル Body on a Chi
        亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修
        バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2017年
      • 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価
        辻 勇亮; 中野 優; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017年
      • Fracture behavior of single crystal silicon with thermal oxide layer
        Toshiyuki Tsuchiya; Kenji Miyamoto; Koji Sugano; Osamu Tabata
        ENGINEERING FRACTURE MECHANICS, 2016年09月, 査読有り
      • Crystal orientation-dependent fatigue characteristics in micrometer-sized single-crystal silicon
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2016年07月, 査読有り
      • Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016年06月, 査読有り
      • Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2016年06月, 査読有り
      • 培養細胞を用いたスクリーニング系の構築、毒性評価 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発
        亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修
        組織培養研究, 2016年03月
      • Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper
        Toshiyuki Tsuchiya; Yusuke Kogita; Akira Taniyama; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016年02月, 査読有り
      • Effect of localized KrF excimer laser treatment on fracture behaviors of freestanding < 110 > and < 100 > single crystal silicon beams
        M. Elwi Mitwally; T. Tsuchiya; O. Tabata; S. Sedky
        MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2016年02月, 査読有り
      • 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
        加藤 義基; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2016年, 査読有り
      • Graphene film development on flexible substrate using a new technique: temperature dependency of gauge factor for graphene-based strain sensors
        Sahour Sayed; Mohammed Gamil; Ahmed Fath El-Bab; Koichi Nakamura; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Ahmed Abd El-Moneim
        SENSOR REVIEW, 2016年, 査読有り
      • Effect of Localized Laser Treatment on Fatigue Performance of Single-Crystal Silicon Microstructures
        Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky
        SENSORS AND MATERIALS, 2016年, 査読有り
      • Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Floris van Kempen; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Fred van Keulen; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2015年12月, 査読有り
      • Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2015年12月, 査読有り
      • 高感度表面増強ラマン分光分析に向けたマイクロ流路内粒子凝集反応解析
        菅野 公二; 片山 拓; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2015年11月01日, 査読有り
      • ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価
        菅野 公二; 平岡 亮二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 2015年11月01日, 査読有り
      • Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy
        Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyun Kim; Osamu Tabata
        Micro & Nano Letters, 2015年10月, 査読有り
      • High-speed pulsed mixing in a short distance with high-frequency switching of pumping from three inlets
        K. Sugano; A. Nakata; T. Tsuchiya; O. Tabata
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2015年08月, 査読有り
      • ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis
        Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata
        SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2015年07月, 査読有り
      • ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis
        Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata
        SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2015年07月, 査読有り
      • High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure
        Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015年06月, 査読有り
      • High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behaviour of single crystal silicon microstructure
        Akio Uesugi; akahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2015年01月, 査読有り
      • Effect of localized KrF excimer laser treatment on fracture behaviors of freestanding and single crystal silicon beams
        Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky
        Microsystem Technologies, 2015年01月, 査読有り
      • Surface roughness modification of free standing single crystal silicon microstructures using KrF excimer laser treatment for mechanical performance improvement
        Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky
        Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology, 2015年, 査読有り
      • ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価
        菅野公二; 平岡亮二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会論文誌(センサ・マイクロマシン部門誌), 2015年, 査読有り
      • Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment
        Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014年06月, 査読有り
      • Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers
        Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2014年03月, 査読有り
      • Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators
        Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2014年03月, 査読有り
      • Study on vibration-coupling control of out-of-plane coupled resonator for anti-shock tuning fork gyroscopes
        Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2014年, 査読有り
      • Effects of etching surface roughness on the fatigue characteristics of single-crystal silicon
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2014年, 査読有り
      • On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet
        K. Tsujimoto; K. Ban; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; N. Mizutani; O. Tabata
        Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013年11月, 査読有り
      • Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer
        Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electronics and Communications in Japan, 2013年05月, 査読有り
      • Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity
        Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013年03月, 査読有り
      • (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響
        上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会論文集A編, 2013年01月
      • MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション
        平井 義和; 柳生 裕聖; 牧野 圭秀; 上杉 晃生; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2013年, 査読有り
      • Effect of surface morphology and crystal orientations on tensile fracture property of (110) single crystal silicon
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, A Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part A, 2013年, 査読有り
      • Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration
        Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2012年11月, 査読有り
      • Fatigue of 1 mu m-scale gold by vibration with reduced resonant frequency
        Takashi Sumigawa; Kenta Matsumoto; Toshiyuki Tsuchiya; Takayuki Kitamura
        MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 2012年10月, 査読有り
      • Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        POLYMER, 2012年09月, 査読有り
      • Low-Cycle to Ultrahigh-Cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single-Crystal-Silicon Specimens Using a Microresonator Test Device
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年08月, 査読有り
      • Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes
        Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り
      • Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection
        Ahmed M. R. Fath El Bab; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り
      • Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator
        Alex Man Ho Kwan; Sichao Song; Xing Lu; Lei Lu; Ying-Khai Teh; Ying-Fei Teh; Eddie Wing Cheung Chong; Yan Gao; William Hau; Fan Zeng; Man Wong; Chunmei Huang; Akira Taniyama; Yoshihide Makino; So Nishino; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り
      • Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing
        Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Koji Sugano; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り
      • 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
        片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り
      • 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験
        種村 友貴; 山下 秀一; 和戸 弘幸; 竹内 幸裕; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り
      • 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験
        上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り
      • Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators
        Wen-Ming Zhang; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Guang Meng
        PHYSICS LETTERS A, 2011年07月, 査読有り
      • チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2011年, 査読有り
      • Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer
        Koji Sugano; Takashi Ozaki; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        SENSORS AND MATERIALS, 2011年, 査読有り
      • Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique
        K.Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        International workshop on micro/nano-engineering, 2011年, 査読有り
      • Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system
        Koji Sugano; Yuki Uchida; Osamu Ichihashi; Hideo Yamada; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 2010年12月, 査読有り
      • Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist
        Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010年10月, 査読有り
      • A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property
        Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010年06月, 査読有り
      • Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment
        T. Tsuchiya; Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata
        EXPERIMENTAL MECHANICS, 2010年04月, 査読有り
      • Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens
        T. Ikehara; T. Tsuchiya
        MICRO & NANO LETTERS, 2010年02月, 査読有り
      • 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
        菅野 公二; 内田 雄喜; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年, 査読有り
      • 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年, 査読有り
      • Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        SENSORS AND MATERIALS, 2010年, 査読有り
      • Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating
        Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuro Ikeda; Akifumi Tsunematsu; Koji Sugano; Osamu Tabata
        SENSORS AND MATERIALS, 2010年, 査読有り
      • A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator
        Yuuki Nishimori; Hideta Ooiso; Shunsuke Mochizuki; Nobuyo Fujiwara; Toshiyuki Tsuchiya; Gen Hashiguchi
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2009年12月, 査読有り
      • Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit
        Nobuyo Fujiwara; Kazuo Asami; Yasuroh Iriye; Tomoyuki Koike; Toshiyuki Tsuchiya; Gen Hashiguchi
        IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2009年05月, 査読有り
      • Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes
        Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Hamaguchi; Koji Sugano; Osamu Tabata
        IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2009年05月, 査読有り
      • Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micro mechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon films
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2009年05月, 査読有り
      • Free-standing C(60) nanowire fabricated using XeF(2) sacrificial dry etching
        Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2009年01月, 査読有り
      • Free-standing (C60) nanowire fabricated using XeF2 sacrificial dry etching
        Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata
        Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2009年, 査読有り
      • Micro machined tactile sensor for soft tissue compliance detection
        A. M. R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. E. H. Eltaib; M. M. Sallam
        PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 2009年, 査読有り
      • MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity
        Yoshikazu Hirai; Hideaki Yoshimune; Kazuya Tsujimoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 2009年, 査読有り
      • 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価
        土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修
        日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月
      • High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens
        T. Ikehara; T. Tsuchiya
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008年07月, 査読有り
      • Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold
        M. Komori; H. Uchiyama; H. Takebe; T. Kusuura; K. Kobayashi; H. Kuwahara; T. Tsuchiya
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008年06月, 査読有り
      • Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron
        Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2008年05月, 査読有り
      • Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution
        Kenji Miyamoto; Tomoya Jornori; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2008年05月, 査読有り
      • Air damping in a fan-shaped rotational resonator with comb electrodes
        Yuki Uchida; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Tsuyoshi Ikehara
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り
      • Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue
        Ahmed M. R. Fath El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam
        電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 2008年, 査読有り
      • DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル
        日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        粉体工学会, 2008年, 査読有り
      • 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計
        吉川 弥; 篠部 晃生; 菅野 公二; 土屋 智由; 石田 章; 田畑 修
        電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 2008年
      • Design construction of beam structured vertical drive SMA thin film actuator for small tactile display
        Wataru Yoshikawa; Akio Sasabe; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Akira Ishida; Osamu Tabata
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り
      • Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer
        Takashi Ozaki; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2007年06月
      • High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system
        Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 2007年05月
      • Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring
        Yoshikazu Hirai; Yoshiteru Inamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2007年02月
      • 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル
        樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 2007年, 査読有り
      • Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films
        T Tsuchiya; M Hirata; N Chiba; R Udo; Y Yoshitomi; T Ando; K Sato; K Takashima; Y Higo; Y Saotome; H Ogawa; K Ozaki
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2005年10月
      • Tensile testing of silicon thin films
        T Tsuchiya
        FATIGUE & FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS & STRUCTURES, 2005年08月
      • Young's modulus, fracture strain, and tensile strength of sputtered titanium thin films
        T Tsuchiya; M Hirata; N Chiba
        THIN SOLID FILMS, 2005年07月
      • A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes
        T Tsuchiya; H Funabashi
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2004年10月
      • CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価
        中野 由崇; 土屋 智由; 坂田 二郎
        電気学会論文誌E(センサマイクロマシン準部門誌), 2004年, 査読有り
      • Characteristics of Grain Boundaries in Polycrystalline Si Films fabricated by Chemical Vapor Deposition and Subsequent Annealing
        Yoshitaka Nakano; Toshiyuki Tsuchiya; Jiro Sakata
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2004年, 査読有り
      • 薄膜引張試験による多結晶シリコン膜のヤング率測定
        土屋 智由; 船橋 博文
        The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan (電気学会E部門論文誌), 2003年
      • MEMS/NEMSと機械的物性評価
        土屋 智由
        まてりあ : 日本金属学会会報, 2002年10月20日
      • Formation of porous grain boundaries in polycrystalline silicon thin films
        Y Kageyama; Y Murase; T Tsuchiya; H Funabashi; J Sakata
        JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2002年06月, 査読有り
      • Tensile testing system for sub-micrometer thick films
        T Tsuchiya; M Shikida; K Sato
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2002年04月, 査読有り
      • Polysilicon vibrating gyroscope vacuum-encapsulated on-chip micro chamber
        Toshiyuki Tsuchiya; Yasuyuki Kageyama; Hirofumi Funabashi; Jiro Sakata
        Sensors and Actuators, A: Physical, 2001年05月01日, 査読有り
      • Vibrating gyroscope consisting of three layers of polysilicon thin films
        Toshiyuki Tsuchiya; Yasuyuki Kageyama; Hirofumi Funabashi; Jiro Sakata
        Sensors and Actuators, A: Physical, 2000年05月15日, 査読有り
      • Tensile testing of insulating thin films; humidity effect on tensile strength of SiO2 films
        T Tsuchiya; A Inoue; J Sakata
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2000年05月, 査読有り
      • Tensile Testing of Insulating Thin Films using Electrostatic Force Grip
        Toshiyuki Tsuchiya; Jiro Sakata
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 1999年, 査読有り
      • Specimen size effect of tensile strength of surface-micromachined polycrystalline silicon thin films
        T Tsuchiya; O Tabata; J Sakata; Y Taga
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 1998年03月, 査読有り
      • Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films Using Electrostatic Force Grip
        Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Jiro Sakata; Yasunori Taga
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 1996年, 査読有り
      • Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film
        Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 1996年, 査読有り

      MISC

      • 有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2020年
      • 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
        亀井謙一郎; 楊建東; 飯田慶; 寺田志穂; 土屋智由; 田畑修; 平井義和
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2020年
      • マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会論文誌 E, 2020年
      • 電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 田畑修; 田畑修; 土屋智由
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2020年
      • PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ
        辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年09月12日
      • Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion
        Ikkei Yamauchi; Tomoki Tabuchi; Yoshikazu Hirai; Masayuki Iwamoto; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Shimizu; Osamu Tabata
        2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日
      • Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation
        Masaki Shimofuri; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日
      • 超小型高推力密度エレクトロスプレースラスタの研究開発
        鷹尾 祥典; 土屋 智由; 長尾 昌善; 村上 勝久
        日本航空宇宙学会誌, 2019年01月05日, 査読有り
      • 有限要素解析を用いた経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス内電極形状の設計
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2019年
      • PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ
        辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年
      • がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発
        植田啓太; 萩原健; 平井義和; 近藤純平; 井上正宏; 土屋智由; 亀井謙一郎; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2019年
      • Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells
        Yoshikazu Hirai; Katsuo Nokamura; Yuichi Kimoto; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium, 2018年12月31日
      • Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018, 2018年11月01日
      • Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope
        Yunyi Shu; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 2018年05月11日
      • Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography
        Yoshikazu Hirai; Yusuke Tsuji; Ken-Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日
      • Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日
      • 経上皮電気抵抗測定に用いる銀/塩化銀平面電極搭載マイクロ流体デバイスの作製
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会研究会資料, 2018年
      • 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価
        辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2018年
      • Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding
        Kenta Terashima; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 2017年10月27日
      • Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Kentaro Kawai
        2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 2017年08月25日
      • MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 2017年07月31日
      • Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes
        Toshiyuki Tsuchiya; Yuki Matsui; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日
      • Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks
        Yoshikazu Hirai; Kenta Terashima; Katsuo Nakamura; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日
      • リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 (フィジカルセンサ ケミカルセンサ マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ・マイクロマシン一般および,センサ・マイクロマシンに共通する次世代ニーズ(ライフやグリーン・イノベーション等,ただしこれに限定しない))
        稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, 2017年06月29日
      • Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography
        K. Nakamura; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata; F. Larramendy; O. Paul
        Proceedings of IEEE Sensors, 2017年01月05日
      • 心筋細胞外電位測定のためのPDMS埋め込み型電極アレイ
        大牧達矢; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • 心筋細胞外電位計測を目指したPDMS埋め込み型電極アレイの作製プロセス
        大牧達也; 平井義和; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年
      • 微小圧力計測を目的としたPDMS製イオン液体型圧力センサ
        辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年
      • 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価
        辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデルBody on a Chip
        亀井謙一郎; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        バイオエンジニアリング講演会講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC
        Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017年
      • MEMS deformable mirror actuated by electrostatic piston array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2016年09月13日
      • イオン液体を用いたエレクトロスプレーにおけるイオンビーム引き出し機構の数値解析
        江本 一磨; 土屋 智由; 鷹尾 祥典
        宇宙科学技術連合講演会講演集, 2016年09月06日
      • イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるビーム引き出し特性の電極形状依存
        中川 洋人; 土屋 智由; 鷹尾 祥典
        宇宙科学技術連合講演会講演集, 2016年09月06日
      • イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるイオンビーム抽出特性
        中川 洋人; 土屋 智由; 鷹尾 祥典
        年会講演会講演集, 2016年04月14日
      • 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発
        亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        組織培養研究, 2016年
      • Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes
        Kio Tahara; Yoshikazu Hirai; Hirohumi Shimizu; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Procedia Engineering, 2016年
      • Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device
        Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun Ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        Procedia Structural Integrity, 2016年01月01日
      • Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 °c of (110) Single Crystal Silicon Microstructures
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Procedia Structural Integrity, 2016年01月01日
      • MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測
        土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修; 梅田章
        第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月
      • DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成
        朴晟洙; 馬志鵬; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 森裕都
        平成27年電気学会全国大会, 2015年03月
      • 抗がん剤副作用を生体外で再現するBody on a Chipの開発
        亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2015年
      • Multiple patterning with process optimization method for maskless DMD-based grayscale lithography
        X. Ma; Y. Kato; F. Kempen; Y. Hirai; T. Tsuchiya; F. Keulen; O. Tabata
        Procedia Engineering, 2015年
      • Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 2015年
      • ULTRASENSITIVE SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY USING DIRECTIONALLY ARRAYED GOLD NANOPARTICLE DIMERS
        Koji Sugano; Daimon Matsui; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年
      • FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA
        Kosuke Hokazono; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年
      • A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT
        Y. Matsui; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年
      • SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING
        A. Uesugi; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年
      • SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE
        Y. Mori; Z. Ma; S. Park; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年, 査読有り
      • MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP
        Y. Kato; Y. Hirai; K. Kamei; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年
      • Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation
        Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyum Kim; Osamu Tabata
        2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2015年
      • 灌流システムを搭載した副作用検査デバイス 〜ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して〜
        加藤義基; 平井 義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        細胞アッセイ技術の現状と将来, 2015年01月
      • Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers
        K. Sugano; D. Matsui; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 2014年11月
      • MEMS慣性力センサの信頼性
        土屋 智由
        第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2014年10月
      • マイクロ構造上の面粗さによる強度低下の簡単な見積もり方法
        土屋 智由
        第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月
      • An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月
      • 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光
        菅野 公二; 松井 大門; 土屋 智由; 田畑 修
        第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月
      • 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移
        上杉晃生; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2014年10月
      • 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性
        外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 2014年10月
      • Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature
        A. Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 2014年10月
      • Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field
        Y. Pihosh; N. Kabeta; K. Mawatari; Y. Kazoe; K. Kitamura; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; T. Kitamori
        The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 2014年10月
      • Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yuto Mori; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 2014年10月
      • J2240303 赤外光集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験([J224-03]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 シリコンの破壊と疲労)
        上杉 晃生; 安富 貴浩; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2014年09月07日
      • 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験
        土屋智由; 鈴木淳也; 平井義和; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会,, 2014年09月
      • 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ
        小北雄亮; 谷山彰; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月
      • 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験
        上杉晃生; 安富貴浩; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月
      • シリコン微小構造の表面粗さによる応力効果の推定
        池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月
      • MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討
        土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修
        Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 2014年08月
      • 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験
        上杉晃生; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        日本実験力学会2014年度年次講演会, 2014年08月
      • エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上
        土屋智由; Mohamed E. Mitwally; 平井義和; 田畑修; Sherif Sedky
        日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, 2014年07月
      • Towards batch assembly and integration of single-walled carbon nanotubes to micro-electromechanical devices
        Toshiyuki Tsuchiya
        2014 CMOS Emerging Technologies Research, Grenoble, 2014年07月
      • Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment
        Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014年06月
      • An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris Kempen; Fred Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月
      • Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C
        Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月
      • 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム
        平井義和; 高木大介; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修
        平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 2014年05月
      • 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価
        菅野公二; 松井大門; 土屋智由; 田畑修
        平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 2014年05月
      • 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診
        高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修
        第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 2014年03月
      • Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis
        Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata
        28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 2014年
      • 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会)
        上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        日本実験力学会講演論文集, 2014年01月
      • DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY
        Yusuke Kogita; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年
      • LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES
        Toshiyuki Tsuchiya; Vijay Kumar Singh; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年
      • 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム
        高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 藤本清秀; 土屋智由; 平尾佳彦; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2013年12月
      • 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価
        辻本和也; 藩和宏; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 水谷夏彦; 田畑修
        第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月
      • 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ
        小北雄亮; 谷山彰; 平井義和; 田畑修; 土屋智由
        第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月
      • 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
        成瀬圭介; 柳生裕聖; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月
      • 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価
        種村友貴; 山下秀一; 和戸弘幸; 竹内幸裕; 田畑修; 土屋智由
        M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 2013年10月
      • (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性
        上杉晃生; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工
        鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • 単結晶シリコン振動子の疲労寿命に対する側壁粗さの影響
        池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル
        外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法
        辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 藩和宏; 水谷夏彦; 田畑修
        2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, 2013年09月
      • 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価
        中野篤; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 2013年08月
      • 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性
        谷山彰; 小北雄亮; 平井義和; 田畑修; 土屋智由
        日本実験力学会2013年度年次講演会, 2013年08月
      • Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugan; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 2013年07月
      • Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography
        Y. Kato; Yoshikazu Hirai; F. van Kempen; F. van Keulen; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 2013年04月
      • 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製
        北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        平成25年電気学会全国大会, 2013年03月
      • グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ
        加藤義基; 平井義和; Floris van Kempen; Fred van Keulen; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        平成25年電気学会全国大会, 2013年03月
      • DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY
        T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata
        26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 2013年
      • 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ
        小北 雄亮; 谷山 彰; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度
        中野 篤; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis
        Daisuke Takagi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao
        2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 2013年
      • Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon
        A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年
      • SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection
        K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年
      • On-chip MEMS tensile testing device for mechanical characterization of nano-materials
        Toshiyuki Tsuchiya
        The first Bristol Univ.-Kyoto Univ. Joint Symposium, 2013年01月
      • 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会)
        谷山 彰; 小北 雄亮; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本実験力学会講演論文集, 2013年01月, 査読有り
      • AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 藩 和宏; 水谷 夏彦; 田畑 修
        電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013年01月
      • Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table
        Atsushi Nakano; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Akira Umeda
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013年
      • SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection
        K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年, 査読有り
      • Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon
        A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年, 査読有り
      • DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY
        T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata
        26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 2013年, 査読有り
      • Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table
        Atsushi Nakano; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Akira Umeda
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013年, 査読有り
      • 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析
        柳生 裕聖; 平井 義和; 牧野 圭秀; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012年10月
      • シリコンセンサとマイクロ・ナノ材料 -MEMSデバイスの高信頼・高機能化に向けて-
        土屋 智由
        東京工業大学 精密工学研究所公開 技術講演会, 2012年10月
      • 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定
        鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋智由; 田畑 修
        第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2012年10月
      • 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価
        種村 友貴; 山下 秀一; 和戸 弘幸; 竹内 幸裕; 土屋 智由; 田畑 修
        第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2012年10月
      • 701 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析(センサ開発,OS5.2 機械のための動的計測,総合テーマ:「システムを考える。境界を越えて。」)
        土屋 智由; 中野 篤; 梅田 章; 田畑 修
        機械力学・計測制御講演論文集, 2012年09月17日
      • 702 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価(センサ開発,OS5.2 機械のための動的計測,総合テーマ:「システムを考える。境界を越えて。」)
        中野 篤; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 梅田 章
        機械力学・計測制御講演論文集, 2012年09月17日
      • 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析
        土屋 智由; 中野 篤; 梅田 章; 田畑 修
        日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 2012年09月
      • 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価
        中野 篤; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 梅田 章
        日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 2012年09月
      • 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験
        上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, 2012年09月
      • MEMSを応用したマイクロ・ナノ材料の機械的信頼性評価
        土屋 智由
        日本機械学会 2012 年度年次大会, 2012年09月
      • Untitled
        Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2012年08月
      • Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist
        Daimon Matsui; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), 2012年07月
      • 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
        西野聡; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 武中能子
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日
      • 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
        片山拓; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日
      • 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
        西野聡; 菅野公二; 武中能子; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年06月
      • 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
        片山拓; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        ステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 2012年06月
      • Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane
        Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, 2012年04月
      • Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes
        Praveen Thakur Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, 2012年04月
      • Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate
        C. Huang; T. Akishiba; N. Tamura; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate
        S. Nishino; Y. Takenaka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics
        H. Yagyu; Yoshikazu Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer
        T. Kataoka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析
        徳崎裕幸; 平井義和; 菅野公二; 田畑 修; 土屋智由
        応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年03月
      • Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS
        Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        IFIP Advances in Information and Communication Technology, 2012年
      • 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
        西野 聡; 菅野 公二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修; 武中 能子
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年01月
      • 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
        片山 拓; 菅野 公二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年01月
      • Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer
        T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012年
      • ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR
        A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya
        2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年
      • DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER
        T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda
        2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年, 査読有り
      • Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Materials Research Society Symposium Proceedings, 2012年, 査読有り
      • ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR
        A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya
        2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年, 査読有り
      • 国際会議報告:IEEE-NEMS 2012 報告
        土屋 智由
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2012年
      • Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Tsuchiya Toshiyuki; Osamu Tabata
        26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 2012年, 査読有り
      • Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer
        T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012年, 査読有り
      • HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS
        Koji Sugano; Akihiro Nakata; Hideaki Yoshimune; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2012年, 査読有り
      • Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 2011年12月
      • 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
        平井義和; 辻本和也; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会電子回路研究会資料, 2011年11月21日
      • Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application
        H. Yagyu; Yoshikazu Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2011 MRS Fall Meeting, 2011年11月
      • 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
        平井義和; 辻本和也; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会電子回路研究会(圧電デバイス・材料), 2011年11月
      • 5-5 異なる試験手法により得られたシリコンの疲労挙動の相互比較(セッション5:OS1-2 マルチスケール・シミュレーションとナノ計測)
        神谷 庄司; 土屋 智由; 池原 毅; 佐藤 一雄; 安藤 妙子; 生津 資大; 高島 和希
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2011年09月25日
      • 228 多軸慣性センサの標準に関する研究 : 第二報 : 感度マトリックスの比較測定(加速度計関連動的計測,OS-10 機械のための動的計測,総合テーマ:「部門創設25周年、新たなる躍動」)
        梅田 章; 土屋 智由; 深津 恵輔
        機械力学・計測制御講演論文集, 2011年09月04日
      • 多軸慣性センサの標準に関する研究(第二報:感度マトリックスの比較測定)
        梅田 章; 土屋 智由; 深津 恵輔
        日本機械学会 Dynamics and Design Conference 2011, 2011年09月
      • 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
        片岡達也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル
        平井義和; 柳生裕聖; 上杉晃生; 牧野圭秀; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ
        菅野公二; 平岡亮二; Martin Klaumnzer; Michael Voigt; Wolfgang Peukert; 土屋智由; 田畑 修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長
        西野聡; 菅野公二; 武仲能子; 田畑修; 土屋智由; 平井義和
        日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 2011年09月
      • エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
        上杉晃生; 牧野圭秀; 柳生裕聖; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2011年度年次大会, 2011年09月
      • ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用
        辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, 2011年07月
      • ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
        菅野公二; 平岡亮二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
        菅野公二; 吉宗秀晃; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
        北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析
        北村 彰男; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2011年06月
      • ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
        菅野公二; 平岡亮二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 2011年06月
      • Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane
        平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 2011年06月, 査読有り
      • 微小構造体の共振疲労試験手法の開発
        松本健太; 澄川貴志; 土屋智由; 北村隆行
        日本材料学会学術講演会講演論文集, 2011年05月24日
      • 微小構造体の共振疲労試験手法の開発
        松本 健太; 澄川 貴志; 土屋 智由; 北村 隆行
        日本材料学会 第60期学術講演会, 2011年05月
      • 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成
        吉宗 秀晃; 中田 哲博; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成23年電気学会全国大会, 2011年03月
      • Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
        Praveen Singh Thakur; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年02月, 査読有り
      • 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
        松本 健太; 澄川 貴志; 土屋 智由; 北村 隆行
        学術講演会講演論文集, 2011年01月
      • ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
        菅野 公二; 平岡 亮二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月
      • 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
        平井 義和; 辻本 和也; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011年01月
      • LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY
        A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年
      • 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
        北村 彰男; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月
      • 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
        菅野 公二; 吉宗 秀晃; 中田 哲博; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月
      • Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens
        T. Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya
        International Symposium on Plasticity and Its Current Applications, 2011年01月
      • プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって
        土屋 智由
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2011年01月01日
      • Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator
        Alex Man Ho Kwan; Sichao Song; Xing Lu; Lei Lu; Ying Khai Teh; Ying Fei Teh; Eddie Wing Cheung Chong; Yan Gao; William Hau; Fan Zeng; Man Wong; Chunmei Huang; Akira Taniyama; Yoshihide Makino; So Nishino; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 2011年, 査読有り
      • Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS
        Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 2011年, 査読有り
      • Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device
        Yoshikazu Hirai; Yusuke Nakai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device
        Chunmei Huang; Takahiro Saeki; Masayuki Endo; Hiroshi Sugiyama; Chen-Hsun Weng; Gwo-Bin Lee; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection
        Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER
        K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り
      • LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY
        A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り
      • Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics
        Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis
        K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope
        Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template
        K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels
        Koji Sugano; Hideaki Yoshimune; Akihiro Nakata; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity
        Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope
        Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        EUROSENSORS XXV, 2011年
      • CROSS COMPARISON OF FATIGUE LIFETIME TESTING ON SILICON THIN FILM SPECIMENS
        S. Kamiya; T. Tsuchiya; T. Ikehara; K. Sato; T. Ando; T. Namazu; K. Takashima
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り
      • マイクロ・ナノ材料の試験方法
        土屋 智由
        塑性と加工, 2010年11月25日
      • Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly
        Koji Sugano; Ryoji Hiraoka; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 2010年11月
      • 単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析
        脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2010年10月12日
      • MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月12日
      • (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析
        脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅
        第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 2010年10月
      • 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 2010年10月
      • MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月
      • MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
        脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月
      • チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2010年10月
      • (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価
        脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 土屋智由; 池原毅
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
        谷山彰; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日
      • T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
        脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅
        年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010年09月
      • T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
        谷山 彰; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由
        年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010年09月
      • 単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価
        脇田 拓; 平井 義和; 菅野公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅
        日本機械学会2010年度年次大会, 2010年09月
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
        谷山 彰; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2010年度年次大会, 2010年09月
      • MEMSを用いたナノスケールの材料計測
        土屋 智由
        計測自動制御学会関西支部平成22年度講習会, 2010年07月
      • Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing
        Wakita Taku; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Ikehara Tsuyoshi
        The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り
      • Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell
        Tsujimoto Kazuya; Hirai Yoshikazu; 菅野 公二; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り
      • 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
        菅野公二; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2010年06月17日
      • MEMS2010報告
        土屋 智由
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年06月
      • 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合
        菅野 公二; 中田 哲博; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010年06月
      • MEMS2010報告
        土屋 智由
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年06月01日
      • 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
        土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年03月
      • 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
        土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年03月01日
      • 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価
        脇田拓; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修; 池原 毅
        第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,, pp. 39-40, 2010年03月, 査読有り
      • Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens
        T. Ikehara; T. Tsuchiya
        MICRO & NANO LETTERS, 2010年02月, 査読有り
      • DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components
        Guillermo Lopez; Tomoki Tanemura; Ryo Sato; Takahiro Saeki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Masahiro Fujita; Mizuo Maeda
        2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 2010年, 査読有り
      • Component modeling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection
        Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2010年, 査読有り
      • DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites
        R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 2010年, 査読有り
      • チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術
        辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14), 2010年, 査読有り
      • Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists
        Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 2010年, 査読有り
      • New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration
        A. M. R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. E. H. Eltaib; M. M. Sallam
        EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 2010年, 査読有り
      • Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS)
        土屋 智由
        The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 2009年12月, 査読有り
      • MEMS等価回路ジェネレータの開発
        藤原信代; 浅海和雄; 小池智之; 土屋智由; 橋口原
        電子情報通信学会技術研究報告, 2009年11月05日
      • MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
        藤原 信代; 浅海 和雄; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原
        電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2009年11月
      • Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS)
        Toshiyuki Tsuchiya
        The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 2009年10月
      • マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します
        菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修
        APPIE 産学官連携フェア2009, 2009年10月
      • ナノ粒子を所望のパターンに配列する
        菅野公二; 平岡亮二; 土屋 智由; 田畑 修
        APPIE 産学官連携フェア2009, 2009年10月
      • 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価
        脇田 拓; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 池原 毅
        第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2009年10月
      • 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法
        平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 2009年10月, 査読有り
      • 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化
        中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 2009年10月, 査読有り
      • 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路
        徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修
        第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 2009年10月, 査読有り
      • T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
        徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月12日
      • MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験
        池原毅; 土屋智由
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2009年09月12日
      • Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design
        M. Sato; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        Procedia Chemistry, 2009年09月
      • MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験
        池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2009年度年次大会, 2009年09月
      • MEMS素子のモデリング技術
        土屋 智由
        電子情報通信学会 2009年ソサイエティ大会 エレクトロニクス講演論文集2, 2009年09月
      • 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築
        徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2009年度年次大会, 2009年09月
      • T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
        徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月
      • CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)
        土屋 智由
        電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009年09月
      • T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
        池原 毅; 土屋 智由
        年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月
      • CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)
        土屋 智由
        電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009年09月01日
      • 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
        菅野公二; 内田雄喜; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2009年07月23日
      • MEMS等価回路ジェネレータの開発
        浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原
        電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009年07月23日
      • 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
        菅野公二; 内田雄喜; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 2009年07月
      • 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
        菅野 公二; 内田 雄喜; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009年07月
      • MEMS等価回路ジェネレータの開発
        浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原
        電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009年07月
      • Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference
        佐藤 亮; 種村 友貴; Lopez Hinojosa Guillermo; Serry ElSayed Ahmed Mohammed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009年04月, 査読有り
      • Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array using Combination of Self-assembly and 2-step Transfer
        菅野 公二; 尾崎 貴志; 土屋 智由; 田畑 修
        International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009年04月, 査読有り
      • 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験
        浦靖武; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集, 2009年03月17日, 査読有り
      • 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
        橋口 原; 土屋 智由; 高尾 英邦; 山下 馨; 藤田 孝之; 佐々木 実; 阪田 知巳; 古賀 章浩; 安達 洋; 廣田 正樹; 中本 高道; 毛塚 博史; 室 英夫; 林 健司; 三木 則尚; 中西 博昭; 竹内 昌治; 杉山 正和; 小西 聡; 村上 裕二; 日暮 栄治; 澤田 廉士; 積 知範
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2009年03月01日
      • 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験
        浦 靖武; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会全国大会, 2009年03月, 査読有り
      • CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS
        土屋 智由
        Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 2009年03月, 査読有り
      • 3DOF equivalent circuit model of a comb-drive actuator
        Y. Nishimori; N. Fujiwara; H. Ooiso; T. Tsuchiya; S. Mochizuoki; G. Hashiguchi
        TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年
      • Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist
        Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り
      • Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device
        Yasutake Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り
      • Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist
        Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り
      • SEQUENTIAL AND SELECTIVE SELF-ASSEMBLY OF MICRO COMPONENTS BY DNA GRAFTED POLYMER
        T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda
        IEEE 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2009), 2009年, 査読有り
      • Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique
        HIRAI Yoshikazu; INAMOTO Yoshiteru; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り
      • Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system
        FUJIWARA N; ASAUMI K; IRIYE Y; KOIKE T; TSUCHIYA T; HASHIGUCHI G
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り
      • Semi-analytical Formula for the Capacitance of Vertical Comb Electrodes and its Applications
        MOCHIZUKI Shunsuke; TSUCHIYA Toshiyuki; HASHIGUCHI Gen; KOIKE Tomoyuki; MIZUTA Chieki
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り
      • Semi-analytical formula for the capacitance of vertical comb electrodes and its applications
        Mochizuki Shunsuke; Toshiyuki Tsuchiya; Hashiguchi Gen; Koike Tomoyuki; Mizuta Chieki
        25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り
      • Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system
        Fujiwara N; Asaumi K; Irie Y; Koike T; Toshiyuki Tsuchiya; Hashiguchi G
        25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り
      • Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique
        Yoshikazu Hirai; Yoshiteru Inamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り
      • Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel
        中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2008年10月, 査読有り
      • 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property
        Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 2008年09月, 査読有り
      • バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路
        中田哲博; 田中伸治; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2008年08月02日, 査読有り
      • 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果
        池原毅; 土屋智由
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2008年08月02日, 査読有り
      • 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果
        池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月, 査読有り
      • バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路
        中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月, 査読有り
      • 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価
        土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修
        日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 2008年08月, 査読有り
      • セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化
        佐藤 亮; 種村 友貴; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 2008年07月
      • 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労
        土屋 智由
        応用物理学会結晶工学分科会第129回研究会,, pp. 23-30, 2008年07月, 査読有り
      • ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
        平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2008年06月12日, 査読有り
      • ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と3次元加工への応用
        平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2008年06月, 査読有り
      • 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析
        菅野 公二; 田中 伸治; 土屋 智由; 田畑 修
        平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 2008年06月
      • Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics
        T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Karl F Bhringer
        FNANO2008, 2008年04月
      • 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
        橋口 原; 土屋 智由; 高尾 英邦
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2008年03月01日
      • 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング
        佐藤 亮; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 2008年03月
      • 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム
        樋口 雄一; 日下部 達哉; 種村 友貴; 佐藤 亮; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 2008年03月
      • 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ
        濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 2008年03月, 査読有り
      • レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術
        平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 2008年03月, 査読有り
      • Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES
        H. Hamaguchi; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 2008年
      • Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components
        T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components
        T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing
        T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly
        Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching
        T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator
        T. Ikehara; T. Tsuchiya
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection
        Ahmed M.R. Fath El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り
      • Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon
        Kenji Miyamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES, 2008年, 査読有り
      • 第7章 7.2 力学センサ
        土屋 智由
        日本学術振興会 薄膜第131委員会編,薄膜ハンドブック第2版,, p. 1, 2008年, 査読有り
      • Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection
        Ahmed M.R. Fath El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り
      • Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components
        T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2008年, 査読有り
      • DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components
        T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing
        T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly
        Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2008年, 査読有り
      • Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching
        T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator
        T. Ikehara; T. Tsuchiya
        MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り
      • Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1)
        Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu
        Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1, 2007年12月, 査読有り
      • Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon
        MIYAMOTO Kenji; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2007年10月16日, 査読有り
      • Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes
        UCHIDA Yuki; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu; IKEHARA Tsuyoshi
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2007年10月16日, 査読有り
      • Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes
        Uchida Yuki; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 2007年10月, 査読有り
      • Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection
        Ahmed M. R. Fath; El Bab; Mohamed E; H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tamura Tomohisa; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 2007年10月, 査読有り
      • 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル
        種村 友貴; 日下部 達哉; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月
      • 低侵襲触覚センサーの構造設計
        田村 智久; ファス エルバブアハメッド; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月
      • 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術
        平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月
      • Silicon and Related Materials (Chapter 1)
        Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed
        Comprehensive Microsystems,, p. 1, 2007年09月, 査読有り
      • 高温薄膜引張試験装置の開発
        土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 2007年09月, 査読有り
      • Parallel fatigue test of micromachined single crystal silicon using lateral resonating device
        Ikehara Tsuyoshi; Toshiyuki Tsuchiya
        MicroNanoReliability 2007 Conference, 2007年09月, 査読有り
      • ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成
        尾崎 貴志; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 2007年08月
      • DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル
        日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由
        粉体工学会第43回夏期シンポジウム,, pp. 19-20, 2007年08月, 査読有り
      • 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価
        田中 伸治; 市橋 治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会総合研究会, 2007年07月
      • Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
        平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会総合研究会, 2007年07月
      • マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製
        菅野 公二; 田中 伸治; 市橋 治; 土屋 智由; 田畑 修
        化学とマイクロシステム, 2007年06月
      • Moving-mask UV lithography and embedded microchannels
        Inamoto Yoshireru; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 2007年06月, 査読有り
      • MEMS Reliability
        Toshiyuki Tsuchiya
        The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 2007年05月, 査読有り
      • 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製
        稲本 好輝; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成19年,電気学会全国大会, 2007年03月
      • DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ
        日下部達哉; 菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修
        文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 2007年03月
      • EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル
        菅野 公二; 尾崎 貴志; 土屋 智由; 田畑 修
        文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 2007年03月
      • 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験
        城森 知也; 宮本 憲治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 2007年03月
      • Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection
        Ahmed M. R. Fath; El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E; H. Eltaib; Mohamed M. Sallam
        Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年
      • Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes
        Yuki Uchida; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Tsuyoshi Ikehara
        Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年
      • A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
        H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年
      • A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
        H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer
        Takashi Ozaki; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments
        Yusuke Yamaji; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution
        Miyamoto Kenji; Kouji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2007年01月, 査読有り
      • Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon
        Miyamoto Kenji; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年, 査読有り
      • Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron
        Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        PORTABLE SYNCHROTRON LIGHT SOURCES AND ADVANCED APPLICATIONS, 2007年, 査読有り
      • Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800 degrees C using IR heating
        T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model
        S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring
        Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
        H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007年, 査読有り
      • Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices
        Toshiyuki Tsuchiya
        MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS, 2007年, 査読有り
      • Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives
        Yuichi Higuchi; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        6TH INTERNATIONAL IEEE CONFERENCE ON POLYMERS AND ADHESIVES IN MICROELECTRONICS AND PHOTONICS, PROCEEDINGS 2007, 2007年, 査読有り
      • Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer
        T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2007年, 査読有り
      • Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-mu N force resolution
        Kenji Miyamoto; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron
        Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        AIP Conference Proceedings, 2007年, 査読有り
      • 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計
        城森 知也; 宮本 憲治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月
      • 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価
        池田 哲郎; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月
      • Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing
        OZAKI Takashi; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2006年10月05日, 査読有り
      • A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes
        HAMAGUCHI Hiroyuki; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2006年10月05日, 査読有り
      • 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術
        平井 義和; Inamoto; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 2006年10月
      • Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing
        Ozaki Takashi; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 2006年10月, 査読有り
      • 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定
        宮本 憲治; 城森 知也; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2006年年次大会, 2006年09月
      • Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments
        Yamaji Yusuke; Kouji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 2006年06月, 査読有り
      • 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討
        池田哲郎; 菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会E部門総合研究会, 2006年05月
      • 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析
        菅野 公二; 山田 英雄; 市橋 治; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会E部門総合研究会, 2006年05月
      • Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system
        Toshiyuki Tsuchiya; Yamaji Yusuke; Kouji Sugano; Osamu Tabata
        The 9th International Fatigue Congress, 2006年05月, 査読有り
      • 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験
        山地 祐輔; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会全国大会, 2006年03月
      • Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps
        K Sugano; H Yamada; O Ichihashi; T Tsuchiya; O Tabata
        MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り
      • 加速度センサ(第5章第1項)
        土屋 智由; 前田 龍太郎; 澤田 廉士; 青柳 桂一
        MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開,, pp. 165-171, 2006年, 査読有り
      • Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button
        W Yoshikawa; A Sasabe; K Sugano; T Tsuchiya; O Tabata; A Ishida
        MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り
      • Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps
        K Sugano; H Yamada; O Ichihashi; T Tsuchiya; O Tabata
        MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り
      • Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip
        Yusuke Yamaji; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 2005年10月
      • Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method
        Hideo Yamada; Osamu Ichihashi; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 2005年10月
      • Mechanical Testing of Integrated Microsystems
        Toshiyuki Tsuchiya
        FIS conference on future integrated systems, Cambridge, 2005年08月
      • 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価
        市橋 治; 李 周原; 石井 昌宏; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会E部門総合研究会, 2005年06月
      • Material Properties: Measurement and Data
        Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed
        MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87, 2005年, 査読有り
      • Tensile testing of MEMS materials
        Toshiyuki Tsuchiya
        Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '05, 2005年, 査読有り
      • 3-nm gap fabrication using gas phase sacrificial etching for quantum devices
        K Hamaguchi; T Tsuchiya; K Shimaoka; H Funabashi
        MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2004年, 査読有り
      • Mechanical reliability evaluation and its standardization of thin films used in MEMS
        T. Tsuchiya
        Collection of Technical Papers - CANEUS 2004 - Conference on Micro-Nano-Technologies for Aerospace Applications, 2004年, 査読有り
      • Cross comparison of thin film tensile-testing methods examined with single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films
        Toshiyuki Tsuchiya; Masakazu Hirata; Norio Chiba; Ryujiro Udo; Yuji Yoshitomi; Taeko Ando; Kazuo Sato; Kazuki Takashima; Yakichi Higo; Yasunori Saotome; Hirofumi Ogawa; Koichi Ozaki
        Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2003年07月23日
      • Tensile test of bulk- and surface-micromachined 0.1-mu m thick silicon film using electrostatic force grip system
        T Tsuchiya; J Sakata; M Shikida; K Sato
        MATERIALS SCIENCE OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES IV, 2002年, 査読有り
      • Tensile strength and fracture toughness of surface micromachined polycrystalline silicon thin films prepared under various conditions
        T Tsuchiya; J Sakata; Y Taga
        THIN-FILMS - STRESSES AND MECHANICAL PROPERTIES VII, 1998年, 査読有り
      • Specimen size effect on tensile strength of surface micromachined polycrystalline silicon thin films
        T Tsuchiya; O Tabata; J Sakata; Y Taga
        MEMS 97, PROCEEDINGS - IEEE THE TENTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 1997年

      講演・口頭発表等

      • Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors
        土屋 智由
        The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), 2012年07月08日, 招待有り
      • CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS (NEDO project)
        土屋 智由
        Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 2009年03月23日, 招待有り
      • Accelerated lifetime test method for structural materials in MEMS devices using resonant vibration
        土屋 智由
        Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2008, 2008年06月20日, 招待有り
      • Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices
        土屋 智由
        20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007), 2007年11月05日, 招待有り
      • MEMS Reliability
        土屋 智由
        The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 2007年03月19日, 招待有り
      • Humidity effect on tensile strength and fatigue properties of single crystal silicon microstructures
        Toshiyuki Tsuchiya
        Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2006,, 2006年06月22日, 招待有り
      • Tensile testing of MEMS materials(2005)
        土屋 智由
        Tech. Digest of the 13th International Conference of Solid-State Sensors and Actuators (Transduces ’05), 2005年06月05日, 招待有り
      • Mechanical reliability evaluation and its standardization of thin film used in MEMS
        土屋 智由
        Technical Papers of Conference on Micro-Nano-Technologies for Aerospace Applications (CANEUS 2004), 2004年11月01日, 招待有り

      書籍等出版物

      • 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
        肥後, 矢吉; 谷川, 紘; 鈴木, 健一郎; 磯野, 吉正; 荻, 博次; 土屋, 智由; 石山, 千恵美
        コロナ社, 2015年07月
      • 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法
        肥後矢吉; 谷川紘; 鈴木健一郎; 磯野吉正; 萩博次; 土屋智由; 石山千恵美, 共著
        コロナ社, 2015年07月, 査読無し
      • Reliability of MEMS : testing of materials and devices
        土屋, 智由; 田畑, 修
        Wiley-VCH, 2013年
      • シリコンの破壊と疲労
        土屋智由; 佐藤一雄; 服部敏雄, 第1編 第12章 3節
        エヌ・ティー・エス, 2012年, 査読無し
      • 力学センサ
        土屋 智由, 第7章 7.2
        オーム社, 2008年, 査読無し
      • Reliability of MEMS
        土屋 智由, Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1)
        John Wiley & Sons Inc, 2007年12月, 査読無し
      • Comprehensive Microsystems
        土屋 智由, Silicon and Related Materials (Chapter 1)
        Elsevier Science, 2007年09月, 査読無し
      • MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開
        土屋智由; 前田龍太郎; 澤田廉士; 青柳桂一, 加速度センサ(第5章第1項) pp. 165-171
        フロンティア出版, 2006年, 査読無し

      産業財産権

      • 振動ジャイロ
        帯谷 和敬; 土屋 智由; 荒屋 和貴; 谷内 雅紀
      • 特許第6598013号, プロトン伝導体および燃料電池
        嘉副 裕; ピホシュ ユーリ; 馬渡 和真; 北森 武彦; 北村 健二; 長田 貴弘; 田畑 修; 土屋 智由
      • 特許第6183012号, 半導体パッケージ
        種村 友貴; 山下 秀一; 和戸 弘幸; 土屋 智由
      • 特許第6176001号, ジャイロセンサ
        城森 知也; 土屋 智由
      • 特許第5884603号, ロールオーバージャイロセンサ
        城森 知也; 土屋 智由
      • 静電駆動可変ミラー
        土屋 智由
      • ロールオーバージャイロセンサ
        城森知也; 土屋智由
      • 特許第5034043号, 加速度センサ、および加速度検出装置
        土屋 智由
      • 特許第4967204号, 微小構造体とその製造方法
        藤塚 徳夫; 船橋 博文; 土屋 智由
      • 光スキャナ及びこの光スキャナを備えた画像表示装置
        中村 博親; 各務 克巳; 田畑 修; 土屋 智由
      • 光スキャナ
        各務 克巳; 中村 博親; 田畑 修; 土屋 智由
      • 特許第4174351号, 可動電極を有する装置、可動ミラー装置、振動型ジャイロスコープ及びこれらの製造方法
        土屋 智由; 船橋 博文; 藤塚 徳夫; 光嶋 康一; 酒井 峰一
      • 熱電子変換素子および熱電子変換装置
        船橋 博文; 村田 香苗; 土屋 智由
      • 特許第3566809号, 多結晶シリコン薄膜の製造方法および多結晶シリコン薄膜構造体素子
        景山 恭行; 土屋 智由; 坂田 二郎; 山崎 信也; 橋本 雅人; 青 建一; 金丸 健次
      • 特許第3468127号, 多孔質透過膜及び微小容器の製造方法
        景山 恭行; 土屋 智由; 船橋 博文; 坂田 二郎
      • 特許第3376925号, 振動型半導体センサ及びその製造方法
        船橋 博文; 土屋 智由; 坂田 二郎; 景山 恭行; 藤塚 徳夫
      • 特許第3360683号, 薄膜引張試験装置
        土屋 智由
      • 特許第3331957号, 被処理構造体の表面処理方法
        坂田 二郎; 土屋 智由; 船橋 博文
      • 特許第3319257号, 薄膜引張試験方法および装置
        土屋 智由; 田畑 修
      • 密閉容器及びその製造方法
        船橋 博文; 土屋 智由; 坂田 二郎; 景山 恭行
      • 微小真空容器及びその製造方法
        景山 恭行; 土屋 智由; 船橋 博文; 坂田 二郎
      • 微小密閉容器及びその製造方法
        坂田 二郎; 景山 恭行; 土屋 智由; 船橋 博文
      • 振動式検出器
        土屋 智由; 船橋 博文; 坂田 二郎
      • 疲労試験装置
        土屋 智由; 坂田 二郎; 多賀 康訓

      受賞

      • 2000年04月
        電気学会, 電気学会論文発表賞
      • 2018年11月01日
        日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門, 貢献表彰
      • 2019年02月01日
        日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門, 優秀講演論文表彰
      • 2008年10月20日
        経済産業省 産業技術環境局, 経済産業省工業標準化事業表彰 産業技術環境局長表彰 国際標準化奨励者 受賞
      • 2012年10月15日
        International Electrotechnical Commission, IEC 1906 Award

      外部資金:科学研究費補助金

      • 微小電極間エレクトロスプレー現象解明による超小型宇宙推進機の多用途化
        基盤研究(B)
        小区分24010:航空宇宙工学関連
        横浜国立大学
        鷹尾 祥典
        自 2021年04月01日, 至 2024年03月31日, 交付
        電気推進;電界放出;イオン液体;超小型衛星;推力可変
      • ナノギャップの熱輸送計測ー放射から熱伝導への遷移領域の解明ー
        基盤研究(B)
        小区分19020:熱工学関連
        京都大学
        土屋 智由
        自 2021年04月01日, 至 2024年03月31日, 交付
        ナノギャップ;熱輸送;伝熱;サーモリフレクタンス;MEMS
      • MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング
        特別研究員奨励費
        小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
        京都大学
        自 2021年04月28日, 至 2023年03月31日, 交付
      • MEMS共振器を用いたリザバーコンピューティング
        特別研究員奨励費
        小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
        京都大学
        自 2020年11月13日, 至 2023年03月31日, 採択後辞退
      • 推力密度の飛躍的な増加と冗長系の確保が可能な超小型エレクトロスプレー宇宙推進機
        基盤研究(B)
        小区分24010:航空宇宙工学関連
        横浜国立大学
        鷹尾 祥典
        自 2018年04月01日, 至 2021年03月31日, 完了
        エレクトロスプレー;イオン液体;イオンビーム;電気推進;超小型衛星;電界放出;高密度
      • 3D-MEMS加工技術を利用したマイクロ宇宙推進機の抜本的な推進効率の向上
        挑戦的萌芽研究
        横浜国立大学
        鷹尾 祥典
        自 2015年04月01日, 至 2017年03月31日, 完了
        エレクトロスプレー;イオン液体;イオンビーム;超小型衛星;電気推進;粒子計算;微細加工
      • ナノギャップの熱物性計測デバイス
        挑戦的萌芽研究
        京都大学
        土屋 智由
        自 2014年04月01日, 至 2016年03月31日, 完了
        ナノギャップ;熱膨張アクチュエータ;静電櫛歯アクチュエータ;へき開破壊;単結晶シリコン;熱電子放出;MEMS;熱アクチュエータ;静電アクチュエータ;SOI
      • 顕微ラマン分光を用いたMEMS共振構造体の時間分解局所応力測定
        挑戦的萌芽研究
        京都大学
        土屋 智由
        自 2012年04月01日, 至 2014年03月31日, 完了
        動的局所応力計測;シリコン;顕微ラマン分光;光チョッパー;静電アクチュエータ;振動子;時間分解応力測定;共振子;マイクロマシン;光チョッパ
      • シリコンマイクロ構造体の高信頼化に資する表面酸化反応疲労現象の解明
        若手研究(S)
        京都大学
        土屋 智由
        完了
        シリコン;MEMS;引張試験;疲労試験;酸化;信頼性;単結晶シリコン;二酸化シリコン;腐食疲労;寿命予測;顕微ラマン分光;力学特性;共振振動;信頼化;酸素析出欠陥;高温試験
      • カーボンナノ構造体力学特性評価のための静電力駆動、静電容量検出MEMSデバイス
        萌芽研究
        京都大学
        土屋 智由
        完了
        フラーレン;MEMS;機械特性;引張試験;静電容量;電子ビーム露光;静電アクチュエータ;SOI
      • MEMSデバイスの高信頼化のための単結晶シリコンの表面反応疲労現象の理解と制御
        若手研究(A)
        京都大学
        土屋 智由
        完了
        単結晶シリコン;MEMS;疲労試験;酸化;腐食疲労;高温試験;二酸化シリコン;機械特性

      外部資金:その他

      • 垂直検出櫛形電極を用いた静電容量型3軸加速度センサ
        JSTシーズ育成試験
        自 2006年06月01日, 至 2007年01月31日
        土屋智由
      • 低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価補助事業 (平成28年度分)
        自転車等機械工業振興事業
        自 2016年04月01日, 至 2017年03月31日
        土屋 智由
      • ニオブ酸リチウム単結晶ディスク振動型ジャイロスコープ
        JST A-STEP 機能検証フェーズ試験研究タイプ
        自 2018年09月01日, 至 2019年08月31日
        土屋智由
      • 単結晶ニオブ酸リチウム軸対称型振動ジャイロスコープ
        JST A-STEP 機能検証フェーズ 実証研究タイプ
        自 2019年11月18日, 至 2021年03月31日
        土屋智由
      • 円環型振動子を用いたセンサ一体型MEMSリザバーコンピューティング
        立石科学技術振興財団 研究助成(A)
        自 2021年03月31日, 至 2022年04月01日
        土屋智由
      list
        Last Updated :2022/05/13

        教育

        担当科目

        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          計測学(機エネ原:学番奇数)
          前期, 工学部
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          計測学(機エネ原:学番偶数)
          前期, 工学部
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          機械システム学演習(機)
          後期, 工学部
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          マイクロ加工学(機エネ)
          前期, 工学部
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          機械設計演習1(機)
          前期, 工学部
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          機械システム学演習
          後期集中, 工学部
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          機械設計演習1
          前期, 工学部
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          機械システム学演習
          後期集中, 工学部
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          複雑系機械工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          通年集中, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          通年集中, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          通年集中, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          後期集中, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          後期集中, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          マイクロ・ナノスケール材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          物理工学総論A
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          マイクロ加工学
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          マイクロシステム工学
          後期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          後期集中, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          マイクロプロセス・材料工学
          前期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験1
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験1
          後期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験2
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験2
          後期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験3
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験3
          後期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          物理工学総論A
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          計測学
          前期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          マイクロファブリケーション
          前期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          マイクロ加工学(機エネ)
          前期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          後期集中, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          機械システム工学実験1(機)
          前期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          機械システム工学実験1(機)
          後期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          計測学(機エネ原:学番偶数)
          前期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          計測学(機エネ原:学番奇数)
          前期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップDL(応用力学)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップDL(機械工学群)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップDS(応用力学)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップDS(機械工学群)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロファブリケーション
          前期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップM(応用力学)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップM(機械工学群)
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリングセミナーA
          前期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリングセミナーB
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロ加工学(機エネ)
          前期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング基礎セミナーA
          前期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング基礎セミナーB
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          微小電気機械創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          微小電気機械システム創製学
          後期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          応用数値計算法
          前期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          技術者倫理と技術経営
          前期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロ材料の加工・評価の基礎
          後期集中, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          インターンシップ(機)
          後期集中, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第一
          通年集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別実験及び演習第二
          通年集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習A
          前期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習B
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習C
          前期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習D
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習E
          前期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          マイクロエンジニアリング特別演習F
          後期集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          研究論文(修士)
          通年集中, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          複雑系機械システムのデザイン
          後期, 工学研究科
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          計測学(機エネ原:学番偶数)
          前期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          計測学(機エネ原:学番奇数)
          前期, 工学部

        非常勤講師

        • 自 2018年04月01日, 至 2018年09月30日
          公立大学法人広島市立大学
        list
          Last Updated :2022/05/13

          大学運営

          全学運営(役職等)

          • 自 2020年04月01日, 至 2022年03月31日
            設備整備・共用促進委員会 委員

          部局運営(役職等)

          • 自 2017年04月01日, 至 2019年03月31日
            工学研究科・工学部広報委員会 委員
          • 自 2021年04月01日, 至 2022年03月31日
            マイクロエンジニアリング専攻長
          list
            Last Updated :2022/05/13

            学術・社会貢献

            委員歴

            • 論文委員会(幹事),論文編修委員会(委員), 電気学会

            社会貢献活動

            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2020年04月01日, 至 2022年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2020年04月01日, 至 2022年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2020年04月01日, 至 2022年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2014年07月01日, 至 2016年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2014年07月01日, 至 2016年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2014年08月01日, 至 2015年02月27日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2013年08月20日, 至 2014年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2013年06月17日, 至 2014年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2012年07月10日, 至 2014年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2012年06月19日, 至 2013年03月31日
            • -
              その他
              国立大学法人東京工業大学, 自 2012年04月01日, 至 2013年03月31日
            • 財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2011年12月05日, 至 2013年03月31日
            • 財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2011年12月05日, 至 2013年03月31日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2011年12月01日, 至 2012年11月30日
            • 曙ブレーキ工業株式会社
              その他
              -, 自 2012年05月10日, 至 2012年09月30日
            • 一般財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2011年08月08日, 至 2012年03月31日
            • 財団法人マイクロマシンセンター
              その他
              -, 自 2010年06月25日, 至 2012年03月31日

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