基本情報

学部兼担

• 工学部

学内兼務

• 学際融合教育研究推進センター, ナノテクノロジーハブ拠点, ユニット長

所属学協会

• Institute of Electrical and Electronics Engineers
• 電気学会
• 日本機械学会
• Materials Research Society
• SPIE, the international society for optics and photonics
• 応用物理学会

学位

• 修士（工学）(東京大学)
• 博士（工学）(名古屋大学)

出身大学院・研究科等

• 東京大学, 大学院工学系研究科修士課程精密機械工学専攻, Department of Precision Mechanical Engineering, 修了
• 名古屋大学, 大学院工学研究科博士課程後期課程マイクロシステム工学専攻, Department of Microsystem Engineering, 修了

出身学校・専攻等

• 東京大学, 工学部精密機械工学科, Department of Precision Mechanical Engineering, 卒業

経歴

• 自 2019年09月, 至 現在

  京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 教授
• 自 2007年04月, 至 2019年08月

  京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 准教授
• 自 2005年04月, 至 2007年03月

  京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 助教授
• 自 2004年03月, 至 2005年03月

  京都大学, 大学院工学研究科 機械工学専攻, 助教授
• 自 1993年04月, 至 2004年02月

  株式会社豊田中央研究所

プロフィール

• プロフィール

  半導体微細加工技術を用いて作る小さな機械，微小電気機械システム（MEMS)の研究をしています．主にシリコンを構造体として用いるセンサ（加速度センサ，角速度センサ）やアクチュエータ（ミラー）の設計・製作・評価について，また，MEMSに用いられるマイクロ材料の機械的信頼性の評価について，MEMSを用いたナノ材料の評価デバイスについて，などを研究テーマとしています．

使用言語

• 日本語
• 英語

ID,URL

• ORCID ID

  0000-0002-7846-5831

• J-Global ID

  200901019744781826

• 研究者番号

  60378792

• 外部リンク

  http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/

関連Webサイト

• http://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/

researchmap URL

• https://researchmap.jp/toshiyukitsuchiya

研究

研究テーマ・研究概要

• 研究テーマ

  ナノ・マイクロ材料の機械物性評価,微小電気機械システム,マイクロシステム,マイクロマシン,慣性センサ

• 研究概要

  半導体微細加工を用いて作製する微小なセンサ・アクチュエータ，いわゆる微小電気機械システム（MEMS）の研究を行っている．特に静電容量型センサ・アクチュエータとして慣性センサ（加速度センサ，角速度センサ），光アクチュエータ(ミラー）デバイスの設計，製作，評価の研究を行っている．また，これらMEMSデバイスの信頼性に関する研究，マイクロ・ナノ材料の機械的特性の評価法の開発，評価を行っている．

研究キーワード

• マイクロ材料の機械的物性評価
• マイクロ・ナノ機械の信頼性
• 慣性センサ
• MEMS,マイクロシステム
• 慣性力センサ
• マイクロマシン
• マイクロシステム工学
• MEMS
• 薄膜材料の機械物性評価
• Mechanical Properties Evaluation of Thin films
• MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
• Micro System Engineering

研究分野

• 情報通信, 機械力学、メカトロニクス
• 情報通信, ロボティクス、知能機械システム
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 材料力学、機械材料
• ナノテク・材料, ナノマイクロシステム
• ナノテク・材料, ナノ材料科学

論文

• Wavelength dependence of thermoreflectance coefficient of TiNi thin film

  Taichi Murakami; Masaki Shimofuri; Toshiyuki Tsuchiya; Shugo Miyake

  Japanese Journal of Applied Physics, 2025年03月01日

  
• Flexible 3ω sensors on submicron-thick parylene substrates for thermal conductivity measurements of liquids and soft materials

  Ryuto Yamasaki; Yuki Matsunaga; Yuki Akura; Masaki Shimofuri; Amit Banerjee; Toshiyuki Tsuchiya; Jun Hirotani

  Applied Physics Letters, 2025年01月02日

  
• Frequency-domain thermoreflectance with beam offset without the spot distortion for accurate thermal conductivity measurement of anisotropic materials

  Yuki Akura; Yasuaki Ikeda; Yuki Matsunaga; Masaki Shimofuri; Amit Banerjee; Toshiyuki Tsuchiya; Jun Hirotani

  Review of Scientific Instruments, 2025年01月01日

  
• カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2021年02月26日

  
• 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測

  霜降 真希; 吉村 光葵; 文 和彦; 平井 義和; Amit Banerjee; 土屋 智由

  年次大会, 2021年

  
• 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2020年08月26日

  
• 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイス設計

  吉村 光葵; 文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由

  年次大会, 2020年

  
• 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定

  文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由

  年次大会, 2020年

  
• 静電駆動MEMSデバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由

  年次大会, 2020年

  
• 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の近接場放射熱伝達の測定

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2019年09月04日

  
• SEM中ギャップ間隔制御，電流計測のためのへき開創製ナノギャップデバイス

  文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2019年

  
• ナノギャップ間熱輸送特性評価のための間隔制御MEMSデバイス

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年

  
• 顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定

  霜降 真希; 森 保彰; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2018年

  
• A Planar Single-Actuator Bi-Stable Switch Based on Latch-Lock Mechanism

  Yang Gao; Toshiki Ema; Zeyuan Cao; Sheng Ni; Elena Y. L. Chan; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Xiaohong Wang; Man Wong

  2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日

  
• Gravity and Film Stress Analysis for Mems Deformable Mirror with Electrostatic Piston Array

  Toshiyuki Tsuchiya; Toshiki Ema; Yoshikazu Hirai; Christopher Welham; Hideyuki Maekoba

  21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021, 2021年06月20日

  
• Microfabrication of Alkali Vapor Cells with Lower the Outgassing and Temperature Utilizing Silicon 3D Structure

  Katsuo Nakamura; Yuichi Kimoto; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019年01月01日

  
• High-efficient proton conductor nanochannels array based on a ferroelectric proton transfer phase substrate towards a μ-fuel cell

  Y. Pihosh; H. Seo; K. Mawatari; Y. Kazoe; O. Tabata; T. Tsuchiya; T. Kitamori

  20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2016, 2016年

  
• Development of high-efficient proton conductor nanochannels array based on ferroelectric material

  H. Seo; Y. Pihosh; Y. Kazoe; K. Mawatari; K. Kitamura; O. Tabata; T. Tsuchiya; T. Kitamori

  MicroTAS 2015 - 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2015年

  
• Adsorption Characteristics and Mechanical Responses of Lubricants Containing Polymer Additives under Fluid Lubrication with a Narrow Gap

  Tomoko Hirayama; Naoki Yamashita; Waka Yamamoto; Kenta Shirode; Akira Okada; Naoya Hatano; Toshiyuki Tsuchiya; Masako Yamada

  Langmuir, 2024年03月14日, 査読有り

  
• Enhancing responsivity and detection limit in tunable nano-electromechanical system resonator mass sensors

  Wei Yu; Amit Banerjee; Jun Hirotani; Toshiyuki Tsuchiya

  Japanese Journal of Applied Physics, 2024年03月01日, 査読有り, 最終著者

  
• Achieving Ultrawide Tunability in Monolithically Fabricated Si Nanoresonator Devices

  Wei Yu; Yuma Ohara; Claude Meffan; Jun Hirotani; Amit Banerjee; Toshiyuki Tsuchiya

  Nano Letters, 2023年12月15日, 査読有り, 最終著者

  
• Alternating a-C:H coating effect on torsional strength of silicon beam for micromirrors

  Yuanlin Xia; Lei Zhong; Jiaxing Tan; Zhuqing Wang; Amit Banerjee; Jun Hirotani; Toshiyuki Tsuchiya

  Sensors and Actuators A: Physical, 2023年12月, 査読有り, 最終著者

  
• Numerical calculation of thermoreflectance coefficient of c-Si for wavelengths of 200–800 nm and temperatures of 300–500 K

  Masaki Shimofuri; Taichi Murakami; Shugo Miyake; Amit Banerjee; Jun Hirotani; Toshiyuki Tsuchiya

  Japanese Journal of Applied Physics, 2023年11月01日, 査読有り, 最終著者

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• Design and Fabrication of Ionic Liquid Electrospray Thruster with Two-Stage Electrodes

  Akane NISHIMURA; Hirohide KATSUTA; Yoshinori TAKAO; Toshiyuki TSUCHIYA

  Journal of Evolving Space Activities, 2023年03月, 査読有り, 最終著者, 責任著者

  
• Multilayered Microfluidic Device for Controllable Flow Perfusion of Gut-Liver on a Chip

  Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021, 2021年06月20日

  
• Highly Accurate Measurement of Trans-Epithelial Electrical Resistance in Organ-on-a-Chip

  Takashi Miyazaki; Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021年01月25日

  
• A Planar Single-Actuator Bi-Stable Mechanical Latch as an Electrical Switch

  Yang Bu; Yue Jiang; Saeko Kawano; Bryan S.T. Tam; Sheng Ni; Liying Lin; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Xiaohong Wang; Man Wong

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020年01月

  
• Electrostatic Micro Mirror Array with Batch-Fabricated Torsion Beam of Silicon Nanowire

  Tomoya Nakamura; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020年01月

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• Heart-liver on a chip integrated with a microelectrode array to monitor extracellular field potentials of cardiomyocytes

  Dongxiao Zhang; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  MicroTAS 2020 - 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2020年

  
• Integrated gut-liver on a chip for modelling non-alcoholic fatty liver disease in vitro

  Jiandong Yang; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2019, 2019年

  
• Fluidic-capacitor integrated microfluidic platform to mimic heart beating for generation of functional liver organoids

  Jiaxu Wu; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018, 2018年

  
• Non-linear processing with a surface acoustic wave reservoir computer

  C Meffan; T Ijima; A Banerjee; J Hirotani; T Tsuchiya

  MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2023年05月, 査読有り

  
• Gap distance dependence on field emission at the nanogap between silicon cleavage surfaces

  Y Akura; M Shimofuri; A Banerjee; J Hirotani; T Tsuchiya

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2023年03月, 査読有り

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• Nanometer Order Separation Control of Large Working Area Nanogap Created by Cleavage of Single-Crystal Silicon Along {111} Planes Using a MEMS Device

  M Shimofuri; A Banerjee; J Hirotani; Y Hirai; T Tsuchiya

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2023年02月, 査読有り

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• Microfabrication of polydimethylsiloxane-parylene hybrid microelectrode array integrated into a multi-organ-on-a-chip

  DX Zhang; JD Yang; Y Hirai; K Kamei; O Tabata; T Tsuchiya

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2023年01月, 査読有り

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• Water vapor plasma-assisted low-temperature bonding of cyclo-olefin polymer for microchannel with integrated leak detector

  M Tsukamoto; H Terai; M Tsumaya; S Kurosawa; O Tsuji; M Sato; Y Inoue; K Kawano; T Matsushima; T Tsuchiya

  MRS ADVANCES, 2022年11月, 査読有り

  
• Integrated-gut-liver-on-a-chip platform as an in vitro human model of non-alcoholic fatty liver disease.

  Jiandong Yang; Yoshikazu Hirai; Kei Iida; Shinji Ito; Marika Trumm; Shiho Terada; Risako Sakai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Ken-Ichiro Kamei

  Communications biology, 2023年03月23日

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• 単結晶シリコン並列引張試験における集積化せん断型ひずみゲージによる荷重検出

  安田 莞司; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2017年

  
• プラズマCVDによりDLCを全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響

  張 文磊; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2017年

  
• せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス

  安田 莞司; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2016年

  
• サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験

  張 文磊; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2016年

  
• (110)シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響

  上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会, 2016年

  
• Effect of fabrication process on fracture strength and fatigue life of micromirrors made from single-crystal silicon

  Yuanlin Xia; Makoto Suzuki; Peidong Xue; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya

  International Journal of Fatigue, 2022年09月, 査読有り, 最終著者

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• Effect of alternating a-C:H multilayer full coating on fracture behavior of single-crystal silicon-based microstructure in tensile and toughness tests

  Yuanlin Xia; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya

  Materials Science and Engineering: A, 2021年10月, 査読有り

  
• MEMS材料の信頼性評価

  土屋 智由

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2005年07月01日

  
• 5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)

  宮本 憲治; 城森 知也; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会講演論文集, 2006年

  
• ゾル-ゲル法によるマイクロセンサー, マイクロアクチュエーター用圧電体チタン酸ジルコン酸鉛セラミックス薄膜の作製とその特性

  土屋 智由; 伊藤 寿浩; 佐々木 元; 須賀 唯知

  日本セラミックス協会学術論文誌 : Nippon Seramikkusu Kyokai gakujutsu ronbunshi, 1996年03月01日

  
• Gut-liver-axis microphysiological system for studying cellular fluidic shear stress and inter-tissue interaction

  JD Yang; S Imamura; Y Hirai; T Tsuchiya; O Tabata; KI Kamei

  BIOMICROFLUIDICS, 2022年07月, 査読有り

  
• シリコンセンサデバイスの材料技術(<特集>マイクロ構造デバイスの現状)

  土屋 智由

  精密工学会誌, 1999年05月05日

  
• 国際会議報告：The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS2013 報告

  土屋 智由

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2013年

  
• 432 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

  池原 毅; 土屋 智由

  年次大会講演論文集, 2008年

  
• 429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

  土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修

  年次大会講演論文集, 2008年

  
• 3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)

  田村 智久; EL-Bab Ahmed M.R.Fath; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会講演論文集, 2007年

  
• 2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)

  土屋 智由; 池田 哲郎; 菅野 公二; 田畑 修

  年次大会講演論文集, 2007年

  
• Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component

  Shun Kiyose; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  Japanese Journal of Applied Physics, 2021年06月01日

  
• Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement

  Takashi Miyazaki; Yoshikazu Hirai; Ken‐ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Electronics and Communications in Japan, 2021年06月

  
• Uniform needle-emitter arrays for ionic liquid electrospray thrusters with precise thrust control

  Fumiya Tachibana; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao

  Japanese Journal of Applied Physics, 2021年03月, 査読有り

  
• Piezoelectric Disk Gyroscope Fabricated With Single-Crystal Lithium Niobate

  Kazutaka Obitani; Kazutaka Araya; Masanori Yachi; Toshiyuki Tsuchiya

  Journal of Microelectromechanical Systems, 2021年01月, 査読有り

  
• 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgan-on-a-Chipの設計法

  宮崎 貴史; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2021年, 査読有り

  
• Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film

  Yuanlin Xia; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya

  SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2021年01月, 査読有り

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• Spin transport in a lateral spin valve with a suspended Cu channel

  Kenjiro Matsuki; Ryo Ohshima; Livio Leiva; Yuichiro Ando; Teruya Shinjo; Toshiyuki Tsuchiya; Masashi Shiraishi

  SCIENTIFIC REPORTS, 2020年07月, 査読有り

  
• Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique

  Naoki Yamashita; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICRO & NANO LETTERS, 2020年05月, 査読有り

  
• Laser-driven optothermal microactuator operated in water

  Qingyang You; Yingda Wang; Ziyao Zhang; Haijun Zhang; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  APPLIED OPTICS, 2020年02月, 査読有り

  
• マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法

  宮崎 貴史; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2020年

  
• Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids

  Jiaxu Wu; Yoshikazu Hirai; Ken-Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN, 2019年10月, 査読有り

  
• Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope

  Yunyi Shu; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2019年06月, 査読有り

  
• Ferroelectric Extended Nanofluidic Channels for Room‐Temperature Microfuel Cells

  Yuriy Pihosh; Yutaka Kazoe; Kazuma Mawatari; Hangyeol Seo; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Kenji Kitamura; Masahiro Tosa; Ivan Turkevych; Takehiko Kitamori

  Advanced Materials Technologies, 2019年06月, 査読有り

  
• Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film

  Wenlei Zhang; Kazutaka Obitani; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2019年02月, 査読有り

  
• AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定

  山下 直輝; 朴 晟洙; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2019年01月, 査読有り

  
• 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定

  霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  実験力学, 2019年01月, 査読有り

  
• 心臓拍動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス

  呉 家旭; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2019年01月, 査読有り

  
• 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測

  土屋 智由; 鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修

  実験力学, 2019年01月, 査読有り

  
• がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発

  植田 啓太; 萩原 健; 平井 義和; 近藤 純平; 井上 正宏; 土屋 智由; 亀井 謙一郎; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年

  
• Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges

  Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  SENSORS AND MATERIALS, 2018年09月, 査読有り

  
• Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array

  Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 2018年07月01日, 査読有り

  
• Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film

  Wenlei Zhang; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Applied Surface Science, 2018年06月15日, 査読有り

  
• Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device

  Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun-Ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata

  Applied Sciences (Switzerland), 2018年05月28日, 査読有り

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• Numerical Investigation of Steady and Transient Ion Beam Extraction Mechanisms for Electrospray Thrusters

  Kazuma Emoto; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao

  Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan, 2018年03月, 査読有り

  
• High-Yield Bridged Assembly of ssDNA-Modified SWCNT Using Dielectrophoresis

  Yusuke Shiomi; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  International Journal of Automation Technology, 2018年01月05日

  
• Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs

  Zhipeng Ma; Yunfei Huang; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Do-Nyun Kim; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Yamada; Osamu Tabata

  Small, 2018年01月04日, 査読有り

  
• リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 (特集 平成29年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会)

  稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines, 2018年01月, 査読有り

  
• リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明

  稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2018年, 査読有り

  
• 静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築

  宇野 亜季子; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2018年, 査読有り

  
• 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価

  辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2018年

  
• Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique

  Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICRO & NANO LETTERS, 2017年11月, 査読有り

  
• Microfabricated emitter array for an ionic liquid electrospray thruster

  Kaito Nakagawa; Toshiyuki Tsuchiya; Yoshinori Takao

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2017年06月, 査読有り

  
• Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design

  Zhipeng Ma; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り

  
• Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method

  Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り

  
• Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap

  Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り

  
• Dry Etching and Low-Temperature Direct Bonding Process of Lithium Niobate Wafer for Fabricating Micro/Nano Channel Device

  Toshiyuki Tsuchiya; Koji Sugano; Hideki Takahashi; H. Seo; Yuriy Pihosh; Yutaka Kazoe; Kazuma Mawatari; Takehiko Kitamori; Osamu Tabata

  The 19th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers2017), 2017年06月, 査読有り

  
• Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro

  Ken-ichiro Kamei; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Shinji Ito; Junko Satoh; Atsuko Oka; Toshiyuki Tsuchiya; Yong Chen; Osamu Tabata

  RSC ADVANCES, 2017年, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデル Body on a Chi

  亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修

  バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2017年

  
• 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価

  辻 勇亮; 中野 優; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017年

  
• Fracture behavior of single crystal silicon with thermal oxide layer

  Toshiyuki Tsuchiya; Kenji Miyamoto; Koji Sugano; Osamu Tabata

  ENGINEERING FRACTURE MECHANICS, 2016年09月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Crystal orientation-dependent fatigue characteristics in micrometer-sized single-crystal silicon

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2016年07月, 査読有り

  
• Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers

  Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016年06月, 査読有り

  
• Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures

  Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2016年06月, 査読有り

  
• 培養細胞を用いたスクリーニング系の構築、毒性評価 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発

  亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修

  組織培養研究, 2016年03月

  
• Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper

  Toshiyuki Tsuchiya; Yusuke Kogita; Akira Taniyama; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016年02月, 査読有り

  
• Effect of localized KrF excimer laser treatment on fracture behaviors of freestanding < 110 > and < 100 > single crystal silicon beams

  M. Elwi Mitwally; T. Tsuchiya; O. Tabata; S. Sedky

  MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2016年02月, 査読有り

  
• 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発

  加藤 義基; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2016年, 査読有り

  
• Graphene film development on flexible substrate using a new technique: temperature dependency of gauge factor for graphene-based strain sensors

  Sahour Sayed; Mohammed Gamil; Ahmed Fath El-Bab; Koichi Nakamura; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Ahmed Abd El-Moneim

  SENSOR REVIEW, 2016年, 査読有り

  
• Effect of Localized Laser Treatment on Fatigue Performance of Single-Crystal Silicon Microstructures

  Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky

  SENSORS AND MATERIALS, 2016年, 査読有り

  
• Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography

  Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Floris van Kempen; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Fred van Keulen; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2015年12月, 査読有り

  
• Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers

  Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICRO & NANO LETTERS, 2015年12月, 査読有り

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• 高感度表面増強ラマン分光分析に向けたマイクロ流路内粒子凝集反応解析

  菅野 公二; 片山 拓; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2015年11月01日, 査読有り

  
• ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価

  菅野 公二; 平岡 亮二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2015年11月01日, 査読有り

  
• Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy

  Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyun Kim; Osamu Tabata

  Micro & Nano Letters, 2015年10月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• High-speed pulsed mixing in a short distance with high-frequency switching of pumping from three inlets

  K. Sugano; A. Nakata; T. Tsuchiya; O. Tabata

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2015年08月, 査読有り

  
• ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis

  Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata

  SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2015年07月, 査読有り

  
• High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure

  Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015年06月, 査読有り

  
• High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behaviour of single crystal silicon microstructure

  Akio Uesugi; akahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Japanese Journal of Applied Physics, 2015年01月, 査読有り

  
• Effect of localized KrF excimer laser treatment on fracture behaviors of freestanding and single crystal silicon beams

  Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky

  Microsystem Technologies, 2015年01月, 査読有り

  
• Surface roughness modification of free standing single crystal silicon microstructures using KrF excimer laser treatment for mechanical performance improvement

  Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky

  Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology, 2015年, 査読有り

  
• ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価

  菅野公二; 平岡亮二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2015年, 査読有り

  
• Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment

  Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014年06月, 査読有り

  
• Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers

  Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2014年03月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators

  Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2014年03月, 査読有り

  
• Study on vibration-coupling control of out-of-plane coupled resonator for anti-shock tuning fork gyroscopes

  Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2014年, 査読有り

  
• Effects of etching surface roughness on the fatigue characteristics of single-crystal silicon

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2014年, 査読有り

  
• On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet

  K. Tsujimoto; K. Ban; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; N. Mizutani; O. Tabata

  Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013年11月, 査読有り

  
• Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer

  Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Electronics and Communications in Japan, 2013年05月, 査読有り

  
• Fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin-film membrane and its dependence on humidity

  Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013年03月, 査読有り

  
• (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響

  上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会論文集Ａ編, 2013年01月

  
• MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション

  平井 義和; 柳生 裕聖; 牧野 圭秀; 上杉 晃生; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2013年, 査読有り

  
• Effect of surface morphology and crystal orientations on tensile fracture property of (110) single crystal silicon

  Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Nihon Kikai Gakkai Ronbunshu, A Hen/Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Part A, 2013年, 査読有り

  
• Fatigue Testing of Polycrystalline Silicon Thin-Film Membrane Using Out-of-Plane Bending Vibration

  Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2012年11月, 査読有り

  
• Fatigue of 1 mu m-scale gold by vibration with reduced resonant frequency

  Takashi Sumigawa; Kenta Matsumoto; Toshiyuki Tsuchiya; Takayuki Kitamura

  MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROSTRUCTURE AND PROCESSING, 2012年10月, 査読有り

  
• Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics

  Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  POLYMER, 2012年09月, 査読有り

  
• Low-Cycle to Ultrahigh-Cycle Fatigue Lifetime Measurement of Single-Crystal-Silicon Specimens Using a Microresonator Test Device

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年08月, 査読有り

  
• Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes

  Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り

  
• Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection

  Ahmed M. R. Fath El Bab; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り

  
• Improved Designs for an Electrothermal In-Plane Microactuator

  Alex Man Ho Kwan; Sichao Song; Xing Lu; Lei Lu; Ying-Khai Teh; Ying-Fei Teh; Eddie Wing Cheung Chong; Yan Gao; William Hau; Fan Zeng; Man Wong; Chunmei Huang; Akira Taniyama; Yoshihide Makino; So Nishino; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り

  
• Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing

  Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Koji Sugano; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012年06月, 査読有り

  
• 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング

  片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り

  
• 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ共振振動を用いたメンブレンの信頼性試験

  種村 友貴; 山下 秀一; 和戸 弘幸; 竹内 幸裕; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り

  
• 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験

  上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2012年, 査読有り

  
• Noise-induced chaos in the electrostatically actuated MEMS resonators

  Wen-Ming Zhang; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; Guang Meng

  PHYSICS LETTERS A, 2011年07月, 査読有り

  
• チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

  辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2011年, 査読有り

  
• Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer

  Koji Sugano; Takashi Ozaki; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  SENSORS AND MATERIALS, 2011年, 査読有り

  
• Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique

  K.Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  International workshop on micro/nano-engineering, 2011年, 査読有り

  
• Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system

  Koji Sugano; Yuki Uchida; Osamu Ichihashi; Hideo Yamada; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 2010年12月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist

  Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010年10月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property

  Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010年06月, 査読有り

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• Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment

  T. Tsuchiya; Y. Yamaji; K. Sugano; O. Tabata

  EXPERIMENTAL MECHANICS, 2010年04月, 査読有り

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• Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens

  T. Ikehara; T. Tsuchiya

  MICRO & NANO LETTERS, 2010年02月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

  菅野 公二; 内田 雄喜; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年, 査読有り

  
• 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路

  徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年, 査読有り

  
• Development of Amplitude-Controlled Parallel-Fatigue-Test System for Micro-Electromechanical Resonators

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  SENSORS AND MATERIALS, 2010年, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating

  Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuro Ikeda; Akifumi Tsunematsu; Koji Sugano; Osamu Tabata

  SENSORS AND MATERIALS, 2010年, 査読有り

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• A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator

  Yuuki Nishimori; Hideta Ooiso; Shunsuke Mochizuki; Nobuyo Fujiwara; Toshiyuki Tsuchiya; Gen Hashiguchi

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2009年12月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Development and Experimental Validation of Automatic Conversion Procedure from Mechanical to Electrical Connection for MEMS Equivalent Circuit

  Nobuyo Fujiwara; Kazuo Asami; Yasuroh Iriye; Tomoyuki Koike; Toshiyuki Tsuchiya; Gen Hashiguchi

  IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2009年05月, 査読有り

  
• Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes

  Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Hamaguchi; Koji Sugano; Osamu Tabata

  IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2009年05月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Effects of anisotropic elasticity on stress concentration in micro mechanical structures fabricated on (001) single-crystal silicon films

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2009年05月, 査読有り

  
• Free-standing C(60) nanowire fabricated using XeF(2) sacrificial dry etching

  Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2009年01月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Free-standing (C60) nanowire fabricated using XeF2 sacrificial dry etching

  Toshiyuki Tsuchiya; Yasutake Ura; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata

  Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2009年, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Micro machined tactile sensor for soft tissue compliance detection

  A. M. R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. E. H. Eltaib; M. M. Sallam

  PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 2009年, 査読有り

  
• MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity

  Yoshikazu Hirai; Hideaki Yoshimune; Kazuya Tsujimoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 2009年, 査読有り

  
• 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価

  土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修

  日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月

  
• High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens

  T. Ikehara; T. Tsuchiya

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008年07月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Micro/nanoimprinting of glass under high temperature using a CVD diamond mold

  M. Komori; H. Uchiyama; H. Takebe; T. Kusuura; K. Kobayashi; H. Kuwahara; T. Tsuchiya

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008年06月, 査読有り

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• Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron

  Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2008年05月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution

  Kenji Miyamoto; Tomoya Jornori; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2008年05月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Air damping in a fan-shaped rotational resonator with comb electrodes

  Yuki Uchida; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Tsuyoshi Ikehara

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り

  
• Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue

  Ahmed M. R. Fath El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam

  電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 2008年, 査読有り

  
• DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル

  日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  粉体工学会, 2008年, 査読有り

  
• 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計

  吉川 弥; 篠部 晃生; 菅野 公二; 土屋 智由; 石田 章; 田畑 修

  電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 2008年

  
• Design construction of beam structured vertical drive SMA thin film actuator for small tactile display

  Wataru Yoshikawa; Akio Sasabe; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Akira Ishida; Osamu Tabata

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り

  
• Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer

  Takashi Ozaki; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2007年06月

  この論文にアクセスする：

  
• High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system

  Tsuyoshi Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  IEICE ELECTRONICS EXPRESS, 2007年05月

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• Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring

  Yoshikazu Hirai; Yoshiteru Inamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2007年02月

  この論文にアクセスする：

  
• 2 種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル

  樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会センサ・マイクロマシン準部門誌, 2007年, 査読有り

  
• Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films

  T Tsuchiya; M Hirata; N Chiba; R Udo; Y Yoshitomi; T Ando; K Sato; K Takashima; Y Higo; Y Saotome; H Ogawa; K Ozaki

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2005年10月

  この論文にアクセスする：

  
• Tensile testing of silicon thin films

  T Tsuchiya

  FATIGUE & FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS & STRUCTURES, 2005年08月

  
• Young's modulus, fracture strain, and tensile strength of sputtered titanium thin films

  T Tsuchiya; M Hirata; N Chiba

  THIN SOLID FILMS, 2005年07月

  この論文にアクセスする：

  
• A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes

  T Tsuchiya; H Funabashi

  SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2004年10月

  この論文にアクセスする：

  
• CVD法と熱処理で作製した多結晶Si膜の粒界物性評価

  中野 由崇; 土屋 智由; 坂田 二郎

  電気学会論文誌E（センサマイクロマシン準部門誌）, 2004年, 査読有り

  
• Characteristics of Grain Boundaries in Polycrystalline Si Films fabricated by Chemical Vapor Deposition and Subsequent Annealing

  Yoshitaka Nakano; Toshiyuki Tsuchiya; Jiro Sakata

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2004年, 査読有り

  
• 薄膜引張試験による多結晶シリコン膜のヤング率測定

  土屋 智由; 船橋 博文

  The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan (電気学会E部門論文誌), 2003年

  
• MEMS/NEMSと機械的物性評価

  土屋 智由

  まてりあ : 日本金属学会会報, 2002年10月20日

  
• Formation of porous grain boundaries in polycrystalline silicon thin films

  Y Kageyama; Y Murase; T Tsuchiya; H Funabashi; J Sakata

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2002年06月, 査読有り

  
• Tensile testing system for sub-micrometer thick films

  T Tsuchiya; M Shikida; K Sato

  SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2002年04月, 査読有り

  
• Polysilicon vibrating gyroscope vacuum-encapsulated on-chip micro chamber

  Toshiyuki Tsuchiya; Yasuyuki Kageyama; Hirofumi Funabashi; Jiro Sakata

  Sensors and Actuators, A: Physical, 2001年05月01日, 査読有り

  
• Vibrating gyroscope consisting of three layers of polysilicon thin films

  Toshiyuki Tsuchiya; Yasuyuki Kageyama; Hirofumi Funabashi; Jiro Sakata

  Sensors and Actuators, A: Physical, 2000年05月15日, 査読有り

  
• Tensile testing of insulating thin films; humidity effect on tensile strength of SiO2 films

  T Tsuchiya; A Inoue; J Sakata

  SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2000年05月, 査読有り

  
• Tensile Testing of Insulating Thin Films using Electrostatic Force Grip

  Toshiyuki Tsuchiya; Jiro Sakata

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 1999年, 査読有り

  
• Specimen size effect of tensile strength of surface-micromachined polycrystalline silicon thin films

  T Tsuchiya; O Tabata; J Sakata; Y Taga

  JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 1998年03月, 査読有り

  
• Tensile Testing of Polycrystalline Silicon Thin Films Using Electrostatic Force Grip

  Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Jiro Sakata; Yasunori Taga

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 1996年, 査読有り

  
• Poisson's Ratio Evaluation of LPCVD Silicon Nitride Film

  Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan, 1996年, 査読有り

  

MISC

• マイクロ流体デバイス内のNV中心の蛍光スペクトル測定

  舌雅也; 渡辺嵩都; 四竈泰一; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修; 平井義和

  応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2022年

  
• マイクロ・ナノ工学

  佐藤 一雄; 庄子 習一; 橋口 原; 鈴木 雄二; 三木 則尚; 土屋 智由; 鷲津 正夫

  日本機械学會誌 = Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers, 2008年08月05日

  
• 静電チャックを用いた薄膜引張り試験装置

  土屋 智由

  機械設計, 2002年06月

  
• 単結晶シリコンの引張強度評価の Round Robin Test : 試験片作製プロセスの開発

  土屋 智由; 坂田 二郎; 式田 光宏; 佐藤 一雄; 小川 博文

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2000年09月13日

  
• 薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)

  土屋 智由

  豊田中央研究所R&Dレビュ-, 1999年03月

  
• 静電力チャックを用いた絶縁薄膜の引張試験

  土屋 智由; 坂田 二郎

  電気学会研究会資料. SMP, センサ材料・プロセス技術研究会, 1997年11月18日

  
• プラズマCVD SiO_2薄膜の引張試験 : 試験雰囲気が引張強度に与える影響評価

  土屋 智由; 井上 敦子; 坂田 二郎

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会, 1999年09月07日

  
• 単結晶シリコン振動子の疲労寿命予測

  土屋 智由; 井上 敦子; 坂田 二郎; 橋本 雅人; 横山 敦子; 杉本 雅裕

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会, 1998年11月05日

  
• MEMSの機械的信頼性

  土屋 智由

  日本信頼性学会誌 : 信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan, 2005年04月01日

  
• 多結晶Si膜の粒界キャラクタリゼーション (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)

  中野 由崇; 井上 敦子; 土屋 智由

  豊田中央研究所R&Dレビュ-, 1999年03月

  
• 低X線散乱ノイズ観測チャンバー開発による蛋白質1分子構造変化計測

  清水 啓史; 田渕 友樹; 田原 樹生; 岩本 真幸; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日

  
• シリコンの機械的信頼性

  土屋 智由

  機械の研究, 2015年03月

  
• 京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 ナノ・マイクロシステム工学研究室

  田畑 修; 土屋 智由

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2006年07月01日

  
• 犠牲DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光法による分子検出

  山下直輝; PARK Seongsu; 川合健太郎; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 2019年

  
• 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス

  三浦大知; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由

  化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2021年

  
• OS1418-467 顕微ラマン分光による単結晶シリコンマイクロ構造の動的応力測定

  土屋 智由; 小北 雄亮; 平井 義和; 田畑 修

  M&M材料力学カンファレンス, 2015年11月21日

  
• 731 1軸加振器を用いたMEMS3軸加速度センサの感度マトリックス測定

  土屋 智由; 中野 篤; 平井 義和; 田畑 修; 梅田 章

  機械力学・計測制御講演論文集, 2015年08月25日

  
• 2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)

  佐藤 亮; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008年03月17日

  
• 2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)

  樋口 雄一; 日下部 達哉; 種村 友貴; 佐藤 亮; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008年03月17日

  
• 29pm1-F-2 熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのSOI-MEMS集積化

  邊見 哲也; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月21日

  
• 29pm3-PN-49 (110)単結晶シリコンマイクロ構造の高温引張破壊特性

  上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月21日

  
• J2210305 シリコン単結晶における破壊の結晶方位依存性と製造歩留り

  池原 毅; 土屋 智由

  年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2015年09月13日

  
• J2210406 静電駆動MEMS光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定

  土屋 智由; 小北 雄亮; 平井 義和; 田畑 修

  年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2015年09月13日

  
• J2210404 ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験

  上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2015年09月13日

  
• 1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)

  城森 知也; 宮本 憲治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2007年03月19日

  
• 犠牲DNAオリガミ技術と極小ギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用

  山下 直輝; 朴 晟洙; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日

  
• Rapid molecular sensing based on on-chip size-separation process of DNA origami

  Park Seongsu; Ma Zhipeng; Yamashita Naoki; Hirai Yoshikazu; Tsuchiya Toshiyuki; Tabata Osamu

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日

  
• エレクトロスプレースラスタを対象とした数値解析におけるエミッタ先端の境界条件によるイオンビーム分布への影響

  江本 一磨; 土屋 智由; 鷹尾 祥典

  年会講演会講演集, 2017年04月13日

  
• 多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発

  寺島 健太; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2016年10月02日

  
• サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ

  松井 祐樹; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2015年10月28日

  
• 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発

  加藤 義基; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2015年10月28日

  
• マイクロスケールシリコンの結晶方位に依存した疲労破壊と応力解析

  池原 毅; 土屋 智由

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2015年10月28日

  
• 有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析

  宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2020年

  
• 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ

  亀井謙一郎; 楊建東; 飯田慶; 寺田志穂; 土屋智由; 田畑修; 平井義和

  化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2020年

  
• マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法

  宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  電気学会論文誌 E, 2020年

  
• 電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計

  宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 田畑修; 田畑修; 土屋智由

  マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2020年

  
• PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ

  辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年09月12日

  
• Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion

  Ikkei Yamauchi; Tomoki Tabuchi; Yoshikazu Hirai; Masayuki Iwamoto; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Shimizu; Osamu Tabata

  2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日

  
• Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation

  Masaki Shimofuri; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日

  
• 超小型高推力密度エレクトロスプレースラスタの研究開発

  鷹尾 祥典; 土屋 智由; 長尾 昌善; 村上 勝久

  日本航空宇宙学会誌, 2019年01月05日, 査読有り

  
• 有限要素解析を用いた経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス内電極形状の設計

  宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2019年

  
• PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ

  辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年

  
• がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発

  植田啓太; 萩原健; 平井義和; 近藤純平; 井上正宏; 土屋智由; 亀井謙一郎; 田畑修

  日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2019年

  
• Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells

  Yoshikazu Hirai; Katsuo Nokamura; Yuichi Kimoto; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium, 2018年12月31日

  
• Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon

  Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018, 2018年11月01日

  
• Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope

  Yunyi Shu; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 2018年05月11日

  
• Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography

  Yoshikazu Hirai; Yusuke Tsuji; Ken-Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日

  
• Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array

  Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日

  このMISCにアクセスする：

  
• 経上皮電気抵抗測定に用いる銀/塩化銀平面電極搭載マイクロ流体デバイスの作製

  宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  電気学会研究会資料, 2018年

  
• 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価

  辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2018年

  
• Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding

  Kenta Terashima; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 2017年10月27日

  
• Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique

  Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Kentaro Kawai

  2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 2017年08月25日

  
• MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling

  Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 2017年07月31日

  
• Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes

  Toshiyuki Tsuchiya; Yuki Matsui; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata

  TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日

  このMISCにアクセスする：

  
• Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks

  Yoshikazu Hirai; Kenta Terashima; Katsuo Nakamura; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日

  
• リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 (フィジカルセンサ ケミカルセンサ マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ・マイクロマシン一般および,センサ・マイクロマシンに共通する次世代ニーズ(ライフやグリーン・イノベーション等,ただしこれに限定しない))

  稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, 2017年06月29日

  
• Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography

  K. Nakamura; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata; F. Larramendy; O. Paul

  Proceedings of IEEE Sensors, 2017年01月05日

  
• 心筋細胞外電位測定のためのPDMS埋め込み型電極アレイ

  大牧達矢; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2017年

  
• 心筋細胞外電位計測を目指したPDMS埋め込み型電極アレイの作製プロセス

  大牧達也; 平井義和; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年

  
• 微小圧力計測を目的としたPDMS製イオン液体型圧力センサ

  辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年

  
• 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価

  辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2017年

  
• 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデルBody on a Chip

  亀井謙一郎; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修

  バイオエンジニアリング講演会講演論文集(CD-ROM), 2017年

  
• TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC

  Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017年

  
• MEMS deformable mirror actuated by electrostatic piston array

  Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2016年09月13日

  
• イオン液体を用いたエレクトロスプレーにおけるイオンビーム引き出し機構の数値解析

  江本 一磨; 土屋 智由; 鷹尾 祥典

  宇宙科学技術連合講演会講演集, 2016年09月06日

  
• イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるビーム引き出し特性の電極形状依存

  中川 洋人; 土屋 智由; 鷹尾 祥典

  宇宙科学技術連合講演会講演集, 2016年09月06日

  
• イオン液体を用いたエレクトロスプレースラスタにおけるイオンビーム抽出特性

  中川 洋人; 土屋 智由; 鷹尾 祥典

  年会講演会講演集, 2016年04月14日

  
• 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発

  亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修

  組織培養研究, 2016年

  
• Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes

  Kio Tahara; Yoshikazu Hirai; Hirohumi Shimizu; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Procedia Engineering, 2016年

  このMISCにアクセスする：

  
• Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device

  Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun Ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata

  Procedia Structural Integrity, 2016年01月01日

  
• Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 °c of (110) Single Crystal Silicon Microstructures

  Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Procedia Structural Integrity, 2016年01月01日

  
• MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測

  土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修; 梅田章

  第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月

  
• DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成

  朴晟洙; 馬志鵬; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 森裕都

  平成27年電気学会全国大会, 2015年03月

  
• 抗がん剤副作用を生体外で再現するBody on a Chipの開発

  亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修

  化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2015年

  
• Multiple patterning with process optimization method for maskless DMD-based grayscale lithography

  X. Ma; Y. Kato; F. Kempen; Y. Hirai; T. Tsuchiya; F. Keulen; O. Tabata

  Procedia Engineering, 2015年

  このMISCにアクセスする：

  
• Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system

  Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 2015年

  
• ULTRASENSITIVE SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY USING DIRECTIONALLY ARRAYED GOLD NANOPARTICLE DIMERS

  Koji Sugano; Daimon Matsui; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年

  
• FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA

  Kosuke Hokazono; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年

  
• A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT

  Y. Matsui; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年

  
• SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING

  A. Uesugi; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年

  
• SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE

  Y. Mori; Z. Ma; S. Park; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年, 査読有り

  
• MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP

  Y. Kato; Y. Hirai; K. Kamei; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年

  
• Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation

  Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyum Kim; Osamu Tabata

  2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2015年

  
• 灌流システムを搭載した副作用検査デバイス 〜ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して〜

  加藤義基; 平井 義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修

  細胞アッセイ技術の現状と将来, 2015年01月

  
• Highly-sensitive surface enhanced raman spectroscopy with directionally-arrayed gold nanoparticle dimers

  K. Sugano; D. Matsui; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 2014年11月

  
• MEMS慣性力センサの信頼性

  土屋 智由

  第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2014年10月

  
• マイクロ構造上の面粗さによる強度低下の簡単な見積もり方法

  土屋 智由

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月

  
• An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System

  Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月

  
• 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光

  菅野 公二; 松井 大門; 土屋 智由; 田畑 修

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月

  
• 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移

  上杉晃生; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2014年10月

  
• 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性

  外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 2014年10月

  
• Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature

  A. Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 2014年10月

  
• Development of a High Efficient Proton Conductor Media using Extended-Nano Space under the outer Electric Field

  Y. Pihosh; N. Kabeta; K. Mawatari; Y. Kazoe; K. Kitamura; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya; T. Kitamori

  The 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2014), 2014年10月

  
• Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation

  Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yuto Mori; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 2014年10月

  
• J2240303 赤外光集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験([J224-03]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 シリコンの破壊と疲労)

  上杉 晃生; 安富 貴浩; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2014年09月07日

  
• 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験

  土屋智由; 鈴木淳也; 平井義和; 田畑修

  日本機械学会2014年度年次大会,, 2014年09月

  
• 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ

  小北雄亮; 谷山彰; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月

  
• 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験

  上杉晃生; 安富貴浩; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月

  
• シリコン微小構造の表面粗さによる応力効果の推定

  池原 毅; 土屋 智由

  日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月

  
• MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討

  土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修

  Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 2014年08月

  
• 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験

  上杉晃生; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  日本実験力学会2014年度年次講演会, 2014年08月

  
• エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上

  土屋智由; Mohamed E. Mitwally; 平井義和; 田畑修; Sherif Sedky

  日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, 2014年07月

  
• Towards batch assembly and integration of single-walled carbon nanotubes to micro-electromechanical devices

  Toshiyuki Tsuchiya

  2014 CMOS Emerging Technologies Research, Grenoble, 2014年07月

  
• Improvement of tensile strength of freestanding single crystal silicon microstructures using localized harsh laser treatment

  Mohamed E. Mitwally; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Sherif Sedky

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014年06月

  
• An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system

  Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris Kempen; Fred Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月

  
• Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C

  Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月

  
• 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム

  平井義和; 高木大介; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修

  平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 2014年05月

  
• 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価

  菅野公二; 松井大門; 土屋智由; 田畑修

  平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, 2014年05月

  
• 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診

  高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修

  第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 2014年03月

  
• Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis

  Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata

  28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 2014年

  
• 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会)

  上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  日本実験力学会講演論文集, 2014年01月

  
• DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY

  Yusuke Kogita; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年

  
• LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES

  Toshiyuki Tsuchiya; Vijay Kumar Singh; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata

  2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年

  
• 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム

  高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 藤本清秀; 土屋智由; 平尾佳彦; 田畑修

  化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2013年12月

  
• 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価

  辻本和也; 藩和宏; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 水谷夏彦; 田畑修

  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月

  
• 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ

  小北雄亮; 谷山彰; 平井義和; 田畑修; 土屋智由

  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月

  
• 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析

  成瀬圭介; 柳生裕聖; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月

  
• 多結晶シリコン薄膜の面外共振振動による疲労破壊に及ぼす温度・湿度の影響評価

  種村友貴; 山下秀一; 和戸弘幸; 竹内幸裕; 田畑修; 土屋智由

  M&M2013材料力学カンファレンス, 日本機械学会, 2013年10月

  
• (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性

  上杉晃生; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月

  
• 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工

  鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月

  
• 単結晶シリコン振動子の疲労寿命に対する側壁粗さの影響

  池原 毅; 土屋 智由

  日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月

  
• ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル

  外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月

  
• Atomic MEMS のための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法

  辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 藩和宏; 水谷夏彦; 田畑修

  2013年電子情報通信学会・ソサイエティ大会, 電子情報通信学会, 2013年09月

  
• 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価

  中野篤; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 2013年08月

  
• 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性

  谷山彰; 小北雄亮; 平井義和; 田畑修; 土屋智由

  日本実験力学会2013年度年次講演会, 2013年08月

  
• Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations

  Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugan; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 2013年07月

  
• Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography

  Y. Kato; Yoshikazu Hirai; F. van Kempen; F. van Keulen; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 2013年04月

  
• 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製

  北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  平成25年電気学会全国大会, 2013年03月

  
• グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ

  加藤義基; 平井義和; Floris van Kempen; Fred van Keulen; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  平成25年電気学会全国大会, 2013年03月

  
• DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY

  T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata

  26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 2013年

  
• 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ

  小北 雄亮; 谷山 彰; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月

  
• 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価

  辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月

  
• 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度

  中野 篤; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月

  
• Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis

  Daisuke Takagi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao

  2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 2013年

  
• Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon

  A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年

  
• SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection

  K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年

  
• On-chip MEMS tensile testing device for mechanical characterization of nano-materials

  Toshiyuki Tsuchiya

  The first Bristol Univ.-Kyoto Univ. Joint Symposium, 2013年01月

  
• 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会)

  谷山 彰; 小北 雄亮; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本実験力学会講演論文集, 2013年01月, 査読有り

  
• AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)

  辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 藩 和宏; 水谷 夏彦; 田畑 修

  電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013年01月

  
• Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table

  Atsushi Nakano; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Akira Umeda

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013年

  
• SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection

  K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年, 査読有り

  
• Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon

  A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年, 査読有り

  
• DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY

  T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata

  26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 2013年, 査読有り

  
• Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table

  Atsushi Nakano; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Akira Umeda

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013年, 査読有り

  
• 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析

  柳生 裕聖; 平井 義和; 牧野 圭秀; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012年10月

  
• シリコンセンサとマイクロ・ナノ材料 -MEMSデバイスの高信頼・高機能化に向けて-

  土屋 智由

  東京工業大学 精密工学研究所公開 技術講演会, 2012年10月

  
• 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定

  鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋智由; 田畑 修

  第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2012年10月

  
• 多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価

  種村 友貴; 山下 秀一; 和戸 弘幸; 竹内 幸裕; 土屋 智由; 田畑 修

  第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2012年10月

  
• 701 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析(センサ開発,OS5.2 機械のための動的計測,総合テーマ:「システムを考える。境界を越えて。」)

  土屋 智由; 中野 篤; 梅田 章; 田畑 修

  機械力学・計測制御講演論文集, 2012年09月17日

  
• 702 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価(センサ開発,OS5.2 機械のための動的計測,総合テーマ:「システムを考える。境界を越えて。」)

  中野 篤; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 梅田 章

  機械力学・計測制御講演論文集, 2012年09月17日

  
• 静電容量型3軸MEMS加速度センサの動的横感度の解析

  土屋 智由; 中野 篤; 梅田 章; 田畑 修

  日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 2012年09月

  
• 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価

  中野 篤; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 梅田 章

  日本機械学会Dynamics and Design Conference 2012, 2012年09月

  
• 加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験

  上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会M&M2012材料力学カンファレンス, 2012年09月

  
• MEMSを応用したマイクロ・ナノ材料の機械的信頼性評価

  土屋 智由

  日本機械学会 2012 年度年次大会, 2012年09月

  
• Untitled

  Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICRO & NANO LETTERS, 2012年08月

  
• Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist

  Daimon Matsui; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), 2012年07月

  
• 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製

  西野聡; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 武中能子

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日

  
• 高感度ＳＥＲＳ分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析

  片山拓; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日

  
• 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製

  西野聡; 菅野公二; 武中能子; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  平成24年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年06月

  
• 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析

  片山拓; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  ステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 2012年06月

  
• Out-of-plane Bending Reliability Test for Intrinsic Mechanical Strength of Polycrystalline Silicon Thin Film Using Etching-damage-less Membrane

  Tomoki Tanemura; Shuichi Yamashita; Hiroyuki Wado; Yukihiro Takeuchi; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, 2012年04月

  
• Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes

  Praveen Thakur Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, 2012年04月

  
• Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate

  C. Huang; T. Akishiba; N. Tamura; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月

  
• Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate

  S. Nishino; Y. Takenaka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月

  
• Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics

  H. Yagyu; Yoshikazu Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月

  
• Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer

  T. Kataoka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月

  
• 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析

  徳崎裕幸; 平井義和; 菅野公二; 田畑 修; 土屋智由

  応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年03月

  
• Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS

  Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata

  IFIP Advances in Information and Communication Technology, 2012年

  
• 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製

  西野 聡; 菅野 公二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修; 武中 能子

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年01月

  
• 高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析

  片山 拓; 菅野 公二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2012年01月

  
• Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer

  T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012年

  
• ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR

  A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya

  2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年

  
• DYNAMIC SENSITIVITY MATRIX MEASUREMENT FOR SINGLE-MASS SOI 3-AXIS ACCELEROMETER

  T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda

  2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年, 査読有り

  
• Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application

  Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Materials Research Society Symposium Proceedings, 2012年, 査読有り

  
• ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR

  A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya

  2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年, 査読有り

  
• 国際会議報告：IEEE-NEMS 2012 報告

  土屋 智由

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2012年

  このMISCにアクセスする：

  
• Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation

  Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Tsuchiya Toshiyuki; Osamu Tabata

  26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 2012年, 査読有り

  このMISCにアクセスする：

  
• Dynamic sensitivity matrix measurement for single-mass SOI 3-axis accelerometer

  T. Tsuchiya; O. Tabata; A. Umeda

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012年, 査読有り

  
• HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS

  Koji Sugano; Akihiro Nakata; Hideaki Yoshimune; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2012年, 査読有り

  
• Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist

  Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 2011年12月

  
• 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

  平井義和; 辻本和也; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会電子回路研究会資料, 2011年11月21日

  
• Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application

  H. Yagyu; Yoshikazu Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2011 MRS Fall Meeting, 2011年11月

  
• 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

  平井義和; 辻本和也; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会電子回路研究会（圧電デバイス・材料）, 2011年11月

  
• 5-5 異なる試験手法により得られたシリコンの疲労挙動の相互比較(セッション5:OS1-2 マルチスケール・シミュレーションとナノ計測)

  神谷 庄司; 土屋 智由; 池原 毅; 佐藤 一雄; 安藤 妙子; 生津 資大; 高島 和希

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2011年09月25日

  
• 228 多軸慣性センサの標準に関する研究 : 第二報 : 感度マトリックスの比較測定(加速度計関連動的計測,OS-10 機械のための動的計測,総合テーマ:「部門創設25周年、新たなる躍動」)

  梅田 章; 土屋 智由; 深津 恵輔

  機械力学・計測制御講演論文集, 2011年09月04日

  
• 多軸慣性センサの標準に関する研究（第二報：感度マトリックスの比較測定）

  梅田 章; 土屋 智由; 深津 恵輔

  日本機械学会 Dynamics and Design Conference 2011, 2011年09月

  
• 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング

  片岡達也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月

  
• MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル

  平井義和; 柳生裕聖; 上杉晃生; 牧野圭秀; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月

  
• ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ

  菅野公二; 平岡亮二; Martin Klaumnzer; Michael Voigt; Wolfgang Peukert; 土屋智由; 田畑 修

  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月

  
• ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長

  西野聡; 菅野公二; 武仲能子; 田畑修; 土屋智由; 平井義和

  日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 2011年09月

  
• エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性

  上杉晃生; 牧野圭秀; 柳生裕聖; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会2011年度年次大会, 2011年09月

  
• ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用

  辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, 2011年07月

  
• ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル

  菅野公二; 平岡亮二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日

  
• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成

  菅野公二; 吉宗秀晃; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日

  
• 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型ＭＥＭＳデバイスの電気等価回路の構築

  北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日

  
• 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析

  北村 彰男; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2011年06月

  
• ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル

  菅野公二; 平岡亮二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 2011年06月

  
• Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane

  平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 2011年06月, 査読有り

  
• 微小構造体の共振疲労試験手法の開発

  松本健太; 澄川貴志; 土屋智由; 北村隆行

  日本材料学会学術講演会講演論文集, 2011年05月24日

  
• 微小構造体の共振疲労試験手法の開発

  松本 健太; 澄川 貴志; 土屋 智由; 北村 隆行

  日本材料学会 第６０期学術講演会, 2011年05月

  
• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成

  吉宗 秀晃; 中田 哲博; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  平成23年電気学会全国大会, 2011年03月

  
• Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity

  Praveen Singh Thakur; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年02月, 査読有り

  
• 716 微小構造体の共振疲労試験手法の開発(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)

  松本 健太; 澄川 貴志; 土屋 智由; 北村 隆行

  学術講演会講演論文集, 2011年01月

  
• ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル

  菅野 公二; 平岡 亮二; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月

  
• 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

  平井 義和; 辻本 和也; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会, 2011年01月

  
• LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY

  A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya

  2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年

  
• 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築

  北村 彰男; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月

  
• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成

  菅野 公二; 吉宗 秀晃; 中田 哲博; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2011年01月

  
• Measurement of high-cycle fatigue lives of micrometer-sized single-crystal silicon specimens

  T. Ikehara; Toshiyuki Tsuchiya

  International Symposium on Plasticity and Its Current Applications, 2011年01月

  
• プロセス技術 : 解説特集の企画にあたって

  土屋 智由

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2011年01月01日

  
• Designs for improving the performance of an electro-thermal in-plane actuator

  Alex Man Ho Kwan; Sichao Song; Xing Lu; Lei Lu; Ying Khai Teh; Ying Fei Teh; Eddie Wing Cheung Chong; Yan Gao; William Hau; Fan Zeng; Man Wong; Chunmei Huang; Akira Taniyama; Yoshihide Makino; So Nishino; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 2011年, 査読有り

  
• Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS

  Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata

  2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 2011年, 査読有り

  
• Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device

  Yoshikazu Hirai; Yusuke Nakai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り

  
• Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device

  Chunmei Huang; Takahiro Saeki; Masayuki Endo; Hiroshi Sugiyama; Chen-Hsun Weng; Gwo-Bin Lee; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り

  
• Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection

  Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り

  
• SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER

  K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り

  
• LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY

  A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya

  2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り

  
• Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics

  Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り

  
• High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis

  K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata

  2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り

  
• Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope

  Praveen Singh Thakur; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り

  
• Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template

  K. Sugano; R. Hiraoka; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Klaumunzer; M. Voigt; W. Peukert

  2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り

  
• High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels

  Koji Sugano; Hideaki Yoshimune; Akihiro Nakata; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り

  
• Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity

  Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り

  
• Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope

  Thakur Praveen Singh; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  EUROSENSORS XXV, 2011年

  
• CROSS COMPARISON OF FATIGUE LIFETIME TESTING ON SILICON THIN FILM SPECIMENS

  S. Kamiya; T. Tsuchiya; T. Ikehara; K. Sato; T. Ando; T. Namazu; K. Takashima

  2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り

  
• マイクロ・ナノ材料の試験方法

  土屋 智由

  塑性と加工, 2010年11月25日

  
• Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly

  Koji Sugano; Ryoji Hiraoka; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 2010年11月

  
• 単結晶Ｓｉマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析

  脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由

  日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2010年10月12日

  
• MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)

  徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月12日

  
• (110)単結晶Si マイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析

  脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅

  第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 2010年10月

  
• 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析

  徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第2回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 日本機械学会, 2010年10月

  
• MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)

  徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月

  
• MNM-3A-4 (110)単結晶Siマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析(セッション 3A 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)

  脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月

  
• チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

  辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2010年10月

  
• （１１０）単結晶Ｓｉの引張試験における破壊の結晶異方性評価

  脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 土屋智由; 池原毅

  日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日

  
• 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析

  谷山彰; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由

  日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日

  
• T0302-1-1 (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)

  脇田 拓; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅

  年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010年09月

  
• T0302-2-2 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)

  谷山 彰; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由

  年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010年09月

  
• 単結晶Si の引張試験における破壊の結晶異方性評価

  脇田 拓; 平井 義和; 菅野公二; 田畑 修; 土屋 智由; 池原 毅

  日本機械学会2010年度年次大会, 2010年09月

  
• 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析

  谷山 彰; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由

  日本機械学会2010年度年次大会, 2010年09月

  
• MEMSを用いたナノスケールの材料計測

  土屋 智由

  計測自動制御学会関西支部平成２２年度講習会, 2010年07月

  
• Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing

  Wakita Taku; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Ikehara Tsuyoshi

  The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り

  
• Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell

  Tsujimoto Kazuya; Hirai Yoshikazu; 菅野 公二; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り

  
• ３方向からの交互脈動送液による高速２液混合

  菅野公二; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2010年06月17日

  
• MEMS2010報告

  土屋 智由

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年06月

  
• 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合

  菅野 公二; 中田 哲博; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2010年06月

  
• MEMS2010報告

  土屋 智由

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年06月01日

  
• 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年03月

  
• 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  土屋 智由; 小野 崇人; 村上 裕二

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2010年03月01日

  
• 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価

  脇田拓; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修; 池原 毅

  第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,, pp. 39-40, 2010年03月, 査読有り

  
• Measurement of anisotropic fatigue life in micrometre-scale single-crystal silicon specimens

  T. Ikehara; T. Tsuchiya

  MICRO & NANO LETTERS, 2010年02月, 査読有り

  このMISCにアクセスする：

  
• DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components

  Guillermo Lopez; Tomoki Tanemura; Ryo Sato; Takahiro Saeki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Masahiro Fujita; Mizuo Maeda

  2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 2010年, 査読有り

  
• Component modeling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection

  Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2010年, 査読有り

  
• DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites

  R. Sato; T. Tanemura; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 2010年, 査読有り

  
• チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路機密封止技術

  辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  第27 回「センサーマイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.10.14), 2010年, 査読有り

  
• Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists

  Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 2010年, 査読有り

  
• New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration

  A. M. R. Fath El Bab; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. E. H. Eltaib; M. M. Sallam

  EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 2010年, 査読有り

  
• Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS)

  土屋 智由

  The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 2009年12月, 査読有り

  
• ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータの開発

  藤原信代; 浅海和雄; 小池智之; 土屋智由; 橋口原

  電子情報通信学会技術研究報告, 2009年11月05日

  
• MEMS等価回路ジェネレータの開発(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)

  藤原 信代; 浅海 和雄; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原

  電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2009年11月

  
• Technologies, applications, and reliabilities of microelectromechanical systems (MEMS)

  Toshiyuki Tsuchiya

  The 9th Society of Exploration Geophysicist of Japan International Symposium, 2009年10月

  
• マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します

  菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修

  APPIE 産学官連携フェア2009, 2009年10月

  
• ナノ粒子を所望のパターンに配列する

  菅野公二; 平岡亮二; 土屋 智由; 田畑 修

  APPIE 産学官連携フェア2009, 2009年10月

  
• 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価

  脇田 拓; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 池原 毅

  第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2009年10月

  
• 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法

  平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 2009年10月, 査読有り

  
• 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化

  中田 哲博; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 2009年10月, 査読有り

  
• 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路

  徳崎裕幸; 菅野公二; 土屋智由; 田畑 修

  第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 2009年10月, 査読有り

  
• T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))

  徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月12日

  
• ＭＥＭＳ共振デバイスの低サイクル破壊試験

  池原毅; 土屋智由

  日本機械学会年次大会講演論文集, 2009年09月12日

  
• Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design

  M. Sato; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  Procedia Chemistry, 2009年09月

  
• MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験

  池原 毅; 土屋 智由

  日本機械学会2009年度年次大会, 2009年09月

  
• MEMS素子のモデリング技術

  土屋 智由

  電子情報通信学会 2009年ソサイエティ大会 エレクトロニクス講演論文集2, 2009年09月

  
• 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築

  徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2009年度年次大会, 2009年09月

  
• T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))

  徳崎 裕幸; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月

  
• CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)

  土屋 智由

  電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009年09月

  
• T0302-1-1 MEMS共振デバイスの低サイクル破壊試験(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))

  池原 毅; 土屋 智由

  年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009年09月

  
• CT-1-2 MEMS素子のモデリング技術(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)

  土屋 智由

  電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2009年09月01日

  
• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

  菅野公二; 内田雄喜; 平井義和; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2009年07月23日

  
• MEMS等価回路ジェネレータの開発

  浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009年07月23日

  
• 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会

  菅野公二; 内田雄喜; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 2009年07月

  
• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

  菅野 公二; 内田 雄喜; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2009年07月

  
• MEMS等価回路ジェネレータの開発

  浅海 和雄; 藤原 信代; 水田 千益; 望月 俊輔; 小池 智之; 土屋 智由; 橋口 原

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2009年07月

  
• Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference

  佐藤 亮; 種村 友貴; Lopez Hinojosa Guillermo; Serry ElSayed Ahmed Mohammed; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009年04月, 査読有り

  
• Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array using Combination of Self-assembly and 2-step Transfer

  菅野 公二; 尾崎 貴志; 土屋 智由; 田畑 修

  International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009年04月, 査読有り

  
• 静電容量型ＭＥＭＳデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

  浦靖武; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会全国大会講演論文集, 2009年03月17日, 査読有り

  
• 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  橋口 原; 土屋 智由; 高尾 英邦; 山下 馨; 藤田 孝之; 佐々木 実; 阪田 知巳; 古賀 章浩; 安達 洋; 廣田 正樹; 中本 高道; 毛塚 博史; 室 英夫; 林 健司; 三木 則尚; 中西 博昭; 竹内 昌治; 杉山 正和; 小西 聡; 村上 裕二; 日暮 栄治; 澤田 廉士; 積 知範

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2009年03月01日

  
• 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

  浦 靖武; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会全国大会, 2009年03月, 査読有り

  
• CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS

  土屋 智由

  Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 2009年03月, 査読有り

  
• 3DOF equivalent circuit model of a comb-drive actuator

  Y. Nishimori; N. Fujiwara; H. Ooiso; T. Tsuchiya; S. Mochizuoki; G. Hashiguchi

  TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年

  
• Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist

  Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り

  
• Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device

  Yasutake Ura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り

  
• Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist

  Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り

  
• SEQUENTIAL AND SELECTIVE SELF-ASSEMBLY OF MICRO COMPONENTS BY DNA GRAFTED POLYMER

  T. Tanemura; G. Lopez; R. Sato; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata; M. Fujita; M. Maeda

  IEEE 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2009), 2009年, 査読有り

  
• Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique

  HIRAI Yoshikazu; INAMOTO Yoshiteru; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り

  
• Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system

  FUJIWARA N; ASAUMI K; IRIYE Y; KOIKE T; TSUCHIYA T; HASHIGUCHI G

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り

  
• Semi-analytical Formula for the Capacitance of Vertical Comb Electrodes and its Applications

  MOCHIZUKI Shunsuke; TSUCHIYA Toshiyuki; HASHIGUCHI Gen; KOIKE Tomoyuki; MIZUTA Chieki

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り

  
• Semi-analytical formula for the capacitance of vertical comb electrodes and its applications

  Mochizuki Shunsuke; Toshiyuki Tsuchiya; Hashiguchi Gen; Koike Tomoyuki; Mizuta Chieki

  25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り

  
• Development and experimental validation of automatic conversion procedure from mechanical to electrical connection for MEMS equivalent circuit generation system

  Fujiwara N; Asaumi K; Irie Y; Koike T; Toshiyuki Tsuchiya; Hashiguchi G

  25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り

  
• Effective fabrication method for monolithic 3-dimensional embedded microstructure using the moving-mask UV lithography technique

  Yoshikazu Hirai; Yoshiteru Inamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  25th Sensor Symposium, 2008年10月, 査読有り

  
• Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel

  中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2008年10月, 査読有り

  
• 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property

  Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 2008年09月, 査読有り

  
• バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路

  中田哲博; 田中伸治; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  日本機械学会年次大会講演論文集, 2008年08月02日, 査読有り

  
• 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果

  池原毅; 土屋智由

  日本機械学会年次大会講演論文集, 2008年08月02日, 査読有り

  
• 単結晶シリコンの曲げ試験における結晶異方性の効果

  池原 毅; 土屋 智由

  日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月, 査読有り

  
• バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路

  中田 哲博; 田中 伸治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2008年度年次大会, 2008年08月, 査読有り

  
• 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価

  土屋 智由; 宮本 憲治; 菅野 公二; 田畑 修

  日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 2008年08月, 査読有り

  
• セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化

  佐藤 亮; 種村 友貴; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 2008年07月

  
• 単結晶シリコンMEMSデバイスの破壊と疲労

  土屋 智由

  応用物理学会結晶工学分科会第129回研究会,, pp. 23-30, 2008年07月, 査読有り

  
• ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と３次元加工への応用

  平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修

  電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2008年06月12日, 査読有り

  
• ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と３次元加工への応用

  平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  平成20年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2008年06月, 査読有り

  
• 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析

  菅野 公二; 田中 伸治; 土屋 智由; 田畑 修

  平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 2008年06月

  
• Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics

  T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Karl F Bhringer

  FNANO2008, 2008年04月

  
• 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  橋口 原; 土屋 智由; 高尾 英邦

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 2008年03月01日

  
• 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング

  佐藤 亮; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 2008年03月

  
• 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム

  樋口 雄一; 日下部 達哉; 種村 友貴; 佐藤 亮; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 2008年03月

  
• 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ

  濱口 裕之; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 2008年03月, 査読有り

  
• レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの３次元微細加工技術

  平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 2008年03月, 査読有り

  
• Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES

  H. Hamaguchi; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 2008年

  
• Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components

  T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly

  Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator

  T. Ikehara; T. Tsuchiya

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon

  Kenji Miyamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES, 2008年, 査読有り

  
• 第7章 7.2 力学センサ

  土屋 智由

  日本学術振興会 薄膜第131委員会編，薄膜ハンドブック第2版,, p. 1, 2008年, 査読有り

  
• Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection

  Ahmed M.R. Fath El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E. H. Eltaib; Mohamed M. Sallam

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2008年, 査読有り

  このMISCにアクセスする：

  
• Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components

  T. Tanemura; Y. Higuchi; T. Kusakabe; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2008年, 査読有り

  
• DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components

  T. Kusakabe; T. Tanemura; Y. Higuchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing

  T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly

  Y. Higuchi; T. Kusakabe; T. Tanemura; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2008年, 査読有り

  
• Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching

  T. Tsuchiya; T. Jomori; Y. Ura; K. Sugano; O. Tabata

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Crystal orientation dependence of fatigue characteristics in single crystal silicon measured using a rotating micro resonator

  T. Ikehara; T. Tsuchiya

  MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2008年, 査読有り

  
• Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1)

  Tsuchiya, Toshiyuki; Oliver Brand; Gary K. Fedder; Christofer Hierold; Jan G. Korvink; Tabata, Osamu

  Advanced Micro and Nanosystems, Reliability of MEMS,, p. 1, 2007年12月, 査読有り

  
• Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon

  MIYAMOTO Kenji; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2007年10月16日, 査読有り

  
• Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes

  UCHIDA Yuki; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu; IKEHARA Tsuyoshi

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2007年10月16日, 査読有り

  
• Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes

  Uchida Yuki; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 2007年10月, 査読有り

  
• Design and Simulation of a Micro Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection

  Ahmed M. R. Fath; El Bab; Mohamed E; H. Eltaib; Mohamed M. Sallam; Tamura Tomohisa; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the 24th Sensor Symposium, 2007年10月, 査読有り

  
• 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル

  種村 友貴; 日下部 達哉; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月

  
• 低侵襲触覚センサーの構造設計

  田村 智久; ファス エルバブアハメッド; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月

  
• 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術

  平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月

  
• Silicon and Related Materials (Chapter 1)

  Tsuchiya, Toshiyuki; Yogesh B. Gianchandani; Tabata, Osamu; Hans Zappe Ed

  Comprehensive Microsystems,, p. 1, 2007年09月, 査読有り

  
• 高温薄膜引張試験装置の開発

  土屋 智由; 池田 哲郎; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2007年度年次大会,1, pp. 729-730, 2007年09月, 査読有り

  
• Parallel fatigue test of micromachined single crystal silicon using lateral resonating device

  Ikehara Tsuyoshi; Toshiyuki Tsuchiya

  MicroNanoReliability 2007 Conference, 2007年09月, 査読有り

  
• ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成

  尾崎 貴志; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 2007年08月

  
• DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル

  日下部 達哉; 種村 友貴; 樋口 雄一; 菅野 公二; 土屋 智由

  粉体工学会第43回夏期シンポジウム,, pp. 19-20, 2007年08月, 査読有り

  
• 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価

  田中 伸治; 市橋 治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会総合研究会, 2007年07月

  
• Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術

  平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会総合研究会, 2007年07月

  
• マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製

  菅野 公二; 田中 伸治; 市橋 治; 土屋 智由; 田畑 修

  化学とマイクロシステム, 2007年06月

  
• Moving-mask UV lithography and embedded microchannels

  Inamoto Yoshireru; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 2007年06月, 査読有り

  
• MEMS Reliability

  Toshiyuki Tsuchiya

  The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 2007年05月, 査読有り

  
• 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製

  稲本 好輝; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  平成19年，電気学会全国大会, 2007年03月

  
• DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ

  日下部達哉; 菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修

  文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 2007年03月

  
• EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル

  菅野 公二; 尾崎 貴志; 土屋 智由; 田畑 修

  文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 2007年03月

  
• 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

  城森 知也; 宮本 憲治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 2007年03月

  
• Design and Simulation of a Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection

  Ahmed M. R. Fath; El Bab; Tomohisa Tamura; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Mohamed E; H. Eltaib; Mohamed M. Sallam

  Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年

  
• Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes

  Yuki Uchida; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Tsuyoshi Ikehara

  Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年

  
• A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年

  
• A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer

  Takashi Ozaki; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments

  Yusuke Yamaji; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Mechanical Calibration of MEMS Speing with 0.1-μm Force Resolution

  Miyamoto Kenji; Kouji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2007年01月, 査読有り

  
• Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon

  Miyamoto Kenji; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007年, 査読有り

  
• Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron

  Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  PORTABLE SYNCHROTRON LIGHT SOURCES AND ADVANCED APPLICATIONS, 2007年, 査読有り

  
• Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800 degrees C using IR heating

  T. Ikeda; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model

  S. Tanaka; O. Ichihashi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring

  Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  H. Hamaguchi; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007年, 査読有り

  
• Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices

  Toshiyuki Tsuchiya

  MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS, 2007年, 査読有り

  
• Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives

  Yuichi Higuchi; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  6TH INTERNATIONAL IEEE CONFERENCE ON POLYMERS AND ADHESIVES IN MICROELECTRONICS AND PHOTONICS, PROCEEDINGS 2007, 2007年, 査読有り

  
• Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer

  T. Ozaki; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata

  Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2007年, 査読有り

  
• Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-mu N force resolution

  Kenji Miyamoto; Tomoya Jomori; Koji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り

  
• Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron

  Koji Sugano; Weiyu Sun; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  AIP Conference Proceedings, 2007年, 査読有り

  
• 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計

  城森 知也; 宮本 憲治; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月

  
• 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価

  池田 哲郎; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月

  
• Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing

  OZAKI Takashi; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2006年10月05日, 査読有り

  
• A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  HAMAGUCHI Hiroyuki; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu

  Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2006年10月05日, 査読有り

  
• 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術

  平井 義和; Inamoto; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 2006年10月

  
• Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing

  Ozaki Takashi; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 2006年10月, 査読有り

  
• 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定

  宮本 憲治; 城森 知也; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  日本機械学会2006年年次大会, 2006年09月

  
• Tensile and Tensile-mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon in Various Environments

  Yamaji Yusuke; Kouji Sugano; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya

  Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 2006年06月, 査読有り

  
• 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討

  池田哲郎; 菅野公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会E部門総合研究会, 2006年05月

  
• 電気等価回路モデルによるバルブレス圧電マイクロポンプの設計・解析

  菅野 公二; 山田 英雄; 市橋 治; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会E部門総合研究会, 2006年05月

  
• Tensile mode fatigue test of silicon thin films using electrostatic grip system

  Toshiyuki Tsuchiya; Yamaji Yusuke; Kouji Sugano; Osamu Tabata

  The 9th International Fatigue Congress, 2006年05月, 査読有り

  
• 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験

  山地 祐輔; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会全国大会, 2006年03月

  
• Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps

  K Sugano; H Yamada; O Ichihashi; T Tsuchiya; O Tabata

  MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り

  
• 加速度センサ(第5章第１項)

  土屋 智由; 前田 龍太郎; 澤田 廉士; 青柳 桂一

  MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開,, pp. 165-171, 2006年, 査読有り

  
• Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button

  W Yoshikawa; A Sasabe; K Sugano; T Tsuchiya; O Tabata; A Ishida

  MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り

  
• Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps

  K Sugano; H Yamada; O Ichihashi; T Tsuchiya; O Tabata

  MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年, 査読有り

  
• Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip

  Yusuke Yamaji; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 2005年10月

  
• Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method

  Hideo Yamada; Osamu Ichihashi; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata

  PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 2005年10月

  
• Mechanical Testing of Integrated Microsystems

  Toshiyuki Tsuchiya

  FIS conference on future integrated systems, Cambridge, 2005年08月

  
• 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価

  市橋 治; 李 周原; 石井 昌宏; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修

  電気学会E部門総合研究会, 2005年06月

  
• Material Properties: Measurement and Data

  Tabata, Osamu; Tsuchiya, Toshiyuki; J. G. Korvink; O. Paul Ed

  MEMS a practical guide to design,, pp. 53-87, 2005年, 査読有り

  
• Tensile testing of MEMS materials

  Toshiyuki Tsuchiya

  Digest of Technical Papers - International Conference on Solid State Sensors and Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS '05, 2005年, 査読有り

  
• 3-nm gap fabrication using gas phase sacrificial etching for quantum devices

  K Hamaguchi; T Tsuchiya; K Shimaoka; H Funabashi

  MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2004年, 査読有り

  
• Mechanical reliability evaluation and its standardization of thin films used in MEMS

  T. Tsuchiya

  Collection of Technical Papers - CANEUS 2004 - Conference on Micro-Nano-Technologies for Aerospace Applications, 2004年, 査読有り

  
• Cross comparison of thin film tensile-testing methods examined with single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films

  Toshiyuki Tsuchiya; Masakazu Hirata; Norio Chiba; Ryujiro Udo; Yuji Yoshitomi; Taeko Ando; Kazuo Sato; Kazuki Takashima; Yakichi Higo; Yasunori Saotome; Hirofumi Ogawa; Koichi Ozaki

  Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2003年07月23日

  
• Tensile test of bulk- and surface-micromachined 0.1-mu m thick silicon film using electrostatic force grip system

  T Tsuchiya; J Sakata; M Shikida; K Sato

  MATERIALS SCIENCE OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS) DEVICES IV, 2002年, 査読有り

  
• Tensile strength and fracture toughness of surface micromachined polycrystalline silicon thin films prepared under various conditions

  T Tsuchiya; J Sakata; Y Taga

  THIN-FILMS - STRESSES AND MECHANICAL PROPERTIES VII, 1998年, 査読有り

  
• Specimen size effect on tensile strength of surface micromachined polycrystalline silicon thin films

  T Tsuchiya; O Tabata; J Sakata; Y Taga

  MEMS 97, PROCEEDINGS - IEEE THE TENTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 1997年

  

講演・口頭発表等

• Material and Device Reliability in Si MEMS Sensors

  土屋 智由

  The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), 2012年07月08日, 招待有り

  
• CMOS-MEMS Design and Analysis Platform Development in Fine-MEMS (NEDO project)

  土屋 智由

  Japan-Taiwan CMOS-MEMS Workshop 2009, 2009年03月23日, 招待有り

  
• Accelerated lifetime test method for structural materials in MEMS devices using resonant vibration

  土屋 智由

  Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2008, 2008年06月20日, 招待有り

  
• Mechanical reliability of micro/nano-structures in MEMS devices

  土屋 智由

  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2007), 2007年11月05日, 招待有り

  
• MEMS Reliability

  土屋 智由

  The 20th International Conference on Microelectronic Test Structures, 2007年03月19日, 招待有り

  
• Humidity effect on tensile strength and fatigue properties of single crystal silicon microstructures

  Toshiyuki Tsuchiya

  Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop 2006,, 2006年06月22日, 招待有り

  
• Tensile testing of MEMS materials(2005)

  土屋 智由

  Tech. Digest of the 13th International Conference of Solid-State Sensors and Actuators (Transduces ’05), 2005年06月05日, 招待有り

  
• Mechanical reliability evaluation and its standardization of thin film used in MEMS

  土屋 智由

  Technical Papers of Conference on Micro-Nano-Technologies for Aerospace Applications (CANEUS 2004), 2004年11月01日, 招待有り

  

書籍等出版物

• 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法

  肥後, 矢吉; 谷川, 紘; 鈴木, 健一郎; 磯野, 吉正; 荻, 博次; 土屋, 智由; 石山, 千恵美

  コロナ社, 2015年07月

  京大の蔵書を調べる：

  
• 小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法

  肥後矢吉; 谷川紘; 鈴木健一郎; 磯野吉正; 萩博次; 土屋智由; 石山千恵美, 共著

  コロナ社, 2015年07月, 査読無し

  
• Reliability of MEMS : testing of materials and devices

  土屋, 智由; 田畑, 修

  Wiley-VCH, 2013年

  京大の蔵書を調べる：

  
• シリコンの破壊と疲労

  土屋智由; 佐藤一雄; 服部敏雄, 第1編 第12章 3節

  エヌ・ティー・エス, 2012年, 査読無し

  
• 力学センサ

  土屋 智由, 第7章 7.2

  オーム社, 2008年, 査読無し

  
• Reliability of MEMS

  土屋 智由, Mechanical properties evaluation for MEMS materials and their standardization (Chapter 1)

  John Wiley & Sons Inc, 2007年12月, 査読無し

  
• Comprehensive Microsystems

  土屋 智由, Silicon and Related Materials (Chapter 1)

  Elsevier Science, 2007年09月, 査読無し

  
• MEMS/NEMSの最先端技術と応用展開

  土屋智由; 前田龍太郎; 澤田廉士; 青柳桂一, 加速度センサ(第5章第１項) pp. 165-171

  フロンティア出版, 2006年, 査読無し