基本情報

学部兼担

• 工学部

経歴

• 自 2024年, 至 現在

  京都大学大学院, 工学研究科 航空宇宙工学専攻, 准教授
• 自 2018年, 至 2024年

  京都大学大学院, 工学研究科 航空宇宙工学専攻, 助教
• 自 2015年, 至 2018年

  （株）エア・リキード・ラボラトリーズ, 研究員
• 自 2012年, 至 2014年

  日本学術振興会, 特別研究員（PD）
• 自 2012年, 至 2014年

  東京大学大学院, 新領域創成科学研究科 物質系専攻, 博士研究員
• 自 2009年, 至 2012年

  京都大学 GCOEプログラム, 「光・電子理工学の教育研究拠点形成」, リサーチアシスタント
• 自 2009年, 至 2012年

  日本学術振興会, 特別研究員（DC1）

出身大学院・研究科等

• 京都大学大学院, 工学研究科, 電子工学専攻, 修士課程
• 京都大学大学院, 工学研究科, 電子工学専攻, 博士後期課程

出身学校・専攻等

• 京都大学, 工学部, 電気電子工学科

出身高等学校

• 出身高等学校

  佐賀県立 佐賀西高等学校, さがにしこうとうがっこう

学位

• 2009年

  修士（工学），京都大学
• 2012年

  博士（工学），京都大学

所属学協会

• 自 2024年, 至 現在

  応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会
• 自 2021年, 至 現在

  プラズマ・核融合学会
• 自 2020年, 至 現在

  日本表面真空学会
• 自 2018年, 至 現在

  日本航空宇宙学会
• 自 2012年, 至 現在

  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
• 自 2007年, 至 現在

  応用物理学会

使用言語

• 日本語
• 英語

ID,URL

• ORCID ID

  0000-0001-9743-3184

• J-Global ID

  201401028945853328

• Researcher ID

  H-6501-2018

• 外部リンク

  http://www.propulsion.kuaero.kyoto-u.ac.jp/Member:Urabe

関連Webサイト

• https://www.aa.t.kyoto-u.ac.jp/ja
• http://www.propulsion.kuaero.kyoto-u.ac.jp/

researchmap URL

• https://researchmap.jp/kei.urabe

研究

研究テーマ・研究概要

• 研究テーマ

  プラズマ・マテリアル・極限環境に関する実験的基礎研究

• 研究概要

  プラズマ（電離気体）を工学的に活用するためには，その内部・表界面の各種パラメータ（プラズマパラメータ）を計測し，高度に制御する技術が重要です．我々は，このプラズマとプラズマに接するマテリアル計測技術を基盤として，次世代のプラズマ応用工学を切り拓く科学技術を創出することを目的とした研究を行っています．また，学生の興味関心や産業界のニーズに基づき，プラズマに対象を限定しない計測技術開発や，航空宇宙関連分野への研究の発展・展開を模索しています．

研究分野

• エネルギー, プラズマ科学, プラズマ計測
• ナノテク・材料, 薄膜、表面界面物性
• エネルギー, プラズマ科学, 反応性プラズマ
• エネルギー, プラズマ応用科学, プラズマプロセス
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 反応工学、プロセスシステム工学
• ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 電気電子材料工学
• フロンティア（航空・船舶）, 航空宇宙工学

研究キーワード

• 宇宙電気推進
• エッチング
• 薄膜堆積
• プラズマプロセス
• クライオプラズマ
• 超臨界流体プラズマ
• 大気圧プラズマ
• プラズマ科学
• プラズマ診断
• プラズマ応用
• プラズマ
• レーザー分光学
• マイクロプラズマ

論文

• Study on Ion Flux From Magnetically Confined Low-Pressure Arc Discharge With a Thermionic Cathode to Substrate for High-Throughput Film Deposition Processes

  Yuya Asamoto; Keiichiro Urabe; Takayuki Matsuda; Takashi Hamano; Masao Noma; Michiru Yamashita; Shigehiko Hasegawa; Koji Eriguchi

  IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2024年06月, 査読有り, 責任著者

  
• Optical and electrical evaluation methods of plasma-induced damage in InP substrates

  Takahiro Goya; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2024年06月, 査読有り

  
• Time-resolved laser-induced fluorescence spectroscopy using CW diode laser for diagnostics of argon-ion velocity distribution near AC-biased electrode

  Ryosuke Takahashi; Seiya Kito; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2024年05月, 査読有り, 最終著者, 責任著者

  
• Investigation of small-fraction molecular impurities in high-pressure helium plasmas using optical plasma diagnostic methods

  Keiichiro Urabe; Minami Toyoda; Yoshinori Matsuoka; Koji Eriguchi

  PLASMA SOURCES SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2024年02月, 査読有り, 筆頭著者, 責任著者

  この論文にアクセスする：

  
• In situ electrical monitoring of SiO2/Si structures in low-temperature plasma using impedance spectroscopy

  Junki Morozumi; Takahiro Goya; Tomohiro Kuyama; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2023年05月, 査読有り, 最終著者

  この論文にアクセスする：

  
• Predicting the effects of plasma-induced damage on p–n junction leakage and its application in the characterization of defect distribution

  Yoshihiro Sato; Satoshi Shibata; Kazuko Nishimura; Masayuki Yamasaki; Masashi Murakami; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B, 2022年11月, 査読有り

  
• Multi-harmonic analysis in a floating harmonic probe method for diagnostics of electron energy and ion density in low-temperature plasmas

  Seiya Kito; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2022年09月, 査読有り, 責任著者

  この論文にアクセスする：

  
• Characterization of Plasma Process-Induced Low-Density Defect Creation by Lateral Junction Leakage

  Yoshihiro Sato; Satoshi Shibata; Takayoshi Yamada; Kazuko Nishimura; Masayuki Yamasaki; Masashi Murakami; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  IEEE JOURNAL OF THE ELECTEON DEVICES SOCIETY, 2022年05月, 査読有り, 招待有り

  
• Ion irradiation-induced sputtering and surface modification of BN films prepared by a reactive plasma-assisted coating technique

  T. Matsuda; T. Hamano; Y. Asamoto; M. Noma; M. Yamashita; S. Hasegawa; K. Urabe; K. Eriguchi

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2022年07月, 査読有り

  
• Quantitative evaluation of plasma-damaged SiN/Si structures using bias-dependent admittance analysis

  Tomohiro Kuyama; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2022年04月, 査読有り

  
• Spectroscopic ellipsometry characterization of boron nitride films synthesized by a reactive plasma-assisted coating method

  Takashi Hamano; Takayuki Matsuda; Yuya Asamoto; Masao Noma; Shigehiko Hasegawa; Michiru Yamashita; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2022年01月, 査読有り

  
• Characterization of dynamic behaviors of defects in Si substrates created by H2 plasma using conductance method

  Tomohiro Kuyama; Keiichiro Urabe; Masanaga Fukasawa; Tetsuya Tatsumi; Koji Eriguchi

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2020年06月, 査読有り

  
• Electron number density measurements in nanosecond repetitively pulsed discharges in water vapor at atmospheric pressure

  Florent P. Sainct; Keiichiro Urabe; Erwan Pannier; Deanna A. Lacoste; Christophe O. Laux

  PLASMA SOURCES SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2020年03月, 査読有り

  
• Recent progress on dispersion interferometers for nuclear fusion and low-temperature plasmas

  T. Akiyama; M. A. Zeeland; T. N. Carlstrom; R. L. Boivin; K. J. Brunner; J. Knauer; R. Yasuhara; K. Tanaka; H.-Q. Liu; Y. Zhou; N. Oyama; A. Sirinelli; K. Urabe; N. Shirai

  JOURNAL OF INSTRUMENTATION, 2020年01月, 査読有り

  
• Evaluation of residual defects created by plasma exposure of Si substrates using vertical and lateral pn junctions

  Yoshihiro Sato; Satoshi Shibata; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B, 2019年12月, 査読有り

  
• Investigation of spatial and energy profiles of plasma process-induced latent defects in Si substrate using capacitance-voltage characteristics

  Takashi Hamano; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2019年08月, 査読有り

  
• Characterization of surface modification mechanisms for boron nitride films under plasma exposure

  Tomoya Higuchi; Masao Noma; Michiru Yamashita; Keiichiro Urabe; Shigehiko Hasegawa; Koji Eriguchi

  SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, 2019年08月, 査読有り

  
• Improvement of the plasma-induced defect generation model in Si substrates and the optimization design framework

  Koji Eriguchi; Takashi Hamano; Keiichiro Urabe

  PLASMA PROCESS AND POLYMERS, 2019年06月, 査読有り

  
• Characterization of the distribution of defects introduced by plasma exposure in Si substrate

  Yoshihiro Sato; Satoshi Shibata; Akira Uedono; Keiichiro Urabe; Koji Eriguchi

  JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2018年12月, 査読有り

  
• Dynamics of cavitation bubbles formed by pulsed-laser ablation plasmas near the critical point of CO2

  Hitoshi Muneoka; Shohei Himeno; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Motoyoshi Baba; Tohru Suemoto; Kazuo Terashima

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2018年10月, 査読有り

  
• Design of compact dispersion interferometer with a high efficiency nonlinear crystal and a low power CO2 laser

  T. Akiyama; S. Yoshimura; K. Tomita; N. Shirai; T. Murakami; K. Urabe

  JOURNAL OF INSTRUMENTATION, 2017年12月, 査読有り

  
• Laser diagnostics on atmospheric pressure discharge plasmas, including cryoplasmas, in environments around room and cryogenic temperature

  Noritaka Sakakibara; Hitoshi Muneoka; Keiichiro Urabe; Ryoma Yasui; Osamu Sakai; Kazuo Terashima

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2017年04月, 査読有り

  
• Diagnostics of atmospheric-pressure pulsed-dc discharge with metal and liquid anodes by multiple laser-aided methods

  Keiichiro Urabe; Naoki Shirai; Kentaro Tomita; Tsuyoshi Akiyama; Tomoyuki Murakami

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2016年08月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Electron density change of atmospheric-pressure plasmas in helium flow depending on the oxygen/nitrogen ratio of the surrounding atmosphere

  Kentaro Tomita; Keiichiro Urabe; Naoki Shirai; Yuta Sato; Safwat Hassaballa; Nima Bolouki; Munehiro Yoneda; Takahiro Shimizu; Kiichiro Uchino

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016年06月, 査読有り

  
• Microdischarge-Induced Decomposition of Ammonia and Reduction of Silver Ions for Formation of Two-Dimensional Network Structure

  Osamu Sakai; Yu Hiraoka; Naoya Kihara; Ella Blanquet; Keiichiro Urabe; Masanobu Tanaka

  PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2016年01月, 査読有り

  
• Generation of dusty plasmas in supercritical carbon dioxide using surface dielectric barrier discharges

  Yasuhito Matsubayashi; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2015年11月, 査読有り

  
• Laser absorption spectroscopy diagnostics of helium metastable atoms generated in dielectric barrier discharge cryoplasmas

  Keiichiro Urabe; Hitoshi Muneoka; Sven Stauss; Osamu Sakai; Kazuo Terashima

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015年10月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Atmospheric pressure synthesis of diamondoids by plasmas generated inside a microfluidic reactor

  Chikako Ishii; Sven Stauss; Koichi Kuribara; Keiichiro Urabe; Takehiko Sasaki; Kazuo Terashima

  DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2015年10月, 査読有り

  
• Development of dispersion interferometer for magnetic confinement plasmas and high-pressure plasmas

  T. Akiyama; R. Yasuhara; K. Kawahata; K. Nakayama; S. Okajima; K. Urabe; K. Terashima; N. Shirai

  JOURNAL OF INSTRUMENTATION, 2015年09月, 査読有り

  
• Review of electric discharge microplasmas generated in highly fluctuating fluids: Characteristics and application to nanomaterials synthesis

  Sven Stauss; Hitoshi Muneoka; Keiichiro Urabe; Kazuo Terashima

  PHYSICS OF PLASMAS, 2015年05月, 査読有り

  
• Micrometer-scale electrical breakdown in high-density fluids with large density fluctuations: Numerical model and experimental assessment

  Hitoshi Muneoka; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  PHYSICAL REVIEW E, 2015年04月, 査読有り

  
• Experimental and numerical investigation of time evolution of discharge current and optical emission in helium-nitrogen cryoplasmas

  Hitoshi Muneoka; Keiichiro Urabe; Jai Hyuk Choi; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2014年12月, 査読有り

  
• Pure air-plasma bullets propagating inside microcapillaries and in ambient air

  Deanna A. Lacoste; Anne Bourdon; Koichi Kuribara; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2014年12月, 査読有り

  
• Microscopic heterodyne interferometry for determination of electron density in high-pressure microplasma

  Keiichiro Urabe; Hitoshi Muneoka; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2014年12月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Propagation of a Dielectric Barrier Discharge in a Multichannel Mixing Chip Microreactor

  Sven Stauss; Chikako Ishii; Koichi Kuribara; Keiichiro Urabe; Kazuo Terashima

  IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2014年10月, 査読有り

  
• Anomalous Behavior of Cavitation Bubbles Observed in Pulsed Laser Ablation of Ni in Liquid CO2 near the Critical Point

  Shohei Himeno; Toru Kato; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Satoshi Kato; Hitoshi Muneoka; Motoyoshi Baba; Tohru Suemoto; Kazuo Terashima

  IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2014年10月, 査読有り

  
• Application of phase-modulated dispersion interferometry to electron-density diagnostics of high-pressure plasma

  Keiichiro Urabe; Tsuyoshi Akiyama; Kazuo Terashima

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2014年07月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Diamondoid synthesis in atmospheric pressure adamantane-argon-methane-hydrogen mixtures using a continuous flow plasma microreactor

  Sven Stauss; Chikako Ishii; David Z. Pai; Keiichiro Urabe; Kazuo Terashima

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2014年06月, 査読有り

  
• Effect of light irradiation on Townsend breakdown in helium at 5.2K

  Deanna A. Lacoste; Hitoshi Muneoka; Thibault F. Guiberti; David Z. Pai; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2014年02月, 査読有り

  
• Development of Near-Infrared Laser Heterodyne Interferometry for Diagnostics of Electron and Gas Number Densities in Microplasmas

  Keiichiro Urabe; Hitoshi Muneoka; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2013年12月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Dynamics of pulsed laser ablation in high-density carbon dioxide including supercritical fluid state

  Keiichiro Urabe; Toru Kato; Sven Stauss; Shohei Himeno; Satoshi Kato; Hitoshi Muneoka; Motoyoshi Baba; Tohru Suemoto; Kazuo Terashima

  JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013年10月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Multiheterodyne interference spectroscopy using a probing optical frequency comb and a reference single-frequency laser

  Keiichiro Urabe; Sakai Osamu

  PHYSICAL REVIEW A, 2013年08月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Breakdown characteristics of electrical discharges in high-density helium near the critical point

  Hitoshi Muneoka; Keiichiro Urabe; Sven Stauss; Kazuo Terashima

  Applied Physics Express, 2013年08月, 査読有り

  
• Functional composites of plasmas and metamaterials: Flexible waveguides, and variable attenuators with controllable phase shift

  Osamu Sakai; Jun Maeda; Takuya Shimomura; Keiichiro Urabe

  PHYSICS OF PLASMAS, 2013年07月, 査読有り

  
• Hydrazine generation for the reduction process using small-scale plasmas in an argon/ammonia mixed gas flow

  Keiichiro Urabe; Yu Hiraoka; Osamu Sakai

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2013年06月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Pulsed laser ablation plasmas generated in CO2 under high-pressure conditions up to supercritical fluid

  Toru Kato; Sven Stauss; Satoshi Kato; Keiichiro Urabe; Motoyoshi Baba; Tohru Suemoto; Kazuo Terashima

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012年11月, 査読有り

  
• Absorption spectroscopy using interference between optical frequency comb and single-wavelength laser

  Keiichiro Urabe; Osamu Sakai

  APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012年07月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Temporally and spectrally resolved observation of a crossed-flow DBD plasma jet using pure helium and argon/acetone mixed gases

  Keiichiro Urabe; Brian L. Sands; Biswa N. Ganguly; Osamu Sakai

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2012年06月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Discharge-Mode Transition in Jet-Type Dielectric Barrier Discharge Using Argon/Acetone Gas Flow Ignited by Small Helium Plasma Jet

  Keiichiro Urabe; Keitaro Yamada; Osamu Sakai

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2011年11月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Temporally Resolved Imaging of Jet-Type Dielectric Barrier Discharge Using He and Ar/Acetone Crossed Gas Flows

  Keiichiro Urabe; Brian L. Sands; Osamu Sakai; Biswa N. Ganguly

  IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2011年11月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Combined spectroscopic methods for electron-density diagnostics inside atmospheric-pressure glow discharge using He/N2 gas mixture

  Keiichiro Urabe; Osamu Sakai; Kunihide Tachibana

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2011年03月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Enhancement of visible He2 emission by infrared laser excitation of He metastable atoms in atmospheric-pressure plasma jet

  Keiichiro Urabe; Hideki Motomura; Osamu Sakai; Kunihide Tachibana

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2011年02月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Interaction between Dielectric Barrier Discharge and Positive Streamer in Helium Plasma Jet at Atmospheric Pressure

  Keiichiro Urabe; Yosuke Ito; Osamu Sakai; Kunihide Tachibana

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2010年10月, 査読有り, 筆頭著者

  この論文にアクセスする：

  
• Effect of Series Capacitance and Accumulated Charge on a Substrate in a Deposition Process with an Atmospheric-Pressure Plasma Jet

  Yosuke Ito; Yutaka Fukui; Keiichiro Urabe; Osamu Sakai; Kunihide Tachibana

  JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2010年06月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  
• Investigation of discharge mechanisms in helium plasma jet at atmospheric pressure by laser spectroscopic measurements

  Keiichiro Urabe; Tadasuke Morita; Kunihide Tachibana; Biswa N. Ganguly

  JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2010年03月, 査読有り, 筆頭著者

  
• Measurement of electron density in atmospheric pressure small-scale plasmas using CO2-laser heterodyne interferometry

  Joon-Young Choi; Nobuhiko Takano; Keiichiro Urabe; Kunihide Tachibana

  PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009年08月, 査読有り

  
• Behavior of N2+ ions in he microplasma jet at atmospheric pressure measured by laser induced fluorescence spectroscopy

  Keiichiro Urabe; Yosuke Ito; Kunihide Tachibana; Biswa N. Ganguly

  APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2008年06月, 査読有り, 筆頭著者

  この論文にアクセスする：

  
• High speed deposition of SiO2 films with plasma jet based on capillary dielectric barrier discharge at atmospheric pressure

  Yosuke Ito; Keiichiro Urabe; Nobuhiko Takano; Kunihide Tachibana

  APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2008年06月, 査読有り

  この論文にアクセスする：

  

講演・口頭発表等

• Diagnostics of Plasma Parameters and Surface Impedance by Measuring AC Probe Current at Harmonic Frequencies

  J. Morozumi; K. Eriguchi; K. Urabe

  AVS 70th International Symposium & Exhibition, 2024年11月07日, AVS: Science and Technology of Materials, Interfaces, and Processing

  
• Application of Impedance Spectroscopy to Analysis of Plasma-Surface Interaction

  Keiichiro Urabe

  Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (PRiME 2024), 2024年10月08日, The Electrochemical Society, The Electrochemical Society of Japan, The Korean Electrochemical Society, 招待有り

  
• 高気圧ヘリウムプラズマにおけるガラスセルを用いた空気不純物濃度制御と放電状態遷移に関する研究

  岸本 航一; 豊田 みなみ; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第85回 応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月20日, 応用物理学会

  
• 赤外レーザー吸収分光法による低圧水蒸気プラズマ中の水分子密度計測

  小渡 祐樹; 紀平 侑樹; 王 敬明; 波田 美耶子; 森山 匠; 坂口 有平; 両角 潤樹; 笹原 未知瑠; 占部 継一郎

  第85回 応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月20日, 応用物理学会

  
• 高速ピエゾバルブを用いた液体材料供給のパルス制御と計測

  紀平 侑樹; 中家 佑吾; 森山 匠; 占部 継一郎

  第85回 応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月19日, 応用物理学会

  
• 反応性プラズマを用いた金属表面改質プロセスのその場インピーダンス分光計測

  両角 潤樹; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第85回 応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月18日, 応用物理学会

  
• マイクロ・ナノメートル構造形成現象を活用したイオンエンジンの損耗に関する研究

  占部 継一郎

  2024年度 第1回講演会, 2024年05月31日, 応用物理学会関西支部, 招待有り

  
• 低圧プラズマ中に設置した金属板上に形成される電子シースのレーザー誘起蛍光計測

  野田 裕紀; 高橋 良輔; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月22日, 応用物理学会

  
• 交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測（Ⅱ）

  高橋 良輔; 鬼頭 聖弥; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月22日, 応用物理学会, 招待有り

  
• ガラスセル中で生成した高気圧ヘリウム誘電体バリア放電における分子性不純物分解現象の研究

  豊田 みなみ; 岸本 航一; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第41回 プラズマプロセッシング研究会, 2024年01月23日, 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会

  
• 準安定励起ヘリウム原⼦を⽤いた光ポンピング磁気センサの磁場感受性についての検討

  日髙颯哉; 豊田みなみ; 占部継一郎; 伊藤陽介

  マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム 合同研究会, 2023年12月21日, 電気学会

  
• Degradation of dielectric film by low-temperature plasma exposure investigated using in-situ impedance spectroscopy method

  Keiichiro Urabe; Junki Morozumi; Koji Eriguchi

  3rd Materials Research Meeting (MRM2023) / 24th International Union of Materials Research Societies-International Conference in Asia (IUMRS-ICA2023), 2023年12月15日, Materials Research Society of Japan (MRS-J)

  
• 非線形回路解析のための高調波分光法の開発とプラズマ曝露下でのプラズマ・材料特性同時計測への応用

  両角 潤樹; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月23日, 応用物理学会

  
• 交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測

  高橋 良輔; 鬼頭 聖弥; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月23日, 応用物理学会

  
• 準安定励起ヘリウム原子を用いた光ポンピング磁気センサの原子密度計測及び磁場感受性に関する検討

  日髙 颯哉; 豊田 みなみ; 占部 継一郎; 伊藤 陽介

  第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月22日, 応用物理学会

  
• Investigation of Molecular-Impurity Decomposition in High-Pressure Low-Temperature Plasmas Using Laser Absorption Spectroscopy

  Keiichiro Urabe; Minami Toyoda; Yoshinori Matsuoka; Koji Eriguchi

  20th International Symposium on Lase-Aided Plasma Diagnostics, 2023年09月12日

  
• Time-resolved laser-induced fluorescence spectroscopy with a continuous-wave diode laser for the investigation of ion sheath dynamics

  Ryosuke Takahashi; Seiya Kito; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  20th International Symposium on Lase-Aided Plasma Diagnostics, 2023年09月12日

  
• Monitoring of plasma parameters in afterglow of surface-wave argon plasma by a floating harmonic probe method

  Michiru Sasahara; Junki Morozumi; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  25th International Symposium on Plasma Chemistry, 2023年05月22日, International Plasma Chemistry Society

  
• Behaviors of optical emission from a dielectric barrier discharge in a He gas flow with small-fraction H2O impurity

  Minami Toyoda; Yoshinori Matsuoka; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  25th International Symposium on Plasma Chemistry, 2023年05月22日, International Plasma Chemistry Society

  
• In-situ electrical monitoring of SiO2/Si structures in low-temperature plasma

  Junki Morozumi; Takahiro Goya; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  2022 International Symposium on Dry Process, 2022年11月25日

  
• Production of metastable-state argon ions in an electron cyclotron resonance plasma investigated by laser-induced fluorescence spectroscopy

  Ryosuke Takahashi; Seiya Kito; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  75th Annual Gaseous Electronics Conference / 11th International Conference on Reactive Plasmas, 2022年10月05日, 米国物理学会 / 応用物理学会

  
• 光ポンピング磁気センサへの応用に向けた準安定励起ヘリウム原子の密度及び寿命に関する検討

  日髙 颯哉; 伊藤 陽介; 占部 継一郎

  第83回 応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月22日, 応用物理学会

  
• 高調波プローブ法を用いたプラズマ曝露環境下の材料表面状態モニタリング

  両角 潤樹; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第83回 応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月20日, 応用物理学会

  
• Behaviors of metastable-state argon ion density in an electron cyclotron resonance plasma source measured by laser-induced fluorescence spectroscopy

  Seiya Kito; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe

  2021 International Symposium on Dry Process, 2021年11月19日

  
• インピーダンス分光法を用いたプラズマ曝露環境下のプローブ表面状態モニタリング

  両角 潤樹; 久山 智弘; 鬼頭 聖弥; 占部 継一郎; 江利口 浩二

  第82回 応用物理学会秋季学術講演会, 2021年09月10日, 応用物理学会

  
• フローティング高調波プローブ法によるプラズマパラメータ計測における浮遊容量とプローブポテンシャルの影響

  鬼頭 聖弥; 佐藤 幹夫; 江利口 浩二; 占部 継一郎

  第38回プラズマプロセッシング研究会 / 第33回プラズマ材料科学シンポジウム, 2021年01月28日

  
• プラズマに曝露されている誘電体薄膜特性のin-situインピーダンス分光計測

  占部 継一郎; 両角 潤樹; 久山 智弘; 江利口 浩二

  第32回日本MRS年次大会, 2022年12月05日, 日本MRS

  
• Quantification of molecular impurity ratio in high-pressure helium dielectric barrier discharge by laser absorption spectroscopy

  Keiichiro Urabe; Minami Toyoda; Yasunori Matsuoka; Koji Eriguchi

  75th Annual Gaseous Electronics Conference / 11th International Conference on Reactive Plasmas, 2022年10月05日, 米国物理学会 / 応用物理学会

  
• 高気圧ヘリウムプラズマ中の微量不純物に関する実験的研究

  占部 継一郎

  第37回 九州・山口プラズマ研究会, 2021年11月07日, 九州・山口プラズマ研究会実行委員会, 招待有り

  
• Characterization and control of boron nitride film deposition by a reactive plasma-assisted coating

  Keiichiro Urabe; Takayuki Matsuda; Takashi Hamano; Yuya Asamoto; Masao Noma; Michiru Yamashita; Shigehiko Hasegawa; Koji Eriguchi

  5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2021), 2021年09月28日, Division of Plasma Physics, Association of Asia Pacific Physical Societies, 招待有り

  
• Evaluation methodology for assessment of dielectric degradation and breakdown dynamics using time-dependent impedance spectroscopy (TDIS)

  Tomohiro KUYAMA; Keiichiro URABE; Koji Eriguchi

  2021 IEEE Internatinoal Reliability Physics Symposium (IRPS-2021), 2021年03月23日, IEEE EDS and Reliability Society

  
• マイクロプラズマ研究が創出した連携研究の機会と可能性

  占部 継一郎

  第68回 応用物理学会春季学術講演会, 2021年03月16日, 応用物理学会, 招待有り

  
• Characterization Scheme for Plasma-Induced Defect Creation due to Stochastic Lateral Straggling in Si Substrates for Ultra-low Leakage Devices

  Y. Sato; T. Yamada; K. Nishimura; M. Yamasaki; M. Murakami; K. Urabe; K. Eriguchi

  66th IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2020), 2020年12月14日, IEEE Electron Devices Society

  
• Influence of Gas-Refractive-Index Dispersion on Measurement of Electron Density Using Dispersion Interferometry

  Keiichiro URABE

  The 29th International Toki Conference on Plasma and Fusion Research, 2020年10月30日, National Institute for Fusion Science, 招待有り

  
• 高調波干渉計を用いたプラズマ電子密度診断の現状と課題

  占部 継一郎

  第146回研究会『プラズマプロセスにおける気中･液中のラジカル･イオン計測技術』, 2020年09月04日, 日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会, 招待有り

  
• 反応性プラズマ支援成膜法により堆積した窒化ホウ素薄膜の機械的特性と耐プラズマ性に関する研究

  占部 継一郎; 住平 透; 野間 正男; 山下 満; 長谷川 繁彦; 江利口 浩二

  第56回日本航空宇宙学会関西・中部支部合同秋季大会, 2019年11月30日, 日本航空宇宙学会 関西支部・中部支部

  
• プラズマ診断・計測（プラズマの診断とモニタリング）

  占部 継一郎

  第13回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール, 2019年09月09日, 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 招待有り

  
• 大気圧プラズマの航空宇宙関連応用と分光計測

  占部 継一郎

  第472回 航空宇宙懇談会, 2019年07月12日, 日本航空宇宙学会 関西支部, 招待有り

  
• 異相界面と温度に着目した大気圧プラズマの分光計測研究

  占部 継一郎

  仙台プラズマフォーラム（平成30年度 東北大学電気通信研究所 共同プロジェクト研究会）, 2019年01月22日, 東北大学 電気通信研究所, 招待有り

  
• プラズマと液・固相との界面反応場に生じる過渡現象計測と関連新領域展望

  占部 継一郎

  第29回プラズマ新領域研究会, 2018年11月26日, 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 招待有り

  
• レーザー干渉計による電子密度診断の基礎と課題と共同研究

  占部 継一郎

  プラズマ科学のフロンティア2018研究会, 2018年08月31日, 核融合科学研究所, 招待有り

  
• Current and future outlook of laser interferometer for high-pressure plasma density diagnostics

  Keiichiro Urabe

  Workshop on Plasma and Atomic Physics in RUB-Japan Science Days 2018, 2018年07月04日, Ruhr University Bochum, 招待有り

  
• Laser interferometry plasma diagnostics: Recent challenges and contributions to plasma technology

  Keiichiro Urabe

  23rd International Symposium on Plasma Chemistry, 2017年08月03日, International Plasma Chemistry Society, 招待有り

  
• 非平衡大気圧プラズマの電子密度計測

  占部 継一郎

  第77回応用物理学会秋季学術講演会 シンポジウム「プラズマプロセス診断の最前線」, 2016年09月14日, 応用物理学会, 招待有り

  
• Laser Diagnostics of Microplasmas: Multidisciplinary Collaboration Paving a Way of Innovation

  Keiichiro Urabe

  Gordon Research Conference on Plasma Processing Science, 2016年07月24日, 招待有り

  
• Laser diagnostics of microplasmas on metal and liquid electrodes

  Keiichiro Urabe

  8th International Workshop on Microplasmas, 2015年05月13日, 招待有り

  
• Plasma diagnostics using multi-heterodyne interference of optical frequency comb

  Keiichiro Urabe

  16th International Symposium on Laser Aided Plasma Diagnostics, 2013年09月25日, 招待有り

  
• Introduction to Spectroscopic Diagnostics and Applications of Microplasmas

  Keiichiro Urabe

  EGR891 PhD Seminar Series - Fall 2009, 2009年10月09日, Wright State University, 招待有り

  

MISC

• 交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測

  占部 継一郎; 高橋 良輔

  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 会報, 2024年06月, 招待有り, 筆頭著者, 責任著者

  
• プラズマエレクトロニクス賞を受賞して

  佐藤 好弘; 柴田 聡; 占部 継一郎; 江利口 浩二

  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 会報, 2021年06月, 招待有り

  
• 先端CMOS/メモリデバイスにおけるプラズマ加工技術の現状と課題

  江利口 浩二; 占部 継一郎

  応用物理, 2018年12月, 招待有り

  
• レーザー干渉計を用いたプラズマ電子密度計測の高速・高精度化

  占部 継一郎

  Readout（堀場製作所 技術情報誌）, 2018年10月, 招待有り

  
• レーザー干渉計を用いた高気圧非平衡プラズマ診断

  占部 継一郎

  応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 会報, 2014年06月, 招待有り

  

書籍等出版物

• Applications of Laser Ablation - Thin Film Deposition, Nanomaterial Synthesis and Surface Modification

  Sven Stauss; Keiichiro Urabe; Hitoshi Muneoka; Kazuo Terashima, 分担執筆, Pulsed Laser Ablation in High-Pressure Gases, Pressurized Liquids and Supercritical Fluids: Generation, Fundamental Characteristics and Applications

  IntechOpen Ltd, 2016年12月, 査読無し

  京大の蔵書を調べる：

  
• CO2 Laser - Optimisation and Application

  Keiichiro Urabe; Kunihide Tachibana, 分担執筆, Heterodyne Interferometer for Measurement of Electron Density in High-Pressure Plasmas

  IntechOpen Ltd, 2012年03月, 査読無し

  京大の蔵書を調べる：

  

産業財産権

• US 11075084 B2, US 2017/0365481 A1, 15/692,247, Chemistries for etching multi-stacked layers

  
• 特許 第6896522号, 特開2019-9335, 特願2017-125070, エッチング方法およびプラズマエッチング用材料

  
• 特許 第6875152号, 特開2018-145275, 特願2017-40708, 多孔質膜封孔方法および多孔質膜封孔用材料

  
• 特許 第6666601号, 特開2019-24319, 特願2017-97569, 多孔質膜をエッチングする方法

  
• 特許 第6441994号, 特開2018-195678, 特願2017-97569, 多孔質膜をエッチングする方法

  

受賞

• 2021年03月10日

  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 第19回プラズマエレクトロニクス賞
• 2018年10月17日

  株式会社 堀場製作所, 2018堀場雅夫賞
• 2014年03月06日

  ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014, Best Presentation Award (Oral in Plasma Science)
• 2014年01月16日

  日本MRS, 第23回日本MRS年次大会 奨励賞
• 2013年09月23日

  16th International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics, Prize for the Best Combination of Pre-Poster Talk and Poster Presentation
• 2012年09月28日

  The IUMRS-ICEM2012 Awarding Committee, IUMRS-ICEM2012 Young Scientist Awards: Silver Award
• 2010年03月23日

  京都大学グローバルCOE「光・電子理工学の教育研究拠点形成」, 平成21年度GCOE博士研究助成成果報告会 優秀賞
• 2008年03月27日

  応用物理学会, 第23回(2007年秋季)応用物理学会 講演奨励賞

外部資金：科学研究費補助金

• 高調波分光法によるプラズマ・表面相互作用の包括計測とその応用

  基盤研究(B)

  小区分14030:プラズマ応用科学関連

  京都大学

  占部 継一郎

  自 2024年04月01日, 至 2028年03月31日, 交付

  プラズマ;プラズマ・材料相互作用;プラズマ診断;表面改質;高調波分光法

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24K00620/
• プラズマ高度制御による高反応性活性種の超選択・局所供給

  学術変革領域研究(A)

  学術変革領域研究区分(Ⅱ)

  東北大学

  金子 俊郎

  自 2024年04月01日, 至 2029年03月31日, 交付

  高反応性活性種合成;種子表面への活性種高選択・局所供給;マルチスケール時間電界制御;ミクロ反応場制御;ガス不純物高度制御

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PLANNED-24H02247/
• プラズマ励起粒子の量子状態制御による励起粒子絶対点密度測定と超高感度磁気測定

  挑戦的研究(萌芽)

  中区分14:プラズマ学およびその関連分野

  京都大学

  占部 継一郎

  自 2019年06月28日, 至 2021年03月31日, 完了

  光ポンピング;プラズマ;磁気強度計測;励起粒子密度計測

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19K21864/
• プラズマから出るイオン流れの多次元ハイスループットLIF計測

  基盤研究(B)

  小区分14030:プラズマ応用科学関連

  京都大学

  占部 継一郎

  自 2019年04月01日, 至 2023年03月31日, 完了

  プラズマ;イオン;レーザー分光;時空間速度分布;イオンシース;レーザー誘起蛍光法;プラズマプロセス;電気推進器;イオン流れ計測

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19H01886/
• 小型熱非平衡プラズマが作り出す気体と励起粒子の多層的流れの可視化

  研究活動スタート支援

  0202:物性物理学、プラズマ学、原子力工学、地球資源工学、エネルギー学およびその関連分野

  京都大学

  占部 継一郎

  自 2018年08月24日, 至 2020年03月31日, 完了

  プラズマ;分光診断;分光計測;流れの可視化

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18H05849/
• 量子カスケードレーザ干渉イメージングによる高気圧プラズマ密度の高速3次元計測

  挑戦的萌芽研究

  東京大学

  占部 継一郎

  自 2014年04月01日, 至 2015年03月31日, 中途終了

  プラズマ;プラズマ診断;量子カスケードレーザー;レーザー干渉計;電子密度

  https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26610189/

外部資金：その他

• 真空極限環境下にあるマテリアル表⾯のマルチ⾼調波インピーダンス分光計測

  公益財団法人 京都大学教育研究振興財団, 研究活動推進助成

  自 2023年06月30日, 至 2023年03月31日

  占部 継一郎
• 光ポンピング法によるプラズマ励起粒子時空間分布の3次元可視化

  カシオ科学振興財団, 第39回研究助成

  自 2021年12月01日, 至 2022年11月30日

  占部 継一郎
• ガス屈折率分散を活用した高調波干渉計のゼロ点アクティブ安定化

  核融合科学研究所 一般共同研究

  自 2020年04月01日, 至 2022年03月31日

  占部 継一郎
• ガス屈折率分散実測による高調波干渉計プラズマ電子密度診断の高精度化

  核融合科学研究所 一般共同研究

  自 2019年04月01日, 至 2020年03月31日

  占部 継一郎
• プラズマ高度制御とアニール処理による立方晶窒化ホウ素薄膜作製

  池谷科学技術振興財団 単年度助成

  自 2019年04月01日, 至 2020年03月31日

  占部 継一郎

教育

担当科目

• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  推進工学特論

  G405, 後期, 工学研究科, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  電離気体工学セミナー

  V401, 後期, 工学研究科, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  推進基礎論

  5048, 後期, 工学部, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  航空宇宙工学実験２

  5067, 後期, 工学部, 1
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  マイクロファブリケーション

  G204, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  電磁気学続論

  N233, 前期, 国際高等教育院, 2
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  航空宇宙工学実験２

  5067, 後期, 工学部, 1
• 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日

  マイクロファブリケーション

  G204, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  航空宇宙工学実験２

  5067, 後期, 工学部, 1
• 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日

  マイクロファブリケーション

  G204, 前期, 工学研究科, 2
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  航空宇宙工学実験２（宇）

  後期, 工学部
• 自 2021年04月, 至 2022年03月

  マイクロファブリケーション

  前期, 工学研究科
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  航空宇宙工学実験２（宇）

  後期, 工学部
• 自 2020年04月, 至 2021年03月

  マイクロファブリケーション

  前期, 工学研究科
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  航空宇宙工学実験２

  後期, 工学部
• 自 2019年04月, 至 2020年03月

  マイクロプロセス・材料工学

  前期, 工学研究科

指導学生の業績：受賞

• 第55回（2023年秋季）応用物理学会講演奨励賞

  高橋 良輔, 応用物理学会, 2024年03月22日
• 令和4年度 吉田研究奨励賞

  濱野 誉, 京都大学大学院 工学研究科, 2022年07月
• DPS2019 Young Researcher Award

  濱野 誉, International Symposium on Dry Process, 2021年11月
• DPS2019 Young Researcher Award

  久山 智弘, International Symposium on Dry Process, 2021年11月
• 第50回（2021年春季）講演奨励賞

  久山 智弘, 応用物理学会, 2021年09月
• IEEE IRPS Best Studend Paper Award

  久山 智弘, IEEE, 2021年03月
• IEEE EDS Kansai Chapter of the Year Award

  佐藤 好弘, IEEE EDS Kansai Chapter, 2021年09月28日
• 関西奨励賞

  濱野 誉, 応用物理学会 関西支部, 2021年03月22日
• 第19回プラズマエレクトロニクス賞

  佐藤 好弘, 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 2021年03月10日
• シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞

  濱野 誉, 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会, 2021年03月17日
• 応用物理学会関西支部 2020年度合同講演会 ポスター賞

  濱野 誉, 応用物理学会 関西支部, 2021年03月17日
• IEEE EDS Kansai Chapter MFSK Award

  濱野 誉, IEEE EDS Kansai Chapter, 2020年11月27日

大学運営

部局運営(役職等)

• 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日

  工学研究科・工学部化学物質管理委員会　委員
• 自 2019年04月01日, 至 2023年03月31日

  宇治キャンパス公開　実行委員会　委員

学術・社会貢献

委員歴

• 自 2024年, 至 現在

  幹事（ナノ・マイクロファブリケーション研究委員会）, 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会
• 自 2023年

  Local Arrangement, 21st International Workshop on Junction Technology
• 自 2023年, 至 現在

  調査専門委員会： 放電・プラズマ・パルスパワーにおける計測技術の現状と将来について, 電気学会
• 自 2022年, 至 2024年

  プラズマ若手チャプター 代表, 応用物理学会
• 自 2023年

  Local Organizing Committee, The 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)
• 自 2022年

  プログラム委員, 日本表面真空学会 2022年学術講演会（IVC併催）
• 自 2021年, 至 2023年

  編集委員（2022年度 APP副主査）, プラズマ・核融合学会
• 自 2020年, 至 2024年

  庶務幹事, 日本表面真空学会 関西支部
• 自 2021年

  プログラム委員, 日本表面真空学会 2021年学術講演会
• 自 2021年

  Exective Committee, 42nd International Symposium on Dry Process
• 自 2021年

  Online Arrangement, 20th International Workshop on Junction Technology
• 自 2021年

  Program Committee, ISPlasma2021/IC-PLANTS2021
• 自 2019年, 至 2021年

  幹事, 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会
• 自 2019年, 至 2021年

  幹事, 日本航空宇宙学会 関西支部
• 自 2019年

  Local Arrangement, 19th International Workshop on Junction Technology
• 自 2019年

  Program Comittee, ISPlasma2019/IC-PLANTS2019

社会貢献活動

• 電気的・光学的プラズマ計測技術の基礎と応用

  講師

  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会, 第35回プラズマエレクトロニクス講習会, 自 2024年11月29日

  
• プラズマテクノロジーの発展・新領域と光を利用した計測技術

  講師

  日本技術士会 近畿本部 情報工学部会, 1月度例会, 自 2019年01月11日

  
• 大気圧プラズマ中に発生する活性励起種の分光診断

  講師

  京都大学, 京都大学インダストリアルデイ2018, 自 2018年09月11日