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瀬木 利夫

セキ トシオ

工学研究科 原子核工学専攻核エネルギー工学講座 講師

瀬木 利夫
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    Last Updated :2025/05/27

    基本情報

    学部兼担

    • 工学部

    所属学協会

    • 自 1995年02月, 至 現在
      応用物理学会

    学位

    • 修士（工学）(京都大学)
    • 博士（工学）(京都大学)

    出身大学院・研究科等

    • 京都大学, 大学院工学研究科博士後期課程電子物性工学専攻, 修了
    • 京都大学, 大学院工学研究科修士課程電子物性工学専攻, 修了

    出身学校・専攻等

    • 京都大学, 工学部電子工学科, 卒業

    出身高等学校

    • 出身高等学校

      六甲高等学校, ろっこうこうとうがっこう

    経歴

    • 自 2007年05月, 至 現在
      京都大学 大学院, 工学研究科 原子核工学専攻 兼 附属情報センター, 講師
    • 自 2005年06月, 至 2007年04月
      京都大学 大学院, 工学研究科 附属量子理工学研究実験センター, 産学官連携助手
    • 自 2003年04月, 至 2005年05月
      財団法人大阪科学技術センター, 技術・情報振興部, 研究員
    • 自 2000年, 至 2003年
      京都大学大学院 工学研究科 附属イオン工学実験施設 研究機関研究員, Graduate School of Engineering

    プロフィール

    • プロフィール

      量子ビームを用いた新しい表面加工プロセスや評価技術の開拓やクラスターイオンビームを用いた多原子衝突系の照射効果の研究を行っています。また、工学研究科附属情報センター講師として、工学研究科におけるITインフラの整備や教員の研究成果データベースの運用にも従事しています。

    使用言語

    • 英語

    ID,URL

    researchmap URL

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      Last Updated :2025/05/27

      研究

      研究テーマ・研究概要

      • 研究テーマ

        多元素複合クラスタービームによるプロセス技術の開発及びMeV重イオンによる表面界面分析技術の開発

      • 研究概要

        反応ガス、金属材料、蒸着支援ガス、液体材料等からなる多機能な複合クラスターやMeVエネルギーを持つ重イオンなどの量子ビームを用いて、マイクロ・ナノデバイス製作や機能性材料創成を行うための新規の材料プロセス技術や、生体イメージングや有機デバイス評価のための有機材料表面界面評価技術を開拓する。

      研究キーワード

      • 二次イオン質量分析
      • クラスター
      • 量子ビーム科学
      • ナノ構造材料
      • ノズル
      • ナノ加工
      • クラスターイオンビーム

      研究分野

      • エネルギー, 量子ビーム科学
      • ナノテク・材料, 材料加工、組織制御
      • ナノテク・材料, 応用物理一般
      • ナノテク・材料, 薄膜、表面界面物性
      • ナノテク・材料, ナノ構造化学

      論文

      • COクラスター照射による磁性体エッチング反応 (2)
        唐橋 一浩; 瀬木 利夫; 松尾 二郎; 浜口 智志
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2015年02月26日
      • COクラスター照射による磁性体エッチング反応
        唐橋 一浩; 瀬木 利夫; 松尾 二郎; 浜口 智志
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2014年09月01日
      • COクラスターの生成および評価
        唐橋 一浩; 瀬木 利夫; 松尾 二郎; 浜口 智志
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2014年03月03日
      • High aspect (>20) etching with reactive gas cluster injection
        Toshio Seki; Hiroki Yamamoto; Kunihiko Koike; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2022年07月, 査読有り
      • Phonon transport probed at carbon nanotube yarn/sheet boundaries by ultrafast structural dynamics
        Masaki Hada; Kotaro Makino; Hirotaka Inoue; Taisuke Hasegawa; Hideki Masuda; Hiroo Suzuki; Keiichi Shirasu; Tomohiro Nakagawa; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Takeshi Nishikawa; Yoshifumi Yamashita; Shin-ya Koshihara; Vlad Stolojan; S. Ravi P. Silva; Jun-ichi Fujita; Yasuhiko Hayashi; Satoshi Maeda; Muneaki Hase
        CARBON, 2020年12月, 査読有り
      • MeV-SIMS measurement of lithium-containing electrolyte
        Toshio Seki; Tomoya Nonomura; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2020年09月, 査読有り
      • Secondary ion mass spectrometry measurements under ambient and humid conditions using MeV ions
        Toshio Seki; Kenta Ishii; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2020年05月, 査読有り
      • Optimized Alkali-Metal Cationization in Secondary Ion Mass Spectrometry of Polyethylene Glycol Oligomers with up to m/z 10000: Dependence on Cation Species and Concentration
        Hubert Gnaser; Rika Oki; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        ANALYTICAL CHEMISTRY, 2020年01月, 査読有り
      • Selective Reduction Mechanism of Graphene Oxide Driven by the Photon Mode versus the Thermal Mode.
        Masaki Hada; Kiyoshi Miyata; Satoshi Ohmura; Yusuke Arashida; Kohei Ichiyanagi; Ikufumi Katayama; Takayuki Suzuki; Wang Chen; Shota Mizote; Takayoshi Sawa; Takayoshi Yokoya; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Tomoharu Tokunaga; Chihiro Itoh; Kenji Tsuruta; Ryo Fukaya; Shunsuke Nozawa; Shin-Ichi Adachi; Jun Takeda; Ken Onda; Shin-Ya Koshihara; Yasuhiko Hayashi; Yuta Nishina
        ACS nano, 2019年09月24日, 査読有り
      • Gas cooling secondary ions emitted by gas cluster ion beam at the travelling wave ion guide of a Q-ToF-SIMS system
        P. Thopan; T. Seki; L. D. Yu; U. Tippawan; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2019年07月, 査読有り
      • Cluster ion beam bombardment and Q-ToF-SIMS analysis of large biomolecules
        P. Thopan; T. Seki; L. D. Yu; U. Tippawan; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2019年06月, 査読有り
      • Cationization and fragmentation of molecular ions sputtered from polyethylene glycol under gas cluster bombardment: An analysis by MS and MS/MS
        Prutchayawoot Thopan; Hubert Gnaser; Rika Oki; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        International Journal of Mass Spectrometry, 2018年07月01日, 査読有り
      • SIMS技術の飛躍的発展を支える新技術：新奇なイオンビーム開発から先端質量分析法まで
        松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        表面と真空, 2018年
      • Angled etching of Si by ClF3-Ar gas cluster injection
        Toshio Seki; Hiroki Yamamoto; Takahiro Kozawa; Tadashi Shojo; Kunihiko Koike; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Fabrication of a Si lever structure made by double-angled etching with reactive gas cluster injection
        T. Seki; H. Yamamoto; T. Kozawa; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017年05月, 査読有り
      • Development of Low-vacuum SIMS instruments with large cluster Ion beam
        K. Suzuki; M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2016年11月, 査読有り
      • Molecular dynamics simulations study of nano particle migration by cluster impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2016年11月, 査読有り
      • Reactive etching by ClF3-Ar neutral cluster beam with scanning
        Toshio Seki; Yu Yoshino; Takehiko Senoo; Kunihiko Koike; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016年06月, 査読有り
      • Solvent-free silver-nanoparticle surface-assisted laser desorption/ionization imaging mass spectrometry of the Irganox 1010 coated on polystyrene
        Takaya Satoh; Hironobu Niimi; Naoki Kikuchi; Makiko Fujii; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY, 2016年06月, 査読有り
      • Reactive etching by ClF
        Seki Toshio; Yoshino Yu; Senoo Takehiko; Koike Kunihiko; Aoki Takaaki; Matsuo Jiro
        Jpn. J. Appl. Phys., 2016年05月09日
      • Development of ambient SIMS using mega-electron-volt-energy ion probe
        Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics, 2016年05月01日, 査読有り
      • Secondary ion emission from leucine and isoleucine under argon gas-cluster ion bombardment
        Hubert Gnaser; Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics, 2016年05月01日, 査読有り
      • Secondary ion emission from leucine and isoleucine under argon gas-cluster ion bombardment
        Hubert Gnaser; Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2016年05月, 査読有り
      • Development of ambient SIMS using mega-electron-volt-energy ion probe
        Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2016年05月, 査読有り
      • Ambient analysis of liquid materials with Wet-SIMS
        Toshio Seki; Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2016年03月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • Yields and images of secondary ions from organic materials by different primary Bi ions in time-of-flight secondary ion mass spectrometry
        Rie Shishido; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Shigeru Suzuki
        RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, 2016年02月, 査読有り
      • クラスタービーム技術の新展開
        松尾 二郎; 藤井 麻樹子; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        精密工学会誌, 2016年01月
      • Observation of Liquid Water with Ambient SIMS
        Kusakari M.; Fujii M.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2016年
      • クラスターイオンビーム技術の最近の進展—ナノ加工からバイオ材料評価まで—
        松尾 二郎; 藤井 麻樹子; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        Journal of the Vacuum Society of Japan, 2016年
      • Development of ambient SIMS using mega-electron-volt-energy ion probe
        Masakazu Kusakari; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, 2016年, 査読有り
      • High-aspect-ratio patterning by ClF3-Ar neutral cluster etching
        Hiroki Yamamoto; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Kunihiko Koike; Takahiro Kozawa
        MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2015年06月, 査読有り
      • Molecular cluster emission in sputtering of amino acids by argon gas-cluster ions
        Masakazu Kusakari; Hubert Gnaser; Makiko Fujii; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY, 2015年05月, 査読有り
      • Progress and applications of cluster ion beam technology
        I. Yamada; J. Matsuo; N. Toyoda; T. Aoki; T. Seki
        CURRENT OPINION IN SOLID STATE & MATERIALS SCIENCE, 2015年02月, 査読有り
      • Mass analysis by Ar-GCIB-dynamic SIMS for organic materials
        Masato Suzuki; Masashi Nojima; Makiko Fujii; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2015年02月, 査読有り
      • Mass analysis by Ar-GCIB-dynamic SIMS for organic materials
        Masato Suzuki; Masashi Nojima; Makiko Fujii; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2015年02月, 査読有り
      • クラスターSIMS法を用いた生体試料分析の現状と課題
        藤井 麻樹子; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        表面科学学術講演会要旨集, 2015年01月, 査読有り
      • クラスターSIMS法による生体分子の高空間分解能イメージング
        松尾 二郎; 鈴木 敢士; 草刈 将一; 藤井 麻樹子; 青木 学聡; 瀬木 利夫
        表面科学学術講演会要旨集, 2015年01月, 査読有り
      • Mass analysis by Ar-GCIB-dynamic SIMS for organic materials
        Masato Suzuki; Masashi Nojima; Makiko Fujii; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年12月, 査読有り
      • Quantitative analysis of lipids with argon gas cluster ion beam secondary ion mass spectrometry
        Makiko Fujii; Shunichirou Nakagawa; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年12月, 査読有り
      • Analysis of liquid materials in low vacuum with Wet-SIMS
        Toshio Seki; Makiko Fujii; Masakazu Kusakari; Shunichiro Nakagawa; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年12月, 査読有り
      • Development of organic SIMS system with Ar-GCIB and IMS-4f
        Masashi Nojima; Masato Suzuki; Makiko Fujii; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年11月, 査読有り
      • Lipid compounds analysis with MeV-SIMS apparatus for biological applications
        Makiko Fujii; Masakazu Kusakari; Kazuhiro Matsuda; Naoki Man; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2014年11月, 査読有り
      • Development of Au-GCIB dynamic SIMS and cluster size filtering system
        M. Nojima; M. Suzuki; T. Adachi; S. Hotta; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo
        Microscopy and Microanalysis, 2014年08月01日, 査読有り
      • Biomaterial imaging with MeV-energy heavy ion beams
        Toshio Seki; Yoshinobu Wakamatsu; Shunichiro Nakagawa; Takaaki Aoki; Akihiko Ishihara; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2014年08月, 査読有り
      • Cold ablation driven by localized forces in alkali halides
        Masaki Hada; Dongfang Zhang; Kostyantyn Pichugin; Julian Hirscht; Micha A. Kochman; Stuart A. Hayes; Stephanie Manz; Regis Y. N. Gengler; Derek A. Wann; Toshio Seki; Gustavo Moriena; Carole A. Morrison; Jiro Matsuo; German Sciaini; R. J. Dwayne Miller
        NATURE COMMUNICATIONS, 2014年05月, 査読有り
      • Novel SIMS system with focused massive cluster ion source for mass imaging spectrometry with high lateral resolution
        Jiro Matsuo; Souta Torii; Kazuki Yamauchi; Keisuke Wakamoto; Masakazu Kusakari; Shunichiro Nakagawa; Makiko Fujii; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2014年05月, 査読有り
      • Study on the detection limits of a new argon gas cluster ion beam secondary ion mass spectrometry apparatus using lipid compound samples
        Makiko Fujii; Shunichirou Nakagawa; Kazuhiro Matsuda; Naoki Man; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, 2014年04月, 査読有り
      • Prolific cluster emission in sputtering of phenylalanine by argon-cluster ion bombardment
        Hubert Gnaser; Makiko Fujii; Shunichirou Nakagawa; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY, 2014年03月, 査読有り
      • クラスターSIMS法による脂質分子の高感度検出とイメージングへの応用
        藤井 麻樹子; 宍戸 理恵; 鳥居 聡太; 中川 駿一郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 鈴木 茂; 松尾 二郎
        表面科学, 2014年01月
      • Low Vacuum SIMS Measurements of Higher Alcohols with MeV-energy Heavy Ion Beam
        Kusakari Masakazu; Fujii Makiko; Seki Toshio; Aoki Takaaki; Matsuo Jiro
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2014年
      • An electrostatic quadrupole doublet focusing system for MeV heavy ions in MeV-SIMS
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2013年11月, 査読有り
      • Molecular dynamics simulation study of damage formation and sputtering with huge fluorine cluster impact on silicon
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2013年05月, 査読有り
      • Development of gas cluster ion beam irradiation system with an orthogonal acceleration TOF instrument
        K. Ichiki; J. Tamura; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2013年01月, 査読有り
      • Ion-induced damage evaluation with Ar cluster ion beams
        Yasuyuki Yamamoto; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2013年01月, 査読有り
      • Peptide dissociation patterns in secondary ion mass spectrometry under large argon cluster ion bombardment
        Hubert Gnaser; Makiko Fujii; Shunichirou Nakagawa; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Rapid Communications in Mass Spectrometry, 2013年, 査読有り
      • Ultrafine particle removal using gas cluster ion beam technology
        Kazuya Dobashi; Kensuke Inai; Misako Saito; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2013年, 査読有り
      • Removal of Ion implanted Poly vinyl phenol using Wet Ozone
        Yousuke Goto; Yukihiro Angata; Masashi Yamamoto; Toshio Seki; Jiro Matsumoto; Hideo Horibe
        JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2013年, 査読有り
      • Molecular dynamics study of crater formation by core-shell structured cluster impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2012年07月, 査読有り
      • Depth profiling analysis of damaged arginine films with Ar cluster ion beams
        J. Matsuo; K. Ichiki; Y. Yamamoto; T. Seki; T. Aoki
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2012年06月, 査読有り
      • Etching of metallic materials with Cl-2 gas cluster ion beam
        T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2011年11月, 査読有り
      • Low-damage milling of an amino acid thin film with cluster ion beam
        Masaki Hada; Sachi Ibuki; Yusaku Hontani; Yasuyuki Yamamoto; Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2011年11月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • Highly sensitive molecular detection with swift heavy ions
        Yoshinobu Wakamatsu; Hideaki Yamada; Satoshi Ninomiya; Brian N. Jones; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Roger Webb; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2011年10月, 査読有り
      • The effects of cluster size on sputtering and surface smoothing of PMMA with gas cluster ion beams
        Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2011年09月, 査読有り
      • Molecular dynamics simulations of large fluorine cluster impact on silicon with supersonic velocity
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2011年07月, 査読有り
      • Using ellipsometry for the evaluation of surface damage and sputtering yield in organic films with irradiation of argon cluster ion beams
        Masaki Hada; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2011年01月, 査読有り
      • The effect of incident energy on molecular depth profiling of polymers with large Ar cluster ion beams
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2011年01月, 査読有り
      • MeV-energy probe SIMS imaging of major components in washed and fractured animal cells
        H. Yamada; Y. Nakata; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Tamura; J. Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2011年01月, 査読有り
      • Analysis of organic semiconductor multilayers with Ar cluster secondary ion mass spectrometry
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2011年01月, 査読有り
      • Surface morphology of PMMA surfaces bombarded with size-selected gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; Y. Nakata; H. Yamada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2011年01月, 査読有り
      • Simultaneous Sterilization With Surface Modification Of Plastic Bottle By Plasma-Based Ion Implantation
        N. Sakudo; N. Ikenaga; F. Ikeda; Y. Nakayama; Y. Kishi; Z. Yajima; Jiro Matsuo; Masataka Kase; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        2011年
      • Evaluation of damage depth on arginine films with molecular depth profiling by Ar cluster ion beam
        Yamamoto Yasuyuki; Ichiki Kazuya; Seki Toshio; Aoki Takaaki; Matsuo Jiro
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2011年
      • Sputtering Properties of Si by Size-Selected Ar Gas Cluster Ion Beam
        K Ichiki; S Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2010年12月, 査読有り
      • Processing Techniques of Biomaterials: Using Gas Cluster Ion Beam for Imaging Mass Spectrometry
        H Yamada; K Ichiki; Y Nakata; S Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2010年12月, 査読有り
      • SIMS Depth Profiling of Organic Materials with Ar Cluster Ion Beam
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the Materials Research Society of Japan, 2010年12月, 査読有り
      • ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術
        松尾 二郎; 北川 晃幸; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        トライボロジスト, 2010年11月15日
      • SIMS with highly excited primary beams for molecular depth profiling and imaging of organic and biological materials
        Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Hideaki Yamada; Kazuya Ichiki; Yoshinobu Wakamatsu; Masaki Hada; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, 2010年10月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • MeV-energy probe SIMS imaging of major components in animal cells etched using large gas cluster ions
        Hideaki Yamada; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2010年06月, 査読有り
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      • Molecular dynamics simulations for gas cluster ion beam processes
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        VACUUM, 2010年03月, 査読有り
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      • Evaluation of Damage Layer in an Organic Film with Irradiation of Energetic Ion Beams
        Masaki Hada; Sachi Ibuki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2010年, 査読有り
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      • Anisotropic Etching Using Reactive Cluster Beams
        Kunihiko Koike; Yu Yoshino; Takehiko Senoo; Toshio Seki; Satoshi Ninomiya; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2010年, 査読有り
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      • Nano Processing with Gas Cluster Ion Beams
        Jiro Matsuo; Teruyuki Kitagawa; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        JOURNAL OF JAPANESE SOCIETY OF TRIBOLOGISTS, 2010年
      • Molecular depth profiling of multilayer structures of organic semiconductor materials by secondary ion mass spectrometry with large argon cluster ion beams
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, 2009年10月, 査読有り
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      • Study of density effect of large gas cluster impact by molecular dynamics simulations
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年09月, 査読有り
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      • The emission process of secondary ions from solids bombarded with large gas cluster ions
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年08月, 査読有り
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      • Precise and fast secondary ion mass spectrometry depth profiling of polymer materials with large Ar cluster ion beams
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        RAPID COMMUNICATIONS IN MASS SPECTROMETRY, 2009年06月, 査読有り
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      • Imaging mass spectrometry with nuclear microprobes for biological applications
        Y. Nakata; H. Yamada; Y. Honda; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年06月, 査読有り
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      • Nano-processing with gas cluster ion beams
        Toshio Seki
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2009年06月, 査読有り
      • Study of crater formation and sputtering process with large gas cluster impact by molecular dynamics simulations
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年05月, 査読有り
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      • High-speed processing with Cl-2 cluster ion beam
        T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009年05月, 査読有り
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      • Low Damage Etching of Polymer Materials for Depth Profile Analysis Using Large Ar Cluster Ion Beam
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Journal of Surface Analysis, 2009年02月, 査読有り
      • A Processing Technique for Cell Surfaces Using Gas Cluster Ions for Imaging Mass Spectrometry
        Hideaki Yamada; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan, 2009年01月, 査読有り
      • Matrix-free high-resolution imaging mass spectrometry with high-energy ion projectiles
        Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY, 2009年01月, 査読有り
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      • Stress measurement of carbon cluster implanted layers with in-plane diffraction technique
        Jiro Matsuo; Kazuya Ichiki; Masaki Hada; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Tsutomu Nagayama; Masayasu Tanjyo
        Extended Abstracts of the 9th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2009, 2009年, 査読有り
      • Sputtering Yield Measurements with Size-selected Gas Cluster Ion Beams
        Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        MRS Symposium Proceedings, 2009年, 査読有り
      • What size of cluster is most appropriate for SIMS?
        Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams
        Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the MRS-J, 2008年12月, 査読有り
      • Low Damage Etching and SIMS Depth Profiling with Large Ar Cluster Ions
        Satoshi Ninomiya; Jiro Matsuo; Kazuya Ichiki; Hideaki Yamada; Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        Transactions of the MRS-J, 2008年12月, 査読有り
      • SIMS Analysis of Biological Mixtures with Fast Heavy Ion Irradiation
        Yoshiro Honda; Yoshihiko Nakata; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Transactions of the MRS-J, 2008年12月, 査読有り
      • MD simulation study of the sputtering process by high-energy gas cluster impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Satoshi Ninomiya; Jiro Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • Secondary ion emission from Si bombarded with large Ar cluster ions under UHV conditions
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • High sputtering yields of organic compounds by large gas cluster ions
        K. Ichiki; S. Ninomiya; Y. Nakata; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • Yield enhancement of molecular ions with MeV ion-induced electronic excitation
        Y. Nakata; Y. Honda; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • A fragment-free ionization technique for organic mass spectrometry with large Ar cluster ions
        Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2008年12月, 査読有り
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      • Carbon nanotubes from a divided catalyst: the carbon transmission method
        Takeshi Hikata; Kazuhiko Hayashi; Tomoyuki Mizukoshi; Yoshiaki Sakurai; Itsuo Ishigami; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        APPLIED PHYSICS EXPRESS, 2008年03月, 査読有り
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      • Low damage smoothing of magnetic materials using off-nonnal gas cluster ion beam irradiation
        S. Kakuta; S. Sasaki; K. Furusawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2007年08月, 査読有り
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      • Surface processing with high-energy gas cluster ion beams
        Toshio Seki; Jiro Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2007年08月
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      • Molecular dynamics study of monomer and dimer emission processes with high energy gas cluster ion impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Satoshi Ninomiya; Jiro Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2007年08月, 査読有り
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      • Energy distribution of high-energy cluster ion beams
        T. Seki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年08月
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      • Effect of oblique irradiation of gas cluster ion beam on surface properties of gold mirrors
        A. Suzuki; E. Bourelle; A. Sato; T. Seki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年04月
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      • High-speed processing with high-energy SF6 cluster ion beam
        T. Seki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年04月
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      • Size effect in cluster collision on solid surfaces
        Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Kazuya Ichiki; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年04月, 査読有り
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      • Low damage smoothing of magnetic material films using a gas cluster ion beam
        S. Kakuta; S. Sasaki; T. Hirano; K. Ueda; T. Seki; S. Ninomiya; M. Hada; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年04月
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      • Low-damage surface smoothing of laser crystallized polycrystalline silicon using gas cluster ion beam
        H. Tokioka; H. Yamarin; T. Fujino; M. Inoue; T. Seki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年04月
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      • The effect of incident cluster ion energy and size on secondary ion yields emitted from Si
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年03月, 査読有り
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      • Measurements of secondary ions emitted from organic compounds bombarded with large gas cluster ions
        Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年03月, 査読有り
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      • Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2007年03月, 査読有り
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      • The effect of incident cluster ion size on secondary ion yields produced from Si
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        TRANSACTIONS OF THE MATERIALS RESEARCH SOCIETY OF JAPAN, VOL 32, NO 4, 2007年, 査読有り
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      • Secondary ion measurements for oxygen cluster ion SIMS
        Satoshi Ninomiya; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2006年07月, 査読有り
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      • High-intensity Si cluster ion emission from a silicon target bombarded with large Ar cluster ions
        Satoshi Ninomiya; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        APPLIED SURFACE SCIENCE, 2006年07月, 査読有り
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      • Surface cleaning and modification of Si(100) substrates by ethanol and water cluster ion beams
        GH Takaoka; H Noguchi; K Nakayama; T Seki; M Kawashita
        REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2006年03月
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      • Cluster size dependence of sputtering yield by cluster ion beam irradiation
        T Seki; T Murase; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年01月, 査読有り
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      • ITO surface smoothing with argon cluster ion beam
        C Heck; T Seki; T Oosawa; M Chikamatsu; N Tanigaki; T Hiraga; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006年01月, 査読有り
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      • High-speed nano-processing with cluster ion beams
        T. Seki; J. Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY, 2006年, 査読有り
      • Energy distributions of high current cluster ion beams
        T Seki; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005年12月, 査読有り
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      • Sidewall polishing with a gas cluster ion beam for photonic device applications
        E Bourelle; A Suzuki; A Sato; T Seki; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005年12月, 査読有り
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      • Development of 1 mA cluster ion beam source
        T Seki; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005年08月, 査読有り
      • Size and energy distribution of gas cluster ion beam measured by energy resolved time of flight mass spectroscopy
        S Kakuta; T Seki; S Sasaki; K Furusawa; T Aoki; J Matsuo
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2005年06月, 査読有り
      • Organic electroluminescent device on ITO smoothed with Ar cluster ion beam
        Claire Heck; Takeru Oosawa; Masayuki Chikamatsu; Nobu Tanigaki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        Nonlinear Optics Quantum Optics, 2005年, 査読有り
      • Development of the large current cluster ion beam technology
        Toshio Seki; Jiro Matsuo
        Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources, 2005年, 査読有り
      • Glancing angle fluorescence XAFS study on metal oxide thin films obtained by oxygen gas cluster ion beam assisted deposition techniques
        H. Kageyama; T. Asanuma; T. Takeuchi; K. Kadono; J. Matsuo; T. Seki; T. Kitagawa; N. Toyoda; Y. Shimizugawa; T. Uruga
        Physica Scripta T, 2005年, 査読有り
      • Glancing angle fluorescence XAFS study on metal oxide thin films obtained by oxygen gas cluster ion beam assisted deposition techniques
        H. Kageyama; T. Asanuma; T. Takeuchi; K. Kadono; J. Matsuo; T. Seki; T. Kitagawa; N. Toyoda; Y. Shimizugawa; T. Uruga
        PHYSICA SCRIPTA, 2005年, 査読有り
      • Polishing of sidewall surfaces using a gas cluster ion beam
        E Bourelle; A Suzuki; A Sato; T Seki; J Matsuo
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS, 2004年10月, 査読有り
      • A new secondary ion mass spectrometry (SIMS) system with high-intensity cluster ion source
        J Matsuo; C Okubo; T Seki; T Aoki; N Toyoda; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004年06月, 査読有り
      • Surface smoothing with large current cluster ion beam
        T Seki; J Matsuo
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2004年02月, 査読有り
      • クラスターイオン衝突における非線形照射効果とそのプロセス応用
        松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        高温学会誌, 2003年09月20日
      • Production of liquid cluster ions for surface treatment
        GH Takaoka; H Noguchi; T Yamamoto; T Seki
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS, 2003年08月, 査読有り
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      • Modeling of surface smoothing process by cluster ion beam irradiation
        A Nakai; T Aoki; T Seki; J Matsuo; GH Takaoka; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年05月, 査読有り
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      • Atomistic study of cluster collision on solid surfaces
        J Matsuo; T Seki; T Aoki; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年05月, 査読有り
      • Generation of the large current cluster ion beam
        T Seki; J Matsuo; GH Takaoka; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年05月, 査読有り
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      • Titanium-dioxide film formation using gas cluster ion beam assisted deposition technique
        O Nakatsu; J Matsuo; K Omoto; T Seki; G Takaoka; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003年05月
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      • Scanning tunneling microscope observations of Ge deposition on Si(111)-7x7 surfaces irradiated by Xe ions
        GH Takaoka; T Seki; K Tsumura; J Matsuo
        THIN SOLID FILMS, 2002年02月
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      • Interaction of SF6 cluster ion beams with Si surface
        GH Takaoka; S Nakamura; T Seki; J Matsuo
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS, 2001年12月
        この論文にアクセスする：
      • Nano-processing with gas cluster ion beams
        Yamada, I; J Matsuo; Z Insepov; T Aoki; T Seki; N Toyoda
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年04月, 査読有り
      • STM observation of surface vacancies created by ion impact
        T Seki; T Aoki; J Matsuo; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年04月, 査読有り
      • UHV-STM study on ion-assisted deposition
        T Seki; J Matsuo; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000年03月, 査読有り
      • Cluster size dependence of the impact process on a carbon substrate
        T Aoki; T Seki; J Matsuo; Z Insepov; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1999年06月, 査読有り
      • Energy dependence of a single trace created by C-60 ion impact
        T Seki; T Aoki; M Tanomura; J Matsuo; Yamada, I
        MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 1998年07月, 査読有り
      • Cluster ion bombardment on atomically flat Au(111) solid surfaces
        D Takeuchi; T Seki; T Aoki; J Matsuo; Yamada, I
        MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 1998年07月, 査読有り
      • Molecular dynamics simulation of a carbon cluster ion impacting on a carbon surface
        T Aoki; T Seki; J Matsuo; Z Insepov; Yamada, I
        MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 1998年07月, 査読有り
      • STM observation of HOPG surfaces irradiated with Ar cluster ions
        T Seki; T Kaneko; D Takeuchi; T Aoki; J Matsuo; Z Insepov; Yamada, I
        NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1997年01月, 査読有り

      MISC

      • 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成
        瀬木利夫; 山本洋揮; 古澤孝弘; 荘所正; 小池国彦; 青木学聡; 松尾二郎
        応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2018年
      • ClF3中性クラスター斜め2方向照射によるレバー構造の作成
        瀬木利夫; 荘所正; 小池国彦; 山本洋揮; 古澤孝弘; 青木学聡; 松尾二郎
        応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2017年
      • ClF3中性クラスタービームによる斜めピラー構造の作成
        瀬木利夫; 荘所正; 小池国彦; 山本洋揮; 古澤孝弘; 青木学聡; 松尾二郎
        応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2016年
      • ClF3中性クラスタービームによる斜めエッチング
        瀬木利夫; 山本洋揮; 古澤孝弘; 吉野裕; 妹尾武彦; 小池国彦; 青木学聡; 松尾二郎
        応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2015年
      • 3D molecular imaging of organic multilayer film by Ar gas cluster ion beam SIMS
        Wakamoto K.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2014年04月
      • Lipid Compounds Analysis with MeV-SIMS Apparatus
        Fujii M.; Kusakari M.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2014年04月
      • Depth analysis of DSPC by SIMS, using gas cluster ion beam
        Nakagawa S.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2013年04月
      • X-ray Diffraction Measurements for a Diarylethene Single Crystal for Time-resolved Femtosecond X-ray Diffraction
        Hontani Yusaku; Hada Masaki; Seki Toshio; Aoki Takaaki; Matsuo Jiro
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2013年04月
      • 大気圧MeV-SIMSの開発と固液界面分析
        瀬木 利夫
        Journal of Surface Analysis, 2020年, 査読有り
      • 招待講演 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析 (光・量子デバイス研究会 微細加工技術とバイオ・メディカル応用)
        瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan, 2018年03月28日
      • Development of ambient SIMS using MeV-energy ion probe
        Kusakari M.; Fujii M.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2016年04月
      • Development of Low-Vacuum SIMS Instruments with Large Cluster Ion Beam
        Suzuki K.; Kusakari M.; Seki T.; Aoki T.; Matsuo J.
        Annual report of Quantum Science and Engineering Center, 2016年04月
      • BiクラスターTOF-SIMSによる有機材料のイメージング分析に関する研究
        宍戸 理恵; 藤井 麻樹子; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎; 鈴木 茂
        表面科学学術講演会要旨集, 2015年
      • クラスターSIMS法による脂質分子の高感度検出とイメージングへの応用
        松尾 二郎; 中川 俊一郎; 鳥居 聡太; 藤井 麻樹子; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        表面科学学術講演会要旨集, 2013年
      • クラスターSIMS法による脂質薄膜の構造評価
        松尾 二郎; 中川 駿一郎; 志戸本 祥; 鳥居 聡太; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        表面科学学術講演会要旨集, 2012年
      • 2次イオン質量分析法(SIMS法）によるバイオイメー ジング
        松尾 二郎; 市木 和弥; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        表面科学学術講演会要旨集, 2011年
      • Sputtering yield measurements with size-selected gas cluster ion beams
        Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        MRS Proceedings, 2011年01月, 査読有り
      • Characteristics of organic depth profiling using large cluster ion beams
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of 10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2010年06月
      • クラスタイオンビームによる平坦化加工技術
        松尾 二郎; 瀬木 利夫; 二宮 啓; 青木 学聡
        砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers, 2010年05月01日
      • 18th International Conference on Ion Implantation Technology
        J. Matsuo; M. Kase; T. Aoki; T. Seki
        AIP Conference Proceedings, 2010年, 査読有り
      • 高速重イオンによるラット脳組織内の脂質イメージング
        若松 慶信; 山田 英丙; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 石原 昭彦; 松尾 二郎
        表面科学学術講演会要旨集, 2010年
      • ArクラスターSIMSを用いたToF型質量イメージング装置の開発
        山本 恭千; 市木 和弥; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        表面科学学術講演会要旨集, 2010年
      • 二次イオン質量分析法を用いた生体組織の観察
        松尾 二郎; 市木 和弥; 山本 恭千; 若松 慶喜; 青木 学聡; 瀬木 利夫
        表面科学学術講演会要旨集, 2010年
      • クラスターイオンビーム技術の最近の進展
        松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
        表面科学, 2010年
      • High Speed Si Etching with ClF3 Cluster Injection
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; S. Ninomiya; T. Aoki; J. Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010, 2010年, 査読有り
      • Evaluation of Surface Damage of Organic Films due to Irradiation with Energetic Ion Beams
        Masaki Hada; Yusaku Hontani; Sachi Ibuki; Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010, 2010年, 査読有り
      • Evaluation of surface damage on organic materials irradiated with Ar cluster ion beam
        Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010, 2010年, 査読有り
      • Energy effects on the sputtering yield of Si bombarded with gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010, 2010年, 査読有り
      • Biomolecular Emission by Swift Heavy Ion Bombardment
        Yoshinobu Wakamatsu; Hideaki Yamada; Satoshi Ninomiya; Brian N. Jones; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Roger Webb; Jiro Matsuo
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010, 2010年, 査読有り
      • MD simulation of small boron cluster implantation
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        IWJT-2010: Extended Abstracts - 2010 International Workshop on Junction Technology, 2010年, 査読有り
      • SIMS depth profiling of organic films with Ar cluster ion beams
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Hideaki Yamada; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of 9th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2009年
      • 高速重イオンを用いた低真空SIMSの開発
        若松 慶信; 山田 英丙; 中田 由彦; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        表面科学学術講演会要旨集, 2009年
      • 高速重イオンを利用したイメージング質量分析
        中田 由彦; 山田 英丙; 本田 善郎; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        質量分析 = Mass spectroscopy, 2008年08月01日
      • 24aRB-2 高分解能イメージング質量分析へ向けたイオン入射条件の探索(原子分子・放射線融合(イオン-表面相互作用),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
        中田 由彦; 本田 善郎; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2008年
      • 23aRB-2 巨大Arクラスター衝突によりSiから生成される二次イオンにおける入射速度効果(放射線物理(散乱素過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
        二宮 啓; 市木 和弥; 中田 由彦; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2008年
      • クラスターイオンの新しい展開:～ナノプロセスから先端分析応用～
        松尾 二郎; 二宮 啓; 青木 学聡; 瀬木 利夫
        Journal of Surface Analysis, 2008年
      • クラスターイオン衝突の密度効果
        青木 学聡; Seki Toshio; Matsuo Jiro
        兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集, 2008年
      • 塩素クラスターによる高速加工
        瀬木 利夫; Aoki Takaaki; Matsuo Jiro
        兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集, 2008年
      • Computer modeling of cluster ion impacts
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        EXTENDED ABSTRACTS 2008 INTERNATIONAL WORKSHOP ON JUNCTION TECHNOLOGY, 2008年, 査読有り
      • Investigation of Damage with Cluster Ion Beam Irradiation Using HR-RBS
        Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsu
        ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2008, 2008年, 査読有り
      • Ionization and low damage etching of soft materials with slow Ar cluster ions
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Yoshiro Honda; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of 8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2007年
      • 19aXJ-4 サイズ選別されたクラスターイオン照射における二次イオン収率測定(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
        二宮 啓; 市木 和弥; 中田 由彦; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2007年
      • MD study of damage structures with poly-atomic boron cluster implantation
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of the 7th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2007, 2007年, 査読有り
      • Cluster ion implantation - Prospects and challenges
        Jiro Matsuo; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        Extended Abstracts of the 7th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2007, 2007年, 査読有り
      • Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere
        Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of 7th Workshop on Cluster Ion Beam and Advanced Quantum Beam Process Technology, 2006年
      • The effect of incident cluster ion size on secondary ion yields emitted from Si
        Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        Extended Abstracts of 7th Workshop on Cluster Ion Beam and Advanced Quantum Beam Process Technology, 2006年
      • 28aTA-6 スパッタリングにおけるイオン化確率の入射クラスターイオン種依存性(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
        二宮 啓; 青木 学聡; 瀬木 利夫; 中田 由彦; 市木 和弥; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2006年
      • 26pWD-7 サイズ選別されたクラスターイオンにより生成される二次イオンの測定(26pWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
        二宮 啓; 市木 和弥; 中田 由彦; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2006年
      • Arクラスターイオン衝撃により生体高分子薄膜から放出される二次イオン収率の入射サイズ依存性
        二宮 啓; 市木 和弥; 中田 由彦; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        表面科学講演大会講演要旨集, 2006年
      • クラスターイオン照射における二次イオン収率の入射サイズ依存性
        市木 和弥; 二宮 啓; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎
        表面科学講演大会講演要旨集, 2006年
      • Large Cluster Ions as Projectiles for SIMS-Opportunities and Challenges
        Jiro Matsuo; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        Proceedings of 18th Annual Workshop on SIMS, 2005年05月, 査読有り
      • 19pYR-5 巨大ガスクラスターイオン衝突による半導体材料からの二次イオン放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
        二宮 啓; 青木 学聡; 瀬木 利夫; 松尾 二郎
        日本物理学会講演概要集, 2005年
      • Gas cluster ion beam source for secondary ion emission measurements
        L. K. Ono; T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo; A. Itoh
        Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources, 2005年
      • Low damage smoothing of magnetic materials using oblique irradiation of gas cluster ion beam
        S Kakuta; S Sasaki; K Furusawa; T Seki; T Aoki; J Matsuo
        Surface Engineering 2004 - Fundamentals and Applications, 2005年, 査読有り
      • High-speed processing with reactive cluster ion beams
        T Seki; J Matsuo
        Surface Engineering 2004 - Fundamentals and Applications, 2005年, 査読有り
      • Fast Neutral Ar Penetration during Gas Cluster Ion Beam Irradiation into Magnetic Thin Films
        Shigeru Kakuta; Toshio Seki; Shinji Sasaki; Kenji Furusawa; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        MRS Proceedings, 2004年, 査読有り
      • High-speed processing with cluster ion beams
        T Seki; J Matsuo
        RADIATION EFFECTS AND ION-BEAM PROCESSING OF MATERIALS, 2004年, 査読有り
      • Fast neutral Ar penetration during gas cluster ion beam irradiation into magnetic thin films
        S Kakuta; T Seki; S Sasaki; K Furusawa; T Aoki; J Matsuo
        RADIATION EFFECTS AND ION-BEAM PROCESSING OF MATERIALS, 2004年, 査読有り
      • XAFS study of thin films fabricated with cluster ion assisted deposition technique
        Jiro Matsuo; Teruyuki Kitagawa; Yutaka Shimizugawa; Hiroyuki Kageyama; Kazuhiro Kanda; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Shinji Matsui
        Trans. Mat. Res. Soc. Jpn., 2003年12月, 査読有り
      • Threshold energy for generating damage with cluster ion irradiation
        T Seki; T Aoki; A Nakai; J Matsuo; GH Takaoka
        MORPHOLOGICAL AND COMPOSITIONAL EVOLUTION OF THIN FILMS, 2003年, 査読有り
      • High current cluster ion beam source
        T Seki; J Matsuo; GH Takaoka
        APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, 2003年, 査読有り
      • Study of cluster-size effect on damage formation
        T Aoki; T Seki; A Nakai; J Matsuo; G Takaoka
        APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, 2003年, 査読有り
      • Threshold energy for generating damage with cluster ion irradiation
        T Seki; T Aoki; A Nakai; J Matsuo; GH Takaoka
        MORPHOLOGICAL AND COMPOSITIONAL EVOLUTION OF THIN FILMS, 2003年, 査読有り
      • Cluster Size Effect on Surface Modification Process using Cluster Ion Beam
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Atsuko Nakai; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        Trans. Mat. Res. Soc. Jpn., 2003年01月, 査読有り
      • 液体多原子イオンビームの生成と表面照射効果
        高岡 義寛; 瀬木 利夫; 山本 智晃
        21世紀連合シンポジウム-科学技術と人間-論文集, 2002年11月23日
      • Development of the large current cluster ion beam technology
        Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology, 2002年, 査読有り
      • クラスターイオンビーム照射による表面反応過程
        高岡 義寛; 瀬木 利夫; 松尾 二郎
        Proceedings of the 12th Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses, 2001年11月, 査読有り
      • Ar Cluster Ion Bombardment Effects on Semiconductor Surfaces
        Toshio Seki; Takaaki Tsumura; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        Mat. Res. Soc. Symp. Proceedings, 2001年, 査読有り
      • STM observation of a Si surface irradiated with a single Ar cluster ion
        T Seki; GH Takaoka
        APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, 2001年, 査読有り
      • ガスクラスターイオンビームの大電流化及び表面高機能化
        金原 啓道; 瀬木 利夫; 松尾 二郎; 高岡 義寛
        電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 2000年12月14日
      • Si(111)上Ge極薄膜へのイオン照射効果
        瀬木 利夫; 津村 一道; 松尾 二郎; 高岡 義寛
        Proceedings of the 11th Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses, 2000年11月
      • STM observations of the annealing process of the damage caused by ion impact
        Toshio Seki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology, 1999年, 査読有り
      • Novel analysis techniques using cluster ion beams
        J Matsuo; N Toyoda; M Saito; T Aoki; T Seki; Yamada, I
        APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY, PTS 1 AND 2, 1999年, 査読有り
      • イオン衝突によるシリコン表面欠陥の高温STM観察
        瀬木 利夫; 松尾 二郎; 山田 公
        電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 1998年12月10日
      • デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
        草場 拓也; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 松尾 二郎; 加勢 正隆; 後藤 賢一; 杉井 寿博; 山田 公
        電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス, 1998年12月10日
      • Molecular dynamics simulation of fullerene cluster ion impact
        T Aoki; T Seki; M Tanomura; J Matsuo; Z Insepov; Yamada, I
        ATOMISTIC MECHANISMS IN BEAM SYNTHESIS AND IRRADIATION OF MATERIALS, 1998年, 査読有り
      • Size dependence of bombardment characteristics produced by cluster ion beams
        T Seki; M Tanomura; T Aoki; J Matsuo; Yamada, I
        ATOMISTIC MECHANISMS IN BEAM SYNTHESIS AND IRRADIATION OF MATERIALS, 1998年, 査読有り
      • Size dependence of bombardment characteristics produced by cluster ion beams
        T Seki; M Tanomura; T Aoki; J Matsuo; Yamada, I
        ATOMISTIC MECHANISMS IN BEAM SYNTHESIS AND IRRADIATION OF MATERIALS, 1998年, 査読有り
      • クラスタ-衝突における非線形効果 (原子核とマイクロクラスタ-の類似性と異質性)
        瀬木 利夫; 田能村 昌宏; 松尾 二郎; 山田 公
        物性研究, 1997年05月
      • クラスターイオンの非線形効果(原子核とマイクロララスターの類似性と異質性,研究会報告)
        瀬木 利夫; 田能村 昌宏; 松尾 二郎; 山田 公
        素粒子論研究, 1997年

      講演・口頭発表等

      • Ambient Secondary Ion Mass Analysis with MeV-energy Heavy Ion
        T.Seki; K. Ishii; M. Kusakari; T. Aoki; J. Matsuo
        11th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’17 (ALC`17), 2017年12月04日, 招待有り
      • Fabrication of 3D structure by double-angled etching with reactive gas cluster injection
        T. Seki; H. Yamamoto; T. Kozawa; T. Shojo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        The 39th International Symposium on Dry Process(DPS2017), 2017年11月16日
      • Characterization of Bio-Molecules with GCIBSIMS equipped with MS/MS Spectrometer
        Jiro Matsuo; T. Seki; T. Aoki
        AVS 64th International Symposium & Exhibition 2017 (AVS64), 2017年10月29日
      • Organic Material Analysis with a SIMS System with Q-TOF MS/MS Technique
        J. Matsuo; L. Houssiau; H. Gnaser; T. Seki; T. Aoki
        The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8), 2017年10月22日
      • Ambient SIMS using MeV-Energy Heavy Ion
        T.Seki; K. Ishii; M. Kusakari; T. Aoki; J. Matsuo
        The 23rd International Conference on Ion Beam Analysis (IBA-2017), 2017年10月09日
      • Observation of Adsorption and Desorption of Water Molecules with Ambient SIMS
        J.Matsuo; T.Seki; T.Aoki
        21st International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS21), 2017年09月10日
      • SIMS Measurement in Ambient and Humid Condition
        K. Ishii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017), 2017年08月28日
      • Angled Etching by ClF3?Ar Gas Cluster Injection
        T. Seki; H. Yamamoto; T. Kozawa; T. Shojo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017), 2017年08月28日
      • Observation of Adsorption and Desorption of Water Molecules in the Ambient with Swift Heavy Ions
        Jiro Matsuo; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki
        Symposium on Surface and Nano Science 2017 (SNNS2017), 2017年01月01日
      • Study of Large Cluster Impact for Surface Modification Process
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        Conference of 2016 MRS Fall Meeting (Symposium PM1), 2016年11月29日
      • High Aspect Ratio Patterning by Using ClF3-Ar Neutral Cluster Etching
        H. Yamamoto; T. Seki; J. Matsuo; K. Koike; T. Kozawa
        The 38th International Symposium on Dry Process(DPS2016), 2016年11月22日
      • Oblique pattern etching with ClF3-Ar neutral cluster beam
        T. Seki; H. Yamamoto; T. Kozawa; T. Shojo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        The 38th International Symposium on Dry Process(DPS2016), 2016年11月21日
      • Oblique pattern etching with ClF3-Ar neutral cluster beam
        T. Seki; H. Yamamoto; T. Kozawa; T. Shojo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        9th International Meeting on Recent Developments in the Study of Radiation Effects in Matter REM 9, 2016年10月26日
      • Cluster Ion Beams for Organic Semiconductors and Biological Materials
        J. Matsuo; K. Suzuki; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki
        21th International Conference on Ion Implantation Technology IIT2016, 2016年09月26日
      • Ambient analysis using a MeV ion probe: measurement of liquid and solid states of benzoic acid
        M.Kusakari; M.Fujii; T.Seki; T.Aoki; J.Matsuo
        15th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications ICNMTA 2016, 2016年08月01日
      • A new approach of interface analysis: measurement of benzoic acid in solution using ambient SIMS
        M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-18), 2016年07月22日
      • Development of New Cluster-SIMS Instrument Combined with Tandem Mass
        K. Suzuki; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-18), 2016年07月22日
      • Chemical Structurer Determination with MS/MS SIMS for Biological Molecules
        J. Matsuo; K. Suzuki; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki
        The Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-18), 2016年07月21日
      • Chemical analysis under ambient conditions using swift heavy ion beams
        J.Matsuo; M.Kusakari; M.Fujii; T.Seki; T.Aoki
        12th European Conference on Acceleratorsin Applied Research and Technology, 2016年07月07日
      • Reactive etching with ClF3-Ar neutral cluster beam
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        The 37th International Symposium on Dry Process(DPS2015), 2015年11月05日
      • Solid-Liquid Interface Analysis with MeV-Energy Heavy Ion Beams
        T.Seki; M. Kusakari; M. Fujii; T. Aoki; J. Matsuo
        ALC'15 10th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '15, 2015年10月28日
      • Evaluation on organic analysis with a novel SIMS apparatus using model standard sam ples
        M.Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        ALC'15 10th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '15, 2015年10月27日
      • Development of Low-Pressure SIMS Instruments with Large Cluster Ion Beam
        K.Suzuki; M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        ALC'15 10th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '15, 2015年10月27日
      • Comparative Study of Dual and Single Beam Analysis Techniques for Biological Materials
        A.Karen; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SIMS XX 20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2015年09月17日
      • Influences of Yield and Damage Cross-Section on Imaging Analysis of Organic Molecules by Bi cluster TOF-SIMS
        R. Shishido; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo; S. Suzuki
        SIMS XX 20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2015年09月17日
      • Current Prospects of Organic Analysis with Ar-GCIB SIMS from Synthetic Polymers and Organic Devices toward BiologicalMaterials
        M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SIMS XX 20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2015年09月14日
      • Molecular Cluster Emission in Sputtering of Amino Acids by Argon Gas-cluster Ions
        Hubert Gnaser; M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SIMS XX 20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2015年09月14日
      • Development of Ambient SIMS using MeV-energy ion probe
        M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aokia; J. Matsuo
        SIMS XX 20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2015年09月14日
      • Imaging mass spectrometry with MeV-energy heavy ion beams
        T. Seki; T. Aoki; A. Ishihara; J. Matsuo
        XXII INTERNATIONAL CONFERENCE ON ION - SURFACE INTERACTIONS (ISI-2015), 2015年08月21日, 招待有り
      • Recent Progress and Future Prospects of Cluster SIMS for Biological Applications
        M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SISS-17 Satellite workshop, 2015年06月29日
      • Comparative Study of Cluster SIMS and Other Techniques for Highly Accurate Organic Analysis
        M. Fujii; R. Shishido; T. Satoh; T. Seki; T. Aoki; S. Suzuki; J. Matsuo
        SISS-17, 2015年06月25日
      • The Effect of Yield and Damage Cross-Section on Imaging Analysis of OrganicMaterials by Different Primary Bi Ions in TOF-SIMS
        R. Shishido; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo; S. Suzuki
        SISS-17, 2015年06月25日
      • A New Ambient Analysis using MeV-SIMS for Liquid-Solid Interface
        M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SISS-17, 2015年06月25日
      • Development of SIMS instruments with Focused Cluster Ion Beam Toward New Applications
        K. Suzuki; M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        SISS-17, 2015年06月25日
      • Ambient Analysis of Liquid Materials with Wet-SIMS
        T.Seki; M.Kusakari; M.Fujii; T.Aoki; JMatsuo
        22nd International Conference on Ion Beam Analysis (IBA 2015), 2015年06月14日
      • The laser desorption/ionization imaging mass spectrometry for synthetic polymer analysis assisted by metal nano-particles
        T.Satoh; H,.Niimi; M. Fujii; T. Seki; J.Matsuo; M.Ubukata; R.DiPasquale
        ASMS, 2015年06月03日
      • Etching reactions of magnetic materials by CO cluster beams
        K. Karahashi; T. Seki; J. Matsuo; S. Hamaguchi
        The 36th International Symposium on Dry Process (DPS2014), 2014年11月27日
      • Imaging mass spectrometry for the organic thin film using laser desorption ionization
        T. Satoh; M. Shima; H. Niimi; Y. Nakajima; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo
        The 7th International Symposium on Surface Science (ISSS-7), 2014年11月04日
      • Recent Progress in Cluster Beam -- from Semiconductor to Soft Materials
        J. Matsuo; T. Seki; T. Aoki; M. Fujii
        The 19th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 2014), 2014年09月17日
      • Imaging mass spectrometry and depth profiling for organic thin films using laser desorption ionization
        T. Satoh; M. Shima; H. Niimi; Y. Nakajima; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo
        18th International Microscopy Congress (IMC2014), 2014年09月10日
      • Highly Accurate Biological Analysis using Ar-GCIB SIMS with Chemical Assist Ionization
        M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014), 2014年08月25日
      • Molecular Dynamics Simulation of Gas Cluster Impact on Coner-shaped Target
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014), 2014年08月25日
      • MeV-SIMS with swift heavy ions at low pressure
        J. Matsuo; M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki
        14th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications, 2014年07月08日, 招待有り
      • High Resolution Imaging Mass with Focused Ar Cluster Beam
        J. Matsuo; S. Torii; K. Yamauchi; K. Wakamoto; M. Kusakari; S. Nakagawa; M. Fujii; T. Aoki; T. Seki
        The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16), 2014年06月20日
      • Organic Materials Analysis Using Different Primary Bi Ions in TOF-SIMS
        R. Shishido; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo; S. Suzuki
        The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16), 2014年06月19日
      • Highly Sensitive Lipid Analysis and Imaging Mass Spectrometry with Cluster SIMS Apparatus
        M. Fujii; R. Shishido; S. Torii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; S. Suzuki; J. Matsuo
        The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16), 2014年06月19日
      • Possibilities and Limitations of Biological Analysis with novel Ar-GCIB SIMS Apparatus
        M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 16th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS16), 2014年06月19日
      • Imaging mass spectrometry and depth profiling for the organic thin film using laser desorption ionization
        T. Satoh; M. Shima; H. Niimi; Y. Nakajima; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo; R. DiPasquale
        62nd ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics, 2014年06月16日
      • Possibilities and Limitations of MeV-SIMS for Biological Applications
        M. Fujii; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2014), 2014年05月26日, 招待有り
      • Lipid Compounds Analysis with Argon Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The Conference on Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2014), 2014年05月26日
      • Computer simulation of cluster impact on soft- and hard- material interface
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        23rd Annual Meeting of MRS-J, 2013年12月09日
      • Lipid Compounds Analysis with Swift Heavy Ion Beam for Biological Applications
        M. Fujii; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        23rd Annual Meeting of MRS-J, 2013年12月09日
      • Low Vacuum SIMS Measurements of Higher Alcohols with MeV-energy Heavy Ion Beam
        M. Kusakari; M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        23rd Annual Meeting of MRS-J, 2013年12月09日
      • Si Etching with ClF3 Neutral Cluster Beam from Multi-nozzle
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        23rd Annual Meeting of MRS-J, 2013年12月09日
      • Mass Analysis by Ar-GCIB-Dynamic SIMS for Organic Materials
        M. Suzuki; M. Nojima; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo
        9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’13, 2013年12月02日
      • Quantitative Analysis of Lipids with Ar Cluster Ion Beam
        M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’13, 2013年12月02日
      • Ambient Analysis with Wet-SIMS
        T. Seki; M. Fujii; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’13, 2013年12月02日
      • Analysis of Liquid Materials with Wet-SIMS
        T. Seki; M. Fujii; M. Kusakari; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        Workshop on Strategic Japanese-Croatian Cooperative Program on Material Science, 2013年11月13日
      • Possibilities and Limitations of Ar GCIB SIMS for Biological Applications
        M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月03日
      • Liquid Sample Measurements using Wet SIMS Apparatus with Swift Heavy Ion Beam
        M. Fujii; M. Kusakari; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月03日
      • Development of organic depth profiling system with Ar-GCIB and IMS-4f
        M. Nojima; M. Suzuki; M. Fujii; T. Seki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月01日
      • Generation of Ar cluster ion beam for high spatial resolution SIMS
        S. Torii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月01日
      • Secondary Ion Mass Spectrometry with Methanol Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月01日
      • Depth analysis of DSPC by SIMS using gas cluster ion beam
        S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月01日
      • Sputtered Ion Emission from Peptides and Amino Acids under Large Argon Cluster Ion Bombardment
        H. Gnaser; M. Fujii; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2013年10月01日
      • Chemical Reaction on the Specimen Surface by Cluster Ion Beam Irradiation
        M. Fujii; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013年09月19日
      • Bio-imaging with MeV-energy Heavy Ion Beams
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        21st International Conference on Ion Beam Analysis, 2013年06月23日, 招待有り
      • Development of MeV-SIMS Imaging System with Electrostatic Quadrupole Lens
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        15th Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions, 2013年04月25日
      • An Electrostatic Quadrupole Lens for Focusing Swift Heavy Ions in MeV-SIMS
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        25th International Conference on Atomic Collisions in Solids, 2012年10月23日
      • Ultrafast Molecule Dymanics of Photochromic Reaction in Diarylethene
        Y. Hontani; M. Hada; T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012), 2012年09月23日
      • Photoinduced Ultrafast Phase Transition in VO2 Crystal: Atomic Motion of Vanadium
        J. Matsuo; M. Hada; Y. Hontani; T. Seki; T. Aoki
        IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012), 2012年09月23日
      • Etching of Si by Methanol Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012), 2012年09月23日
      • Development of Electrostatic Quadrupole Lens for MeV-SIMS Imaging
        S. Shitomoto; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012), 2012年09月23日
      • High-speed Processing with ClF3 Cluster Injection
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        IUMRS-International Conference on Electronic Materials (IUMRS-ICEM 2012), 2012年09月23日
      • Development of Electrostatic Quadrupole Lens for MeV-SIMS Imaging
        S. Shitomoto; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Mass Spectrometry Conference, 2012年09月15日
      • Secondary Ion Emission with Methanol Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Mass Spectrometry Conference, 2012年09月15日
      • Molecular Imaging of Cells and Tissues with Continuous Cluster Ion Beams
        J. Matsuo; T. Aoki; T. Seki
        19th International Mass Spectrometry Conference, 2012年09月15日
      • Bio-imaging with Swift Heavy Ion Beams
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        19th International Mass Spectrometry Conference, 2012年09月15日
      • Molecular Imaging with Focused Cluster Ion Beams
        J. Matsuo; S. Nakagawa; M. Py; T. Aoki; T. Seki
        22th International Conference on the Application of Accelerators in Research & Industry, 2012年08月05日, 招待有り
      • Development of MeV-SIMS imaging system with Electrostatic Quadrupole Lens
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        22th International Conference on the Application of Accelerators in Research & Industry, 2012年08月05日, 招待有り
      • An Electrostatic Quadrupole Lens for Focusing Swift Heavy Ions in MeV-SIMS
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        13th International Conference On Nuclear Microprobe Technology & Applications (ICNMTA2012), 2012年07月26日
      • MeV-SIMS with Swift Heavy Ion Beams toward Molecular
        J. Matsuo; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; T. Seki
        13th International Conference On Nuclear Microprobe Technology & Applications (ICNMTA2012), 2012年07月24日
      • Evaluation of sputtering and damage with huge cluster impact using molecular dynamics simulations
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        Computer Simulations of Radiation Effects in Solids (COSIRES2012), 2012年06月26日
      • Large-scale MD Simulation of Huge Cluster Impact for Surface Process and Analysis
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-14), 2012年06月01日, 招待有り
      • An Electrostatic Quadrupole Lens for Focusing Swift Heavy Ions in MeV-SIMS
        T. Seki; S. Shitomoto; S. Nakagawa; T. Aoki; J. Matsuo
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-14), 2012年06月01日
      • Boron concentration measurement in cultivated cells with Nano-SIMS
        M. Py; M. Takeuchi; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-14), 2012年05月31日
      • Mass Imaging with Cluster Ion Beams
        J. Matsuo; S. Nakagawa; M. Py. K. Ichiki; T. Aoki; T. Seki
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-14), 2012年05月31日
      • A Novel Imaging Technique for Cells and Tissue by Energetic Particle Bombardment
        J. Matsuo; K. Ichiki; T. Aoki; T. Seki
        2012 MRS Spring Meeting, 2012年04月11日
      • Real-time Observation of Photo-induced Phase Transition of Diarylethene
        Y. Hontani; M. Hada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        2012 MRS Spring Meeting, 2012年04月10日
      • Time-resolved Observation of the Photoinduced Phase Transition of Diarylethene
        Y. Hontani; M. Hada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        Banff Meeting on Structural Dynamics Ultrafast Dynamics with Xrays and Electrons, 2012年02月19日
      • Large-Scale Molecular Dynamics Simulation of Huge Fluorine Cluster Impact on Silicon
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        21th MRS-J Symposium（International Session）, 2011年12月20日
      • Development of Electrostatic Quadrupole Lens for Focusing of Swift Heavy Ion
        S. Shitomoto; Y. Wakamatsu; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        21th MRS-J Symposium（International Session）, 2011年12月20日
      • Cluster Beam Generation of Low Vapor Pressure Materials
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        21th MRS-J Symposium（International Session）, 2011年12月20日
      • Depth Profiling Technique and Molecular Imaging with Cluster SIMS -from Organic Thin Films and Single Cells -
        J. Matsuo; K. Ichiki; S. Nakagawa; T. Seki; T. Aoki
        21th MRS-J Symposium（International Session）, 2011年12月19日
      • The Effect of Size Variation in Sputtering with Size-Selected Cluster Ion Beams
        T. Seki; K. Ichiki; J. Tamura; T. Aoki; J. Matsuo
        11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2011年12月05日
      • Characteristics of Si Etching Using ClF3-Ar Cluster Beam
        Y. Yoshino; T. Seki; T. Senoo; K. Koike; G. Inoue; T. Aoki; J. Matsuo
        11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2011年12月05日
      • Molecular dynamics simulations of large fluorine cluster impact on silicon with supersonic velocity
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        11th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2011年12月05日
      • Molecular Imaging of Cells and Tissues with Novel Ion Beams
        J. Matsuo; K. Ichiki; T. Yamanobe; Y. Yamamoto; T. Aoki; T. Seki
        AVS 58th International Symposium, 2011年11月02日
      • The effect of size variation in sputtering with size-selected cluster ion beams
        J. Matsuo; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki
        18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS XVIII), 2011年09月23日
      • A focused Ar cluster ion beam for molecular imaging
        J. Matsuo; K. Ichiki; T. Yamanbe; Y. Yamamoto; T. Seki; T. Aoki
        18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS XVIII), 2011年09月23日
      • Ion-induced damage evaluation with Ar cluster ion beams
        Y. Yamamoto; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS XVIII), 2011年09月22日
      • Cell and tissue imaging with novel ion beams
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; K. Ichiki; T. Yamanobe; Y. Yamamoto; B. Jones; R. Webb; T. Seki; Takaaki Aoki
        18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS XVIII), 2011年09月19日
      • Secondary ion emission from biomaterials with swift heavy ions: toward a novel application for bio-imaging
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; T. Seki; T. Aoki
        16th International Conference on Radiation Effects in Insulators (REI2011), 2011年08月17日
      • Secondary Molecular Ion Emission with Swift Heavy Ions:A Novel Imaging Technique for Biological Applications
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; T. Aoki; T. Seki
        E-MRS 2011 Spring Meeting, 2011年05月11日
      • Molecular dynamics study of species and structure effect on large cluster impact
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        E-MRS 2011 Spring Meeting, 2011年05月09日
      • Si Processing with Energetic Neutral Cluster Beam
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        E-MRS 2011 Spring Meeting, 2011年05月09日
      • The effects of cluster size and energy on sputtering with gas cluster ion beams
        K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        E-MRS 2011 Spring Meeting, 2011年05月09日
      • Bio-imaging technique with swift heavy ions -from single cells to tissues-
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; T. Aoki; T. Seki
        20th International Conference on Ion Beam Analysis, 2011年04月15日
      • Damage free sputtering with size-controlled cluster ion beam for material analysis
        J. Matsuo; K. Ichiki; Y. Yamamoto; T. Seki; T. Aoki
        20th International Conference on Ion Beam Analysis, 2011年04月13日
      • The effects of cluster size on sputtering and surface smoothing with gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        20th MRS-J Symposium（International Session）, 2010年12月22日
      • MD Simulation of Huge Fluorine Cluster Impact on Silicon
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        20th MRS-J Symposium（International Session）, 2010年12月22日
      • Evaluation of Damage Depth on Organic Materials Surfaces with Molecular Depth Profiling by Ar Cluster
        Y. Yamamoto; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        20th MRS-J Symposium（International Session）, 2010年12月22日
      • High-speed Si etching with ClF3 neutral cluster beam
        T. Seki; Y. Yoshino; T. Senoo; K. Koike; T. Aoki; J. Matsuo
        20th MRS-J Symposium（International Session）, 2010年12月22日
      • Molecular Imaging of Cells and Tissues by Wet-SIMS" Using Swift Heavy Ion Beams
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; T. Seki; T. Aoki
        20th MRS-J Symposium（International Session）, 2010年12月21日
      • A Novel Molecular Imaging Technique for Biological Material Analysis
        J. Matsuo; H. Yamada; Y. Wakamatsu; T. Aoki; T. Seki
        AVS 57th International Symposium, 2010年10月20日
      • The effects of cluster size and energy on surface smoothing with gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM2010), 2010年08月23日
      • Molecular Imaging of Biological Samples with Swift Heavy Ion Microprobe
        J. Matsuo; H. Yamada; Y. Wakamatsu; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki
        12th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications (ICNMTA 2010), 2010年07月27日, 招待有り
      • Biomuolecular Analysis with Nuclear Microprobe under Near-ambient Conditions
        Y. Wakamatsu; H. Yamada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        12th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications (ICNMTA 2010), 2010年07月27日
      • MD Simulation of Huge Reactive Gas Cluster Impact with Supersonic Velocity
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        10th International Conference on Computer Simulations of Radiation Effects in Solids, 2010年07月18日
      • Characteristics of organic depth profiling using large cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2010年06月14日
      • MD simulation of small boron cluster implantation
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2010年06月14日
      • The effects of incident cluster size and energy on Si sputtering yield
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2010年06月14日
      • Etching Characteristics with Ar-Cl2 Gas Mixed Cluster Ion Beam
        T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        10th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2010年06月14日
      • Damage and sputtering with cluster impact by MD simulations
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-12), 2010年06月11日
      • Availability of gas cluster SIMS to biomolecular analysis
        S. Ninomiya; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Mastuo
        The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University (SISS-12), 2010年06月11日
      • Secondary ion mass spectrometry depth profiling of organic materials with large gas cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月09日
      • Development of high-intensity Ar cluster ion beam equipment
        T. Yamanobe; Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月08日
      • Evaluation of damage layer in an organic film with irradiation of energetic ion beams
        M. Hada; S. Ibuki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月08日
      • High Speed Si Etching with ClF3 Cluster Injection
        Y. Yoshino; T. Seki; T. Senoo; K. Koike; S. Ninomiya; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月08日
      • Size and energy dependence of the sputtering yield of Si bombarded with gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月07日
      • Damage evaluation of organic materials irradiated with Ar cluster ion beam
        Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月07日
      • SIMS with Fast Heavy Ions for Biomolecule Analysis
        Y. Wakamatsu; H. Yamada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        18th International Conference on Ion Implantation Technology, 2010年06月07日
      • Wet SIMS with Swift Heavy Ions for Biological Material Analysis
        J. Matsuo; Y. Wakamatsu; H. Yamada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki
        22nd Annual Workshop on SIMS, 2010年05月21日
      • Measurement of Cluster Size Dependence of Sputtering Yield Using Size-Selected Ar Cluster Ion Beams
        J. Matsuo; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki
        22nd Annual Workshop on SIMS, 2010年05月20日
      • Depth profile characteristics of organic materials with large Ar cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        22nd Annual Workshop on SIMS, 2010年05月19日
      • MD simulation of small boron cluster implantation
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        10th International Workshop on Junction Technology, 2010年05月10日
      • Investigation of Irradiation Damage with Large Gas Cluster Ion Beam using by HR-RBS
        T. Seki; J. Matsuo
        ALC’09, 2009年12月10日
      • Molecular depth profiling of biological materials with large Ar cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th MRS-J Symposium, 2009年12月09日
      • Development of high-intensity Ar Cluster ion beam source
        T. Yamanobe; Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        19th MRS-J Symposium, 2009年12月08日
      • Soft Excitation and Processing of Polymer Materials with Cluster Ion Beams
        T. Seki; Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; J. Matsuo
        International Symposium on the Physics of Excitation-assisted Nano-processes(ISPEN2009), 2009年11月20日
      • Secondary ion mass spectrometry depth profiling of organic films with large Ar cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        5th Inaternational Workshop on High-Resolution Depth Profiling, 2009年11月18日
      • Investigation of cluster ion irradiation damage with HR-RBS”
        T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        5th Inaternational Workshop on High-Resolution Depth Profiling, 2009年11月17日
      • Surface Damage Evaluation of Organic Materials Irradiated with Ar Cluster Ions
        J. Matsuo; S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; M. Hada; T. Aoki; T. Seki
        AVS 56th International Symposium, 2009年11月12日
      • Molecular depth profiling of polymers with large Ar cluster ion beams
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月18日
      • Sputtering and morphology of solid surfaces bombarded with size-selected gas cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; Y. Nakata; H. Yamada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2009), 2009年09月16日
      • Etching of Metallic Materials with Cl2 Gas Cluster Ion Beam
        T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2009), 2009年09月16日
      • Damage evaluation of polymer materials irradiated with Ar cluster ion beams
        Y. Yamamoto; K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; J. Matsuo
        16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2009), 2009年09月16日
      • Analysis of organic semiconductor multilayers with Ar cluster SIMS
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月15日
      • Damage evaluation of organic samples under large Ar cluster ion bombardment
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • Evaluation of optical properties in organic films with irradiation of cluster ion beams
        M. Hada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • Size effects of sputtering yields with large cluster ion beams
        K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • Matrix-assisted Molecular Emission under MeV Ion Bombardment
        Y. Nakata; H. Yamada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • Wet-SIMS with Swift Heavy Ions for Biological Applications
        Y. Nakata; H. Yamada; J. Tamura; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • MeV-Energy Probe SIMS Imaging of Pretreated Animal Cells
        H. Yamada; Y. Nakata; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2009年09月14日
      • Study of atomic mixing and migration by low-energy ion irradiation using MEIS and MD simulation
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        19th Ion Beam Analysis, 2009年09月07日
      • MeV-Energy Probe SIMS Imaging of Major Components in Washed
        H. Yamada; Y. Nakata; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        Etched or Fractured Animal Cells, 2009年09月07日
      • Material processing and evaluation with cluster ion beam
        J. Matsuo; H. Yamada; K. Ichiki; M. Hada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki
        10th International Symposium on Sputtering & Plasma Process, 2009年07月08日, 招待有り
      • Stress Measurement of Carbon Cluster implanted layers with in-plane Diffraction Technique
        J. Matsuo; K. Ichiki; M. Hada; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; T. Nagayama; M. Tanjo
        9th International Workshop on Junction Technology, 2009年06月12日
      • Molecular dynamics study of surface modification with large cluster ion impact
        T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        2009 MRS spring meeting, 2009年04月16日
      • Size-selected high density large gas cluster ion beam irradiation
        K. Ichiki; S. Ninomiya; M. Hada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        2009 MRS spring meeting, 2009年04月16日
      • Low Damage Etching of Polymer Materials for Depth Profile Analysis Using Large Ar Cluster Ion Beam
        S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The International workshop for Surface Analysis and Standardization '09, 2009年03月18日
      • Study of density effect of large gas cluster impact by molecular dynamics simulations
        ? T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        9th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2009年03月12日
      • High-speed processing with Cl2 cluster ion beam
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsu
        9th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2009年03月12日
      • SIMS depth profiling of organic films with Ar cluster ion beams
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; H. Yamada; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        9th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2009年03月12日
      • Size-selected High Density Large Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        ?? K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月11日
      • Etching Characteristics with Ar-Cl2 Gas Mixed Cluster Ion Beam
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月11日
      • Ion beam processing and characterization for organic and biological materials
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; H. Yamada; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月10日
      • SIMS Depth Profiling of Organic Materials with Ar Cluster Ion Beam
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月10日
      • A Processing Technique of Cell Surface Using Cluster Ion Beam for Imaging Mass Spectrometry
        ??; H. Yamada; K. Ichiki; Y. Nakata; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月10日
      • Computer Simulations of Glancing-Angle Large Gas Cluster Impact
        ? T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        The IUMRS International Conference in Asia, 2008年12月10日
      • Molecular Depth Profiling for Soft Materials by using Size-Selected Large Cluster Ions
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; H. Yamada; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Aoki; T. Seki
        AVS 55th International Symposium, 2008年10月22日
      • Study of density effect of large gas cluster impact
        ? T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        9th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids, 2008年10月13日
      • Study of crater formation process with cluster ion impact
        ? T. Aoki; T. Seki; S. Ninomiya; K. Ichiki; J. Matsuo
        16th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2008年09月03日
      • High-speed processing with Cl2 cluster ion beam
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        16th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2008年09月03日
      • The emission process of secondary ions from solids with large gas cluster ions
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        23rd International Conference on Atomic Collisions in Solids, 2008年08月17日
      • Imaging Mass Spectrometry with Nuclear Microprobes for Biologic Applications
        ??; Y. Nakata; H. Yamada; Y. Honda; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        11th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications, 2008年07月22日
      • MD Study of Damage Accumulation Process With Poly-atomic Cluster Implantation
        ? T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        17th International Conference on Ion Implantation Technology, 2008年06月12日
      • Investigation of Damage with Cluster Ion Beam Irradiation
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        17th International Conference on Ion Implantation Technology, 2008年06月12日
      • Computer modeling of cluster ion implantation prosess
        ? T. Aoki; T. Seki; J. Matsuo
        8th International Workshop on Junction Technology, 2008年05月16日, 招待有り
      • High-rate and low-damage etching of organic materials with large gas cluster ions
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; P. Matthieu; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        21st Annual Workshop on SIMS, 2008年05月15日
      • High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        MRS-J 2007 Symposium, 2007年12月09日
      • Low damage etching and SIMS depth profiling with large Ar cluster ions
        ??; S. Ninomiya; J. Matsuo; K. Ichiki; H. Yamada; Y. Nakata; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki
        MRS-J 2007 Symposium, 2007年12月09日
      • SIMS Analysis of Biological Mixtures with Fast Heavy Ion Irradiation
        ??; Y. Honda; Y. Nakata; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        MRS-J 2007 Symposium, 2007年12月07日
      • High-Speed Nano-Processing with Reactive Cluster Ion Beam”
        ?? T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2007年11月09日
      • Ionization and low damage etching of soft materials with slow Ar cluster ions
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology, 2007年11月09日
      • The effect of incident velocity on secondary cluster ion emission from Si bombarded with large Ar cluster ions
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; Y. Honda; T. Seki; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年11月01日
      • High sputtering yields of organic compounds by large gas cluster ions
        ?? K. Ichiki; S. Ninomiya; Y. Nakata; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年11月01日
      • Nonlinear effects of secondary ion yields emitted from Si by Ar cluster ion beam irradiation
        ?? K. Ichiki; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年11月01日
      • Challenges and prospects for cluster SIMS
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; Y. Nakata; K. Ichiki; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年10月30日, 招待有り
      • MD simulation study of the sputtering process by high-energy gas cluster impact
        ? T. Aoki; T. Seki; S. Ninomiya; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年10月29日
      • A Fragment-free ionization technique for organic mass spectrometry with large Ar cluster ions
        ??; S. Ninomiya; Y. Nakata; Y. Honda; K. Ichiki; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年10月29日
      • Yield Enhancement of Molecular Ions with MeV-Ion Induced Electronic Excitation
        ??; Y. Nakata; Y. Honda; S. Ninomiya; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        The 16th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2007年10月29日
      • Fragment-Free Mass Spectrometry for Bio-molecular Surfaces with Size Selected Cluster SIMS
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Aoki; T. Seki
        AVS 54th International Symposium & Exhibition, 2007年10月16日
      • Nano-processing with gas cluster ion beams
        ?? T. Seki
        15th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, 2007年09月30日, 招待有り
      • Cluster Ion Implantation ?Prospects and Challenges-
        ?? J. Matsuo; T. Aoki; T. Seki
        7th International Workshop on Junction Technology, 2007年06月08日, 招待有り
      • MD Study of Damage Structure with Poly-atomic Boron Cluster Implantation
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Aoki; T. Seki
        7th International Workshop on Junction Technology, 2007年06月08日
      • Cluster size effect on secondary ion emission
        ?? J. Matsuo; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Aoki; T. Seki
        IUVSTA Workshop, 2007年04月23日, 招待有り
      • The effect of incident velocity on secondary ion emission from Si and Arginine with large Ar cluster ions
        ??; S. Ninomiya; Y. Nakata; K. Ichiki; Y. Honda; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        IUVSTA Workshop, 2007年04月23日
      • The Effect of Incident Cluster Ion Size on Secondary Ion Yields Produced from Si
        ??; S. Ninomiya; K. Ichiki; Y. Nakata; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        MRS-J 2006 Symposium, 2006年12月09日
      • Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere
        ?? Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        7th Workshop on Advanced Quantum Beam and Cluster Ion Beam Process Technology, 2006年11月06日
      • The effect of incident cluster ion size on secondary ion yields emitted from Si
        ??; Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        7th Workshop on Advanced Quantum Beam and Cluster Ion Beam Process Technology, 2006年11月06日
      • Surface Processing with High-Energy Reactive Gas Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        7th Workshop on Advanced Quantum Beam and Cluster Ion Beam Process Technology, 2006年11月06日
      • Unique characteristics of oblique irradiation of gas cluster ion beam
        ?? A. Suzuki; E. Bourelle; A. Sato; T. Seki; J. Matsuo
        15th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2006年09月18日
      • High-speed processing with high-energy SF6 cluster ion beam
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        15th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2006年09月18日
      • Energy Distribution of High-Energy Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        19th International Conference on the Application of Accelerators in Research & Industry, 2006年08月20日
      • Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere
        ?? Kazuya Ichiki; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        22th International Conference on Atomic Collisions in Solids, 2006年07月21日
      • Measurements of secondary ion emitted from organic compounds bombarded with large gas cluster ions
        ??; Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        22th International Conference on Atomic Collisions in Solids, 2006年07月21日
      • The effect of incident cluster ion energy and size on secondary ion yields emitted from Si
        ??; Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Yoshihiko Nakata; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        22th International Conference on Atomic Collisions in Solids, 2006年07月21日
      • Novel SIMS with unique ion beams
        ?? Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        9th International Symposium on SIMS and Related Techniques based on Ion-Solid Interactions, 2006年07月20日
      • Size Effects on Cluster Ion Beam Process
        ?? Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Toshio Seki; Takaaki Aoki
        16th International Conference on Ion Implantation Technology, 2006年06月11日
      • High-Speed and Precise Nano-Processing with Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        16th International Conference on Ion Implantation Technology, 2006年06月11日
      • Biomaterial Analysis with Large Ar Cluster Ions
        ?? Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Yoshihiko Nakata; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        19th Annual Workshop on SIMS, 2006年05月16日
      • Cluster dependence of Secondary Ion Emission
        ?? Jiro Matsuo; Satoshi Ninomiya; Kazuya Ichiki; Takaaki Aoki; Toshio Seki
        19th Annual Workshop on SIMS, 2006年05月16日
      • Surface Processing with High-Energy Gas Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        6th Workshop on Advanced Quantum Beam and Cluster Ion Beam Process Technology, 2005年09月26日
      • Secondary ion measurements for oxygen cluster ion SIMS
        ??; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        The 15th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2005年09月12日
      • High-intensity Si cluster ion emission from a silicon target bombarded with large Ar cluster ions
        ??; Satoshi Ninomiya; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo
        The 15th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, 2005年09月12日
      • Surface Processing with High-Energy Gas Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        14th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, 2005年09月04日
      • Low Damage Smoothing of Magnetic Materials using Off-normal Gas Cluster Ion Beam Irradiation
        ?? S. Kakuta; S. Sasaki; K. Furusawa; T. Seki; T. Aoki; J. Matsuo
        14th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, 2005年09月04日
      • Study of Sputtering Process with Large Gas Cluster Ion Impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Satoshi Ninomiya; Jiro Matsuo
        14th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, 2005年09月04日
      • New process technique for photonic crystals using gas cluster ion beam
        ? E.Bourelle; A.Suzuki; A.Sato; T.Seki; J.Matsuo
        PECS-VI: International Symposium on Photonic and Electromagnetic Crystal Structures, 2005年06月19日
      • High-speed Processing with Reactive Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        2004 MRS Fall Meeting, 2004年11月29日
      • Development of 1mA Cluster Ion Beam source
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        15th International Conference on Ion Implantation Technology, 2004年10月24日
      • Energy Distributions of Highe Current Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        18th International Conference on the Application of Accelerators in Research & Industry, 2004年10月10日
      • Cluster Size Depencence of Sputtering Yield by Cluster Ion Beam Irradiation
        ?; Toshio Seki
        5th Workshop on Cluster Ion Beam and Advanced Quantum Beam Process Technology, 2004年09月30日
      • ITO Surface Smoothing with Argon Cluster Ion Beam
        ? Claire Heck; Toshio Seki; Nobu Tanigaki; T. Hiraga; Jiro Matsuo
        14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2004年09月05日
      • Cluster Size Depencence of Sputtering Yield by Cluster Ion Beam Irradiation
        ? Toshio Seki; Takeshi Murase; Jiro Matsuo
        14th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2004年09月05日
      • Development of the Large Current Cluster Ion Beam Technology
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        International Symposium on Novel Materials Processing by Advanced Electromagnetic Energy Sources, 2004年03月19日
      • High-speed Machining with Cluster Ion Beams
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        2003 MRS Fall Meeting, 2003年12月01日
      • Highly Accurate Machining of Silicon through Thin Film Masks with High Etching Selectivity using Gas Cluster Ion Beam
        Emmanuel Bourelle; Atsuko Suzuki; Akinobu Sato; Toshio Seki; Jiro Matsuo
        4th Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2003年09月10日
      • Development of the Large Current Cluster Ion Beam Technology
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo
        4th Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2003年09月10日
      • Surface Smoothing with Large Current Cluster Ion Beam
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan Takaoka
        European Materials Research Society Spring Meeting, 2003年06月10日
      • Threshold Energy for Generating Damage with Cluster Ion Irradiation
        ? Toshio Seki; Takaaki Aoki; Atsuko Nakai; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        2002 MRS Fall Meeting, 2002年12月02日
      • High Current Cluster Ion Beam Source
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        17th International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry, 2002年11月12日
      • Molecular Dynamics Simulation of Damage Formation by Large Cluster Ion Impact
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan Takaoka
        17th International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry, 2002年11月12日
      • Development of The Large Current Cluster Ion Beam Technology
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        14th International Conference on Ion Implantation Technology, 2002年09月22日
      • Development of the Large Current Cluster Ion Beam Technology
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka
        3rd Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2002年09月10日
      • Titanium-Dioxide Film Formation Using Gas Cluster Ion Beam Assisted Deposition Technique
        ??; Keisuke Omoto; Osamu Nakatsu; Jiro Matsuo; Toshio Seki; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        3rd Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2002年09月10日
      • Si Smoothing Model with Cluster Ion Beam and Its Application
        ??; Atsuko Nakai; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan Takaoka
        3rd Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2002年09月10日
      • Study of Cluster-size Effect on Damage Formation
        Takaaki Aoki; Toshio Seki; Atsuko Nakai; Jiro Matsuo; Gikan Takaoka
        3rd Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2002年09月10日
      • Surface smoothing of CVD-diamond wafer by mechanical scanned cluster ion beam
        ?? Ryuichi Matsuki; Akio Nishiyama; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        13th international conference on ion beam modification of materials, 2002年09月02日
      • Modeling of surface smoothing process by cluster ion beam irradiation
        ??; Atsuko Nakai; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H.Takaoka; Isao Yamada
        13th international conference on ion beam modification of materials, 2002年09月02日
      • Titanium-dioxide film formation using gas cluster ion beam assisted deposition technique
        Osamu Nakatsu; Keisuke Omoto; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        13th international conference on ion beam modification of materials, 2002年09月02日
      • Fundamental aspect of cluster ion collision and its application to industrial processing
        ?? Jiro Matsuo; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Noriaki Toyoda; Isao Yamada
        13th international conference on ion beam modification of materials, 2002年09月02日
      • Generation of the Large Current Cluster Ion Beam
        ? Toshio Seki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        13th International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 2002年09月01日
      • Development of the large current cluster ion beam technology
        ?; Toshio Seki
        Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2001年10月15日
      • Ar Cluster Ion Bombardment Effects on Semiconductor Surfaces
        ? Toshio Seki; Kazumichi TSUMURA; Takaaki Aoki; Jiro MATSUO; Gikan TAKAOKA; Isao YAMADA
        Conference of 2000 MRS Fall Meeting (Symposium O), 2000年12月
      • STM study of nucleation processes during ion assisted MBE growth of Ge on Si surfaces
        ?? Jiro Matsuo; Toshio Seki; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        Materials Research Society 2000 Fall Meeting, 2000年11月27日
      • STM Observation of Si Surfaces Irradiated with Ar Cluster Ion
        ?; Toshio Seki
        The 16th International Conference on the Application of Accelerators in Reserach and Industry (CAARI 2000), 2000年11月
      • Surface collision of cluster ions and its applications to material processing
        Jiro Matsuo; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Gikan Takaoka
        Workshop on Cluster Ion Beam Process Technology, 2000年10月12日
      • STM Observation of Surface Vacancies Created by Ion Impact
        ? Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        The 18th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-18), 1999年08月
      • UHV-STM Study on Ion Assisted Deposition
        ???; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        The 14th International Conference on Ion Beam Analysis / 6th European Conference on “Accelerators in Applied Research and Technology (IBA-14/ECAART-6), 1999年06月
      • Size Dependence on Non-linear Characteristics of Cluster Ion Impact by MD Simulations
        ???; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Zinetulla Insepov; Isao Yamada
        4th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids, 1998年09月
      • STM Observation of the Annealing Process of the Damage by Ion Impact
        ???; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        XIIth International Conference on Ion Implantation Technology (IIT'98), 1998年06月
      • Non-Linear Processes in Cluster Ion Bombardment on Solid Surfaces
        ????; Daisuke Takeuchi; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        The 4th IUMRS International Conference in Asia (Symp. H:'Materials Synthesis and Modification by Ion and/or Laser Beam'), 1997年09月16日
      • Molecular Dynamics Simulation of A Carbon Cluster Ion Impacting on A Carbon Surface
        ???; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Jiro Matsuo; Zinetulla Insepov; Isao Yamada
        The 4th IUMRS International Conference in Asia (Symp. H:'Materials Synthesis and Modification by Ion and/or Laser Beam'), 1997年09月16日
      • STM Observation of Surfaces Irradiated with Carbon Cluster Ions
        ???; Toshio Seki; Takaaki Aoki; Masahiro Tanomura; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        The 4th IUMRS International Conference in Asia (Symp. H:'Materials Synthesis and Modification by Ion and/or Laser Beam'), 1997年09月16日
      • Molecular Dynamics Simulation of Surface Modification Process by Cluster Ion Impact
        ???; Takaaki Aoki; Toshio Seki; Masahiro Tanomura; Jiro Matsuo; Zinetulla Insepov; Isao Yamada
        Conference of 1997 MRS Fall Meeting (Symposium KK), 1997年09月
      • Size Dependence of Bombardment Characteristics Produced by Cluster Ion Beams
        ???; Toshio Seki; Masahiro Tanomura; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Isao Yamada
        Conference of 1997 MRS Fall Meeting (Symposium KK), 1997年09月
      • STM Observation of Surfaces Irradiated with Ar Cluster Ions
        ???; Toshio Seki; Tsuyoshi Kaneko; Daisuke Takeuchi; Takaaki Aoki; Jiro Matsuo; Gikan H. Takaoka; Isao Yamada
        The Joint International Symposium of the '96 MRS-J Conference (Symp. N:'Materials Synthesis and Modification by Ion and/or Laser Beam') and the 3rd Ion Enginnering Conference, 1996年05月

      書籍等出版物

      • 最新実用真空技術総覧
        最新実用真空技術総覧編集委員会, 分担執筆, 第3編 薄膜 第8章 イオンビームエッチング 第1～2節
        エヌ・ティー・エス, 2019年02月
        京大の蔵書を調べる：
      • クラスターイオンビーム基礎と応用
        瀬木 利夫, 分担執筆, 2章全体および3章の一部
        日刊工業新聞社, 2006年, 査読無し

      産業財産権

      • 特許第5575648号, 特願2010-525664, クラスタ噴射式加工方法
        小池 国彦; 妹尾 武彦; 吉野 裕; 東 周平; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 二宮 啓
      • 特開2014-049530, 特願2012-189770, クラスタによる加工方法
        吉野 裕; 小池 国彦; 妹尾 武彦; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特開2013-175681, 特願2012-040647, 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び真空処理装置
        松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡; 土橋 和也; 井内 健介; 斉藤 美佐子
      • 特開2013-046001, 特願2011-184470, クラスタによる加工方法
        小池 国彦; 妹尾 武彦; 吉野 裕; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特開2012-124512, 特願2012-020898, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特開2012-104858, 特願2012-020899, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の加工方法
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特開2012-104859, 特願2012-020900, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特許第4654635号, 特開2005-100971, 特願2004-243092, クラスターイオン照射装置及びそれを用いた磁気ヘッドの製造方法
        大野 茂; 佐々木 新治; 古澤 賢司; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特許第4636862号, 特開2006-156065, 特願2004-343294, ガスクラスターイオンビーム照射装置
        大野 茂; 佐々木 新治; 古澤 賢司; 松尾 二郎; 青木 学聡; 瀬木 利夫
      • 特許第4515931号, 特開2006-216600, 特願2005-025215, 薄膜半導体の製造方法およびその製造方法により製造された薄膜トランジスタ
        井上 満夫; 宮川 修; 坂本 孝雄; 小川 哲也; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • WO2010-021265, JP2009064131, クラスタ噴射式加工方法、半導体素子、微小電気機械素子、及び、光学部品
        小池 国彦; 妹尾 武彦; 吉野 裕; 東 周平; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 二宮 啓
      • WO2008-054014, JP2007071460, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • WO2008-053879, JP2007071102, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • WO2008-054013, JP2007071459, ガスクラスターイオンビームによる固体表面の加工方法
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特許第4113478号, 特開2005-062664, 特願2003-295054, 2次元フォトニック結晶光デバイスの製造方法
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
      • 特許第3994111号, 特願2005-514263, 固体表面の平坦化方法及びその装置
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
      • WO2006-123739, JP2006309932, 固体表面の平坦化方法及びその装置
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫
      • 特許第3816484号, 特開2005-175369, 特願2003-416438, ドライエッチング方法
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
      • 特開2005-175369, 特願2003-416438, ドライエッチング方法及びその方法を用いて作製されたフォトニック結晶素子
        鈴木 晃子; 佐藤 明伸; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
      • WO2005-031838, JP2004014275, 固体表面の平坦化方法及びその装置
        佐藤 明伸; 鈴木 晃子; ブーレル エマニュエル; 松尾 二郎; 瀬木 利夫; 青木 学聡
      • 特願特願 2008-210140, クラスター照射式加工方法
        小池国彦; 妹尾武彦; 吉野裕; 東周平; 岩谷; 松尾二郎; 瀬木利夫; 二宮啓; 京都大
      • 特開特開2005-175369, ドライエッチング方法及びその方法を用いて作成されたフォトニック結晶素子
        佐藤明伸; 鈴木晃子; ブーレルエマニュエル(日本航空電子工業株式会社; 松尾二郎; 瀬木利夫; 青木学聡
      • 特開国際公開 WO2005/031838, 固体表面の平坦化方法およびその装置
        佐藤明伸; 鈴木晃子; ブーレルエマニュエル; 航空電子工業株式会社; 松尾二郎; 瀬木利夫; 青木学聡
      • 特開特開2005-62664, 2次元フォトニック結晶光デバイスおよびその製造方法
        佐藤明伸; 鈴木晃子; ブーレルエマニュエル(日本航空電子工業株式会社; 松尾二郎; 瀬木利夫; 青木学聡

      受賞

      • 2016年
        The 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016), Best Presentation Award
      • 1998年
        XIIth International Conference on Ion Implantation Technology (IIT'98), Best Student Award of Ion Implantation Conference

      外部資金：科学研究費補助金

      • 大気圧SIMS法の開発とその固液界面評価への応用
        基盤研究(A)
        京都大学
        松尾 二郎
        自 2017年04月01日, 至 2021年03月31日, 完了
        固液;2次イオン;高速重イオン;クラスター;大気圧SIMS法;SIMS;イオン;表面分析;固液界面;二次イオン;大気圧分析;質量分析
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H01058/
      • 巨大複合クラスターによる高速・無損傷表面処理加工技術の開発
        基盤研究(B)
        京都大学
        瀬木 利夫
        自 2015年04月01日, 至 2018年03月31日, 完了
        クラスター;イオンビーム;中性ビーム;反応性エッチング;ナノプロセス;表面処理;複合ビーム
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H04157/
      • 巨大クラスターイオンによる機能性有機材料評価技術の研究
        基盤研究(A)
        京都大学
        松尾 二郎
        自 2011年04月01日, 至 2014年03月31日, 完了
        SIMS;クラスターイオン;分析;バイオ;高分子;クラスター;イオン;二次イオン
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23246012/
      • 多機能複合クラスタービームを用いた新規ナノ材料創成・加工技術基盤の開発
        若手研究(B)
        京都大学
        瀬木 利夫
        自 2010年04月01日, 至 2013年03月31日, 完了
        クラスター;量子ビーム科学;ナノプロセス;複合ビーム;中性ビーム
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22760557/
      • ナノスケールで構造制御した多元素複合クラスタービーム形成技術の研究
        若手研究(A)
        京都大学
        瀬木 利夫
        自 2006年04月01日, 至 2009年03月31日, 完了
        クラスター;微粒子;量子ビーム科学;ナノ構造材料;アルゴン;ノズル;金属材料被覆;金属材料被服
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18681014/

      外部資金：その他

      • 次世代量子ビーム利用ナノ加工技術
        経済産業省ナノテクプログラム
        自 2002年, 至 2006年
        山田公
      • 時間・空間スケーラビリティーを備えた統合原子シミュレーションの研究
        JST原子力システム研究開発事業
        自 2006年, 至 2008年
        青木学聡
      • ソフトナノマテリアル３Ｄ分子イメージング法の開発
        JST戦略的創造研究推進事業ＣＲＥＳＴ
        自 2007年, 至 2012年
        松尾二郎
      • 反応性超音速ナノ粒子ビームによる高精度異方性エッチング技術の研究
        科学技術振興機構　企業研究者活用型基礎研究推進事業
        自 2009年12月, 至 2010年11月
        吉野裕
      • 高速重イオンマイクロビームによる先進的分子イメージング法の研究
        JST 戦略的国際科学技術協力推進事業（日本－クロアチア研究交流課題）
        自 2010年09月, 至 2014年03月
        松尾二郎
      • 非イオン化クラスタービーム技術を利用したSi深堀エッチング技術の実用化開発
        JST研究成果最適展開支援プログラムA-STEP ハイリスク挑戦タイプ
        自 2011年, 至 2013年
        小池国彦
      • クラスターイオンを用いる固液界面評価技術の開発
        JST研究成果展開事業（先端計測分析技術・機器開発プログラム）
        自 2014年12月01日, 至 2018年03月31日
        松尾　二郎
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        Last Updated :2025/05/27

        教育

        担当科目

        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          量子物性基礎論
          5148, 後期, 工学部, 2
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          量子物性基礎論
          5148, 後期, 工学部, 2
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          量子物性基礎論
          5148, 後期, 工学部, 2
        • 量子物性基礎論
        • 自 2011年04月, 至 2012年03月
          量子物性基礎論（原）
          後期, 工学部
        • 自 2012年04月, 至 2013年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2013年04月, 至 2014年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          量子物性基礎論
          後期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          量子物性基礎論（原）
          後期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          量子物性基礎論（原）
          後期, 工学部
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          Last Updated :2025/05/27

          大学運営

          全学運営(役職等)

          • 自 2021年08月12日
            次期教育コン検討WG　メンバー
          • 自 2021年10月01日, 至 2022年09月30日
            教員DB基盤仕様検討ＷＧ メンバー
          • 自 2007年05月01日, 至 2011年03月31日
            教育用コンピュータシステム運用委員会委員
          • 自 2007年05月01日, 至 2011年03月31日
            汎用コンピュータシステム運用委員会委員
          • 自 2011年04月01日, 至 2017年03月31日
            ＫＵＩＮＳ利用負担金検討委員会 委員
          • 自 2016年04月01日, 至 2022年03月31日
            教育システム運用委員会 委員
          • 自 2016年04月01日, 至 2022年03月31日
            基盤システム運用委員会 委員
          • 自 2020年10月01日, 至 2021年09月30日
            教員DB基盤仕様検討ＷＧ メンバー

          部局運営(役職等)

          • 工学研究科附属情報センター運営委員会　委員
          • 自 2024年04月01日, 至 2026年03月31日
            工学研究科・工学部図書委員会　委員
          • 自 2017年04月01日, 至 2026年03月31日
            情報通信システム委員会　委員
          • 工学研究科附属情報センター運営委員会　委員
          • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
            工学研究科・工学部図書委員会　委員
          • 工学研究科附属情報センター運営委員会　委員
          • 自 2022年04月01日, 至 2024年03月31日
            情報環境機構　基盤システム運用委員会　委員
          • 自 2022年04月01日, 至 2024年03月31日
            情報環境機構　教育システム運用委員会　委員
          • 自 2016年09月01日
            工学研究科・工学部情報セキュリティ幹事会　情報セキュリティ副技術責任者
          • 自 2017年04月01日
            工学研究科・工学部情報通信システム委員会　委員
          • 自 2007年05月01日
            工学研究科附属情報センター運営委員会　委員
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            Last Updated :2025/05/27

            学術・社会貢献

            委員歴

            • 自 2025年04月, 至 2027年03月
              組織委員長, SISS国際会議組織委員会
            • 自 2024年04月, 至 2026年03月
              論文賞委員会委員, 公益社団法人応用物理学会
            • 自 2024年04月, 至 2025年03月
              科学技術専門家ネットワーク・専門調査員, 文部科学省 科学技術・学術政策研究所
            • 自 2023年09月, 至 2026年03月
              表面化学分析技術国際標準化委員会委員, 一般社団法人表面化学分析技術国際標準化委員会(JSCA)
            • 自 2023年11月, 至 2024年09月
              JIS原案作成委員会委員, 一般社団法人表面化学分析技術国際標準化委員会(JSCA)
            • 自 2020年04月, 至 2025年03月
              委員, SISS国際会議実行委員会
            • 自 2020年04月, 至 2025年03月
              学術講演会プログラム編集委員, 応用物理学会
            • 自 2020年10月, 至 2024年09月
              実行委員, IBA&PIXE 2023合同国際会議
            • 自 2023年02月, 至 2025年12月
              プログラム委員, ドライプロセス国際シンポジウム組織委員会
            • 自 2022年02月, 至 2023年10月
              プログラム委員, ALC’22国際会議
            • 自 2020年10月, 至 2023年09月
              プログラム委員, REI-21国際会議
            • 自 2022年10月, 至 2023年03月
              第70回春季学術講演会シンポジウム「イオンビーム分析の最新動向」 代表世話人, 応用物理学会
            • 自 2020年04月, 至 2022年03月
              機関誌企画・編集委員会委員, 公益社団法人応用物理学会
            • 自 2018年10月, 至 2020年03月
              実行委員, SIMS-22国際会議
            • 自 2017年03月, 至 2019年12月
              実行委員, 23rd International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions (IISC-23)
            • 自 2018年05月, 至 2018年12月
              第１９回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会 実行委員長, 応用物理学会・薄膜表面物理分科会
            • 自 2000年, 至 2011年
              事務局, クラスターイオンビームテクノロジーワークショップ
            • 自 2009年07月, 至 2010年12月
              事務局・出版委員, イオン注入技術国際会議(IIT2010)

            学術貢献活動

            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2020年秋期 第80回 応用物理学学術講演会, 自 2020年09月08日, 至 2020年09月08日
            • 真空技術基礎講習会 実習指導講師
              その他
              日本真空協会関西支部, 自 2013年, 至 2019年
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2018年春季 第65回 応用物理学関係連合講演会, 自 2018年03月20日, 至 2018年03月20日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2017年秋期 第78回 応用物理学学術講演会, 自 2017年09月06日, 至 2017年09月06日
            • 和文機関誌『応用物理』外部記者
              その他
              応用物理学会, 自 2014年04月01日, 至 2016年03月31日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2015年秋期 第76回 応用物理学学術講演会, 自 2015年09月14日, 至 2015年09月14日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2014年秋期 第75回 応用物理学学術講演会, 自 2014年09月18日, 至 2014年09月18日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2012年秋期 第73回 応用物理学学術講演会, 自 2012年09月13日, 至 2012年09月13日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会, 自 2012年03月17日, 至 2012年03月17日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2011年秋期 第72回 応用物理学学術講演会, 自 2011年09月01日, 至 2011年09月01日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 自 2011年03月25日, 至 2011年03月25日
            • 真空技術基礎講習会 実習指導講師
              その他
              日本真空協会関西支部, 自 2011年, 至 2011年
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2010年秋期 第71回 応用物理学学術講演会, 自 2010年09月15日, 至 2010年09月15日
            • ビーム・光励起表面反応 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2010年春期 第57回 応用物理学関係連合講演会, 自 2010年03月09日, 至 2010年03月09日
            • イオンビーム一般 座長
              パネル司会・セッションチェア等
              2009年秋期 第70回 応用物理学学術講演会, 自 2009年09月08日, 至 2009年09月08日
            • 真空技術基礎講習会 実習指導講師
              その他
              日本真空協会関西支部, 自 2008年, 至 2009年

            社会貢献活動

            • 株式会社SUMCO
              その他
              -, 自 2019年08月15日, 至 2019年09月30日
            • 巨大ガスクラスタービームによる表面クリーニングと加工
              その他
              応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 第216回研究集会, 自 2019年02月28日, 至 2019年02月28日
            • 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析
              その他
              「量子ビームによるナノ構造形成とその医療・バイオ応用技術」調査専門委員会 公開研究会, 自 2018年03月28日, 至 2018年03月28日
            • ClF3–ArガスクラスターインジェクションによるSiの斜めエッチング
              その他
              応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会 第199回 研究集会, 自 2017年02月17日, 至 2017年02月17日
            • SIMS技術の基礎と有機材料分析への展開について
              その他
              日本学術振興会第132委員会第２２５回研究会, 自 2017年02月03日, 至 2017年02月03日

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