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平井 義和

ヒライ ヨシカズ

工学研究科 附属工学基盤教育研究センター 講師

平井 義和
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    Last Updated :2025/04/23

    基本情報

    学部兼担

    • 工学部
    • 工学部

    所属学協会

    • 自 2023年05月, 至 現在
      量子生命科学会
    • 化学とマイクロ・ナノシステム学会
    • エレクトロニクス実装学会
    • THE MATERIALS RESEARCH SOCIETY
    • IEEE
    • 日本機械学会
    • 電気学会
    • 応用物理学会

    学位

    • 修士（工学）(立命館大学)
    • 博士（工学）(京都大学)

    出身大学院・研究科等

    • 立命館大学, 大学院理工学研究科物質理工学専攻博士前期課程, 修了
    • 京都大学, 大学院工学研究科博士後期課程機械工学専攻, 修了

    経歴

    • 自 2021年09月, 至 現在
      京都大学, 大学院工学研究科 機械理工学専攻, 講師
    • 自 2013年05月, 至 2021年08月
      京都大学, 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻, 助教
    • 自 2014年08月, 至 2017年03月
      京都大学, 物質－細胞統合システム拠点, 連携助教
    • 自 2010年04月, 至 2013年04月
      京都大学, 学際融合教育研究推進センター, 特定助教
    • 自 2009年04月, 至 2010年03月
      京都大学, 先端医工学研究ユニット, 特定助教
    • 自 2007年04月, 至 2009年03月
      京都大学, 大学院工学研究科, 博士研究員
    • 自 2022年04月, 至 2023年03月
      京都大学, 高等研究院 物質－細胞統合システム拠点, 連携講師
    • 自 2021年09月, 至 現在
      京都大学 大学院工学研究科, 附属工学基盤教育研究センター, 講師

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    関連Webサイト

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      Last Updated :2025/04/23

      研究

      研究テーマ・研究概要

      • 研究テーマ

        小さな新機能デバイス：未知のしくみを最先端のナノマイクロデバイス技術と理論で科学する

      • 研究概要

        世界最先端・独自の研究データは、オリジナルのナノ・マイクロオーダーの微細加工技術やデバイス、それらを融合した先端計測技術から生じるものと考えて研究を行っています。創造的・独創的なナノ・マイクロシステムの研究開発に資する３次元微細加工と機械システム工学に基づいた設計・解析を主な基幹技術として、量子干渉効果を用いたチップスケール原子センサや医薬品開発・疾病機序解明における革新的なツールとして期待される生体組織チップ（Microphysiological Systems, Body on a Chip）など、幅広い分野の先端的な研究を遂行しています。

      研究キーワード

      • １分子科学
      • ナノマイクロ生体システム
      • ナノマイクロバイオシステム
      • ナノマイクロセンサ
      • MEMS／NEMS
      • ナノマイクロ加工

      研究分野

      • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 計測工学
      • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, バイオ機能応用、バイオプロセス工学
      • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学）, 設計工学
      • ナノテク・材料, ナノバイオサイエンス
      • ナノテク・材料, ナノマイクロシステム

      論文

      • Microfluidics-guided fluorescent nanodiamond assembly method for highly sensitive thermometry
        Keita Saikawa; Masaya Zetsu; Daiki Ueshima; Taiichi Shikama; Ken-ichiro Kamei; Osamu Tabata; Yoshikazu Hirai
        Sensors and Actuators A: Physical, 2025年05月
      • カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2021年02月26日
      • 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測
        霜降 真希; 吉村 光葵; 文 和彦; 平井 義和; Amit Banerjee; 土屋 智由
        年次大会, 2021年
      • 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2020年08月26日
      • 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイス設計
        吉村 光葵; 文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由
        年次大会, 2020年
      • 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
        文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由
        年次大会, 2020年
      • 静電駆動MEMSデバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由
        年次大会, 2020年
      • 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の近接場放射熱伝達の測定
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2019年09月04日
      • SEM中ギャップ間隔制御，電流計測のためのへき開創製ナノギャップデバイス
        文 和彦; 霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2019年
      • ナノギャップ間熱輸送特性評価のための間隔制御MEMSデバイス
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年
      • 顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
        霜降 真希; 森 保彰; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2018年
      • Gravity and Film Stress Analysis for Mems Deformable Mirror with Electrostatic Piston Array
        Toshiyuki Tsuchiya; Toshiki Ema; Yoshikazu Hirai; Christopher Welham; Hideyuki Maekoba
        21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021, 2021年06月20日
      • Microfabrication of Alkali Vapor Cells with Lower the Outgassing and Temperature Utilizing Silicon 3D Structure
        Katsuo Nakamura; Yuichi Kimoto; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019年01月01日
      • Nanometer Order Separation Control of Large Working Area Nanogap Created by Cleavage of Single-Crystal Silicon Along {111} Planes Using a MEMS Device
        Masaki Shimofuri; Amit Banerjee; Jun Hirotani; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya
        Journal of Microelectromechanical Systems, 2023年02月, 査読有り
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      • Microchannel Fabrication Using A Photo-Patternable Adhesive Material for Recording Conformational Changes of KcsA Channel with the Diffracted X-ray Tracking Method
        Yoshikazu Hirai; Yasuaki Mori; Tomoki Tabuchi; Hirofumi Shimizu; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings, 2018年12月
      • Microfabrication of Embedding a Flexible Parylene-Based Microelectrode Array within Body-on-a-Chip
        Yoshikazu Hirai
        Proceedings, 2017年08月
        この論文にアクセスする：
      • Multilayered Microfluidic Device for Controllable Flow Perfusion of Gut-Liver on a Chip
        Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2021, 2021年06月20日
      • Highly Accurate Measurement of Trans-Epithelial Electrical Resistance in Organ-on-a-Chip
        Takashi Miyazaki; Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021年01月25日
      • Electrostatic Micro Mirror Array with Batch-Fabricated Torsion Beam of Silicon Nanowire
        Tomoya Nakamura; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020年01月
        この論文にアクセスする：
      • Heart-liver on a chip integrated with a microelectrode array to monitor extracellular field potentials of cardiomyocytes
        Dongxiao Zhang; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        MicroTAS 2020 - 24th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 2020年
      • Integrated gut-liver on a chip for modelling non-alcoholic fatty liver disease in vitro
        Jiandong Yang; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2019, 2019年
      • Fluidic-capacitor integrated microfluidic platform to mimic heart beating for generation of functional liver organoids
        Jiaxu Wu; Yoshikazu Hirai; Ken Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018, 2018年
      • Microfabrication of polydimethylsiloxane-parylene hybrid microelectrode array integrated into a multi-organ-on-a-chip
        張 東暁; 楊 建東; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 田畑 修; 土屋 智由
        Japanese Journal of Applied Physics, 2023年01月, 査読有り
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      • 高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
        合田 晴紀; 石田 尚之; 古田 幸三; 泉井 一浩; Fred van Keulen; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修; 平井 義和
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2022年11月
      • Integrated-gut-liver-on-a-chip platform as an in vitro human model of non-alcoholic fatty liver disease.
        Jiandong Yang; Yoshikazu Hirai; Kei Iida; Shinji Ito; Marika Trumm; Shiho Terada; Risako Sakai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Ken-Ichiro Kamei
        Communications biology, 2023年03月23日, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • 単結晶シリコン並列引張試験における集積化せん断型ひずみゲージによる荷重検出
        安田 莞司; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2017年
      • プラズマCVDによりDLCを全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響
        張 文磊; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2017年
      • せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
        安田 莞司; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2016年
      • サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験
        張 文磊; 上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2016年
      • (110)シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響
        上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会, 2016年
      • Effect of fabrication process on fracture strength and fatigue life of micromirrors made from single-crystal silicon
        Yuanlin Xia; Makoto Suzuki; Peidong Xue; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya
        International Journal of Fatigue, 2022年09月
        この論文にアクセスする：
      • Effect of alternating a-C:H multilayer full coating on fracture behavior of single-crystal silicon-based microstructure in tensile and toughness tests
        Yuanlin Xia; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya
        Materials Science and Engineering: A, 2021年10月
      • Gut-liver-axis microphysiological system for studying cellular fluidic shear stress and inter-tissue interaction
        Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Ken-ichiro Kamei
        Biomicrofluidics, 2022年07月, 査読有り
      • Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component
        Shun Kiyose; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Japanese Journal of Applied Physics, 2021年06月01日, 査読有り
      • Design strategy of electrode patterns based on finite element analysis in microfluidic device for Trans‐Epithelial Electrical Resistance (TEER) measurement
        Takashi Miyazaki; Yoshikazu Hirai; Ken‐ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electronics and Communications in Japan, 2021年06月, 査読有り
      • 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgan-on-a-Chipの設計法
        宮崎 貴史; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2021年, 査読有り
      • Fracture behavior of single-crystal silicon microstructure coated with stepwise bias-graded a-C:H film
        Yuanlin Xia; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya
        SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2021年01月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • マイクロ流体デバイス内の電流密度解析に基づいた経上皮電気抵抗測定用電極の設計法
        宮崎 貴史, 平井 義和, 亀井 謙一郎, 土屋 智由, 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2020年10月01日, 査読有り
      • Recapitulation of Human Embryonic Heartbeat to Promote Differentiation of Hepatic Endoderm to Hepatoblasts
        Koki Yoshimoto; Nicolas Minier; Jiandong Yang; Satoshi Imamura; Kaylene Stocking; Janmesh Patel; Shiho Terada; Yoshikazu Hirai; Ken-ichiro Kamei
        Frontiers in Bioengineering and Biotechnology, 2020年09月08日, 査読有り
      • Surface-enhanced Raman spectroscopy with gold nanoparticle dimers created by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2020年05月, 査読有り
      • Novel microfluidic device integrated with a fluidic-capacitor to mimic heart beating for generation of functional liver organoids
        Wu, J.; Hirai, Y.; Kamei, K.-I.; Tsuchiya, T.; Tabata, O.
        Electronics and Communications in Japan, 2019年10月, 査読有り
      • 心臓拍動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス
        呉 家旭; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2019年07月, 査読有り
      • Geometrical compensation for mode-matching of a (100) silicon ring resonator for a vibratory gyroscope
        Shu, Y.; Hirai, Y.; Tsuchiya, T.; Tabata, O.
        Japanese Journal of Applied Physics, 2019年06月, 査読有り
      • AFMリソグラフィで作製したナノ領域へのDNAオリガミの特異的固定
        山下 直輝; 朴 晟洙; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2019年05月, 査読有り
      • Fracture strength of silicon torsional mirror resonators fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC film
        Wenlei Zhang; Kazutaka Obitani; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2019年02月, 査読有り
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコンへき開ナノギャップ間の温度差測定
        霜降 真希; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        実験力学, 2019年01月, 査読有り
      • 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測
        土屋 智由; 鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修
        実験力学, 2019年01月, 査読有り
      • がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発
        植田 啓太; 萩原 健; 平井 義和; 近藤 純平; 井上 正宏; 土屋 智由; 亀井 謙一郎; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年
      • Parallel Tensile Testing of Single-crystal Silicon Microstructures with Integrated Piezoresistive Strain Gauges
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        SENSORS AND MATERIALS, 2018年09月, 査読有り
      • Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi), 2018年07月01日, 査読有り
      • Effect of substrate bias voltage on tensile properties of single crystal silicon microstructure fully coated with plasma CVD diamond-like carbon film
        Wenlei Zhang; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Applied Surface Science, 2018年06月15日, 査読有り
      • Tensile strength of Silicon Nanowires batch-fabricated into electrostatic MEMS testing device
        Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun-Ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        Applied Sciences (Switzerland), 2018年05月28日, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • A heuristic approach for actuator layout designs in deformable mirror devices based on current value optimization
        Yuto Yamaki; Yuki Sato; Kazuhiro Izui; Takayuki Yamada; Shinji Nishiwaki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        Structural and Multidisciplinary Optimization, 2018年03月23日, 査読有り
      • High-yield bridged assembly of ssDNA-modified SWCNT using dielectrophoresis
        Shiomi, Y.; Hirai, Y.; Tabata, O.; Tsuchiya, T.
        International Journal of Automation Technology, 2018年01月05日, 査読有り
      • Rhombic-Shaped Nanostructures and Mechanical Properties of 2D DNA Origami Constructed with Different Crossover/Nick Designs
        Zhipeng Ma; Yunfei Huang; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Do-Nyun Kim; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Yamada; Osamu Tabata
        Small, 2018年01月04日, 査読有り
      • 静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築
        宇野 亜季子; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌, 2018年, 査読有り
      • リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明
        稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2018年, 査読有り
      • 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価
        辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2018年
      • Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2017年11月, 査読有り
      • MEMS研究と応用の最新動向
        平井 義和
        表面技術, 2017年07月01日, 査読有り
      • Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design
        Zhipeng Ma; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Measurement and potential barrier evolution analysis of cold field emission in fracture fabricated Si nanogap
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Tensile test of a silicon microstructure fully coated with submicrometer-thick diamond like carbon film using plasma enhanced chemical vapor deposition method
        Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日, 査読有り
      • Integrated heart/cancer on a chip to reproduce the side effects of anti-cancer drugs in vitro
        Ken-ichiro Kamei; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Shinji Ito; Junko Satoh; Atsuko Oka; Toshiyuki Tsuchiya; Yong Chen; Osamu Tabata
        RSC ADVANCES, 2017年, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデル Body on a Chi
        亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修
        バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2017年
      • 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価
        辻 勇亮; 中野 優; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017年
      • Characterization of alkali-metal vapor cells fabricated with an alkali-metal source tablet
        Kazuhiro Ban; Yoshikazu Hirai; Kazuya Tsujimoto; Akira Terao; Natsuhiko Mizutani; Tetsuo Kobayashi; Osamu Tabata
        JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2016年11月, 査読有り
      • Investigation of the Self-Assembly Process for Discrete and Polymerized Bivalve DNA Origami Structures
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 2016年06月, 査読有り
      • Constructing higher order DNA origami arrays using DNA junctions of anti-parallel/parallel double crossovers
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Naoki Yamashita; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2016年06月, 査読有り
      • 培養細胞を用いたスクリーニング系の構築、毒性評価 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発
        亀井 謙一郎; 平井 義和; 加藤 義基; 土屋 智由; 田畑 修
        組織培養研究, 2016年03月
      • Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper
        Toshiyuki Tsuchiya; Yusuke Kogita; Akira Taniyama; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016年02月, 査読有り
      • 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
        加藤 義基; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2016年, 査読有り
      • Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICRO & NANO LETTERS, 2015年12月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • Experimental Study of Numerical Optimization for 3-D Microstructuring Using DMD-Based Grayscale Lithography
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Floris van Kempen; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Fred van Keulen; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2015年12月, 査読有り
      • Direct measurement of transversely isotropic DNA nanotube by force-distance curve-based atomic force microscopy
        Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyun Kim; Osamu Tabata
        Micro & Nano Letters, 2015年10月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • ALA-induced fluorescence detection with photoresist-based microfluidic cell sorter for bladder cancer diagnosis
        Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata
        SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2015年07月, 査読有り
      • High-temperature tensile testing machine for investigation of brittle-ductile transition behavior of single crystal silicon microstructure
        Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015年06月, 査読有り
      • Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers
        Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2014年03月, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • On-chip fabrication of alkali-metal vapor cells utilizing an alkali-metal source tablet
        K. Tsujimoto; K. Ban; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; N. Mizutani; O. Tabata
        Journal of Micromechanics and Microengineering, 2013年11月, 査読有り
      • MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション
        平井 義和; 柳生 裕聖; 牧野 圭秀; 上杉 晃生; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2013年08月, 査読有り
      • Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer
        Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Electronics and Communications in Japan, 2013年05月, 査読有り
      • Phenotypic and Transcriptional Modulation of Human Pluripotent Stem Cells Induced by Nano/Microfabrication Materials
        Ken-Ichiro Kamei; Yoshikazu Hirai; Momoko Yoshioka; Yoshihide Makino; Qinghua Yuan; Minako Nakajima; Yong Chen; Osamu Tabata
        Advanced Healthcare Materials, 2013年02月, 査読有り
      • (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響
        上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会論文集Ａ編, 2013年01月, 査読有り
      • Body on a chip: Re-creation of a living system in vitro
        Ken-Ichiro Kamei; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        IEEE Nanotechnology Magazine, 2013年, 査読有り
      • Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        POLYMER, 2012年09月, 査読有り
      • 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
        片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2012年, 査読有り
      • 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験
        上杉 晃生; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2012年, 査読有り
      • チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2011年, 査読有り
      • Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist
        Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010年10月, 査読有り
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      • 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2010年09月, 査読有り
      • A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property
        Hirai, Y.; Sugano, K.; Tsuchiya, T.; Tabata, O.
        Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010年06月, 査読有り
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      • Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring
        Yoshikazu Hirai; Yoshiteru Inamoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2007年02月, 査読有り
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      • Validation of X-ray lithography and development simulation system for moving mask deep X-ray lithography
        Y Hirai; S Hafizovic; N Matsuzuka; JG Korvink; O Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2006年02月, 査読有り
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      • A novel fabrication process of 3D microstructures by double exposure in deep x-ray lithography (D2XRL)
        MATSUZUKA N
        Journal of Micromechanics and Microengineering, 2005年11月01日, 査読有り
        この論文にアクセスする：
      • X線応用３次元加工用シミュレーションシステムの開発
        平井 義和; Hafizovic Sadik; Jan G. Korvink; 田畑 修
        電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 2003年09月, 査読有り

      MISC

      • 形状制御のためのアクチュエータの電流値と配置の同時最適化
        佐藤勇気; 八巻侑外; 泉井一浩; 山田崇恭; 西脇眞二; 平井義和; 田畑修
        日本機械学会最適化シンポジウム(CD-ROM), 2018年
      • マイクロ流体デバイス内のNV中心の蛍光スペクトル測定
        舌雅也; 渡辺嵩都; 四竈泰一; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修; 平井義和
        応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 2022年
      • 光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測 III-グラディオメータ型での計測-
        市原直; 田上周路; 柏井茂達; 石川潔; 石川潔; 杉岡秀行; 水谷夏彦; 平井義和; 田畑修; 小林哲生
        応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年
      • 光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測 II-マグネトメータ型での計測-
        田上周路; 市原直; 柏井茂達; 石川潔; 石川潔; 杉岡秀行; 水谷夏彦; 平井義和; 田畑修; 小林哲生
        応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年
      • 光ポンピング原子磁気センサによる微小磁気計測 I-磁気光学回転角の基礎的検討-
        柏井茂達; 田上周路; 市原直; 石川潔; 石川潔; 杉岡秀行; 水谷夏彦; 平井義和; 田畑修; 小林哲生
        応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 2008年
      • 2201 X線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証(要旨講演,マイクロナノ理工学)
        平井 義和; 松塚 直樹; 田畑 修
        IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005年03月21日
      • 犠牲DNAオリガミ技術によって形成した金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光法による分子検出
        山下直輝; PARK Seongsu; 川合健太郎; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 2019年
      • 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
        三浦大知; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2021年
      • OS1418-467 顕微ラマン分光による単結晶シリコンマイクロ構造の動的応力測定
        土屋 智由; 小北 雄亮; 平井 義和; 田畑 修
        M&M材料力学カンファレンス, 2015年11月21日
      • 731 1軸加振器を用いたMEMS3軸加速度センサの感度マトリックス測定
        土屋 智由; 中野 篤; 平井 義和; 田畑 修; 梅田 章
        機械力学・計測制御講演論文集, 2015年08月25日
      • 29pm1-F-2 熱酸化により直径制御した架橋構造シリコンナノワイヤのSOI-MEMS集積化
        邊見 哲也; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月21日
      • 29pm3-PN-49 (110)単結晶シリコンマイクロ構造の高温引張破壊特性
        上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月21日
      • J2210406 静電駆動MEMS光チョッパを用いた時間分解顕微ラマン応力測定
        土屋 智由; 小北 雄亮; 平井 義和; 田畑 修
        年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2015年09月13日
      • J2210404 ひずみゲージ集積型単結晶シリコンマイクロ構造の並列引張疲労試験
        上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2015年09月13日
      • 犠牲DNAオリガミ技術と極小ギャップを有する金ナノ粒子二量体作製への応用
        山下 直輝; 朴 晟洙; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日
      • Rapid molecular sensing based on on-chip size-separation process of DNA origami
        Park Seongsu; Ma Zhipeng; Yamashita Naoki; Hirai Yoshikazu; Tsuchiya Toshiyuki; Tabata Osamu
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日
      • 低X線散乱ノイズ観測チャンバー開発による蛋白質1分子構造変化計測
        清水 啓史; 田渕 友樹; 田原 樹生; 岩本 真幸; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2017年10月31日
      • 多孔質アルミナ製Cs生成源を使ったCSAC用MEMS型ガスセルの開発
        寺島 健太; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2016年10月02日
      • サブミクロンギャップを有するSOI静電容量型加速度センサアレイ
        松井 祐樹; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2015年10月28日
      • 3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発
        加藤 義基; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2015年10月28日
      • 有限要素法による経上皮電気抵抗値と測定誤差の電極パターン依存性の解析
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2020年
      • 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
        亀井謙一郎; 楊建東; 飯田慶; 寺田志穂; 土屋智由; 田畑修; 平井義和
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2020年
      • 電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 田畑修; 田畑修; 土屋智由
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2020年
      • PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ
        辻 勇亮; 平井 義和; 亀井 謙一郎; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年09月12日
      • Microfabricated Solution Chamber for High Resolution Diffracted X-Ray Tracking Method to Observe Ion-Channel Gating Motion
        Ikkei Yamauchi; Tomoki Tabuchi; Yoshikazu Hirai; Masayuki Iwamoto; Toshiyuki Tsuchiya; Hirofumi Shimizu; Osamu Tabata
        2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日
      • Temperature Difference Measurement Across Mems Based Nanogap Created by Cleavage of Silicon for Thermionic Generation
        Masaki Shimofuri; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 2019年06月01日
      • 有限要素解析を用いた経上皮電気抵抗測定マイクロ流体デバイス内電極形状の設計
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2019年
      • PDMS製マイクロ流体デバイスへ実装可能な高感度イオン液体型圧力センサ
        辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集, 2019年
      • がんの転移におけるせん断応力の役割の解明に向けたマイクロ流体デバイスの開発
        植田啓太; 萩原健; 平井義和; 近藤純平; 井上正宏; 土屋智由; 亀井謙一郎; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2019年
      • Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for Microfabricated Vapor Cells
        Yoshikazu Hirai; Katsuo Nokamura; Yuichi Kimoto; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IFCS 2018 - IEEE International Frequency Control Symposium, 2018年12月31日
      • Vacuum emission in large-area nanogap fabricated by MEMS-controlled cleavage of single crystal silicon
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2018 31st International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2018, 2018年11月01日
      • Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope
        Yunyi Shu; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        5th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, INERTIAL 2018 - Proceedings, 2018年05月11日
      • Improved sensitivity of ionic liquid-based pressure sensor for body-on-a-chip using simulation-based 3D lithography
        Yoshikazu Hirai; Yusuke Tsuji; Ken-Ichiro Kamei; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日
      • Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018年04月24日
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      • 経上皮電気抵抗測定に用いる銀/塩化銀平面電極搭載マイクロ流体デバイスの作製
        宮崎貴史; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会研究会資料, 2018年
      • 3次元リソグラフィを応用したイオン液体型高感度圧力センサの作製と特性評価
        辻勇亮; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2018年
      • Microfabrication of Cs-filled MEMS cell using sequential plasma activated bonding
        Kenta Terashima; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, EFTF/IFC 2017 - Proceedings, 2017年10月27日
      • Formation of gold nanoparticle dimers on silicon by sacrificial DNA origami technique
        Naoki Yamashita; Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Kentaro Kawai
        2017 IEEE 12th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2017, 2017年08月25日
      • MEMS based fabrication of conformal electrode pairs for thermotunneling cooling
        Amit Banerjee; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        IMFEDK 2017 - 2017 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, 2017年07月31日
      • Thermomechanical noise of arrayed capacitive accelerometers with 300-NM-gap sensing electrodes
        Toshiyuki Tsuchiya; Yuki Matsui; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日
        このMISCにアクセスする：
      • Low temperature, wafer-level process of alkali-metal vapor cells for micro-fabricated atomic clocks
        Yoshikazu Hirai; Kenta Terashima; Katsuo Nakamura; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2017年07月26日
      • リンカーによる三角形DNAオリガミ二量体形成における支配要因の解明 (フィジカルセンサ ケミカルセンサ マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ・マイクロマシン一般および,センサ・マイクロマシンに共通する次世代ニーズ(ライフやグリーン・イノベーション等,ただしこれに限定しない))
        稲垣 達也; 朴 晟洙; 山下 直輝; 馬 志鵬; 川合 健太郎; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会研究会資料. MSS, 2017年06月29日
      • Tuning porosity and radial mechanical properties of DNA origami nanotubes via crossover design
        Zhipeng Ma; Kentaro Kawai; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Japanese Journal of Applied Physics, 2017年06月01日
      • 可変形状ミラーデバイスにおけるアクチュエータ配置最適化のためのヒューリスティクスの提案
        八巻侑外; 佐藤勇気; 泉井一浩; 山田崇恭; 西脇眞二; 平井義和; 田畑修
        2017年度精密工学会春季大会，精密工学会，2017年3月13日 - 15日，神奈川，設計の方法論（製品，サービス，PSS）, 2017年03月
      • TENSILE PROPERITIES OF SINGLE-CRYSTAL-SILICON FULLY COATED WITH SUBMICROMETER-THICK PECVD DLC
        Wenlei Zhang; Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017年
      • 国際会議報告：EUROSENSORS 2016
        平井 義和
        電学論Ｅ, 2017年
      • 心筋細胞外電位測定のためのPDMS埋め込み型電極アレイ
        大牧達矢; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • 心筋細胞外電位計測を目指したPDMS埋め込み型電極アレイの作製プロセス
        大牧達也; 平井義和; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年
      • 微小圧力計測を目的としたPDMS製イオン液体型圧力センサ
        辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2017年
      • 有限要素解析を用いたイオン液体型圧力センサの感度特性評価
        辻勇亮; 中野優; 平井義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • 抗がん剤の副作用を再現する生体外ヒトモデルBody on a Chip
        亀井謙一郎; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        バイオエンジニアリング講演会講演論文集(CD-ROM), 2017年
      • Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper
        Toshiyuki Tsuchiya; Yusuke Kogita; Akira Taniyama; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2016年02月
      • Photoresist Micro-Chamber for the Diffracted X-ray Tracking Method Recording Single-Molecule Conformational Changes
        Kio Tahara; Yoshikazu Hirai; Hirohumi Shimizu; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        PROCEEDINGS OF THE 30TH ANNIVERSARY EUROSENSORS CONFERENCE - EUROSENSORS 2016, 2016年
        このMISCにアクセスする：
      • MEMS Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array
        Akiko Uno; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2016年
      • Simulation study of SU-8 structures realized by single-step projection photolithography
        K. Nakamura; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata; F. Larramendy; O. Paul
        2016 IEEE SENSORS, 2016年
      • 研究室だより：京都大学大学院 田畑・土屋（ナノ・マイクロシステム工学）研究室
        平井 義和
        電学論Ｅ, 2016年
      • 抗がん剤副作用を再現する生体外モデルBody on a Chipの開発
        亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        組織培養研究, 2016年
      • Tensile fracture of integrated single-crystal silicon nanowire using MEMS electrostatic testing device
        Toshiyuki Tsuchiya; Tetsuya Hemmi; Jun-ya Suzuki; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        21ST EUROPEAN CONFERENCE ON FRACTURE, (ECF21), 2016年
      • Effect of Crystallographic Orientations on Fractures and Slip Occurrences at 500 °c of (110) Single Crystal Silicon Microstructures
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Procedia Structural Integrity, 2016年
      • MEMS3軸加速度センサのマトリックス感度並列計測
        土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修; 梅田章
        第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月
      • DNAオリガミ架橋構造のシリコン基板への選択的形成
        朴晟洙; 馬志鵬; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 森裕都
        平成27年電気学会全国大会, 2015年03月
      • Optimization methods for 3D lithography process utilizing DMD-based maskless grayscale photolithography system
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII, 2015年
      • Alkali Metal Source Tablet for Vapor Cells of Atomic Magnetometers
        Kazuhiro Ban; Akira Terao; Natsuhiko Mizutani; Kazuya Tsujimoto; Yoshikazu Hirai; Tetsuo Kobayashi; Osamu Tabata
        2015 JOINT CONFERENCE OF THE IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM & THE EUROPEAN FREQUENCY AND TIME FORUM (FCS), 2015年
      • SIZE EFFECT ON BRITTLE-DUCTILE TRANSITION TEMPERATURE OF SILICON BY MEANS OF TENSILE TESTING
        A. Uesugi; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年
      • FET PROPERTIES OF SINGLE-WALLED CARBON NANOTUBES INDIVIDUALLY ASSEMBLED UTILIZING SINGLE STRAND DNA
        Kosuke Hokazono; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 2015年
      • Direct characterization of radial modulus of DNA nanotube by AFM nanoindentation
        Zhipeng Ma; Young-Joo Kim; Seongsu Park; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Do-Nyum Kim; Osamu Tabata
        2015 IEEE 10th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2015年
      • Multiple Patterning with Process Optimization Method for Maskless DMD-Based Grayscale Lithography
        X. Ma; Y. Kato; F. Kempen; Y. Hirai; T. Tsuchiya; F. Keulen; O. Tabata
        EUROSENSORS 2015, 2015年
        このMISCにアクセスする：
      • A SUB-MICRON-GAP SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER ARRAY UTILIZING SIZE EFFECT
        Y. Matsui; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年
      • MICROFLUIDIC DEVICE TO INTERCONNECT MULTIPLE ORGANS VIA FLUIDIC CIRCULATION: TOWARDS BODY-ON-A-CHIP
        Y. Kato; Y. Hirai; K. Kamei; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年
      • SELECTIVE ASSEMBLY OF DNA NANOSTRUCTURE BRIDGING ONTO A TRENCHED SILICON SUBSTRATE
        Y. Mori; Z. Ma; S. Park; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2015年
      • 抗がん剤副作用を生体外で再現するBody on a Chipの開発
        亀井謙一郎; 平井義和; 平井義和; 加藤義基; 土屋智由; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 2015年
      • 灌流システムを搭載した副作用検査デバイス 〜ヒトES/iPS由来のBody on a chipを目指して〜
        加藤義基; 平井 義和; 亀井謙一郎; 土屋智由; 田畑修
        細胞アッセイ技術の現状と将来, 2015年01月
      • The diffracted X-ray tracking method for recording the single-molecule conformational changes of the KcsA potassium channel in a sub-millisecond time resolution
        H. Shimizu; M. Iwamoto; Y. Oota; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; S. Oiki
        The 45th Natl Inst Physiol Sci (NIPS) International Symposium, 2014年11月
      • X線1分子動態計測法で用いる低ノイズ観測チャンバの開発
        平井義和; 田畑修; 清水啓史
        化学とマイクロ・ナノシステム学会第30回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2014年10月
      • An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris van Kempen; Fred van Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月
      • 単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移
        上杉晃生; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第6回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2014年10月
      • 一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性
        外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第6回「集積化 MEMS シンポジウム」, 2014年10月
      • Tensile Testing in Vacuum with Concentrated Infrared Light Heating for Single Crystal Silicon Mechanical Characterization at High Temperature
        A. Uesugi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Fukuoka, Japan (4-7 October, 2014), 2014年10月
      • Revealing the radial elastic modulus of multi-layered DNA origami by AFM nanoindentation
        Zhipeng Ma; Seongsu Park; Yuto Mori; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        第58回日本学術会議材料工学連合講演会, 日本学術会議材料工学委員会,他関連34学協会, 2014年10月
      • J2240303 赤外光集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験([J224-03]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 シリコンの破壊と疲労)
        上杉 晃生; 安富 貴浩; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2014年09月07日
      • 多段ICP-RIEプロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験
        土屋智由; 鈴木淳也; 平井義和; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会,, 2014年09月
      • 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ
        小北雄亮; 谷山彰; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月
      • 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験
        上杉晃生; 安富貴浩; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月
      • MEMS3軸加速度センサの並列校正手法の検討
        土屋智由; 中野篤; 平井義和; 田畑修
        Dynamics and Design Conference 2014(D&D2014), 日本機械学会, 2014年08月
      • エキシマレーザ照射による単結晶シリコンマイクロ構造の表面改質おび引張強度向上
        土屋智由; Mohamed E. Mitwally; 平井義和; 田畑修; Sherif Sedky
        日本機械学会M&M2014材料力学カンファレンス,, 2014年07月
      • An optimization approach for 3D photolithography utilizing DMD maskless exposure system
        Xiaoxu Ma; Yoshiki Kato; Yoshikazu Hirai; Floris Kempen; Fred Keulen; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月
      • Brittle-ductile transition of single crystal silicon micro structure under tensile stress below 600°C
        Akio Uesugi; Takahiro Yasutomi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2014), 2014年06月
      • 5-アミノレブリン酸による蛍光検出を使った膀胱癌細胞分別マイクロ流体システム
        平井義和; 高木大介; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修
        平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(バイオ・マイクロシステム研究会), 電気学会, 2014年05月
      • 蛍光検知とマイクロ流路を用いた光力学尿細胞診
        高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 土屋智由; 藤本清秀; 平尾佳彦; 田畑修
        第23回泌尿器科分子・細胞研究会, 泌尿器科分子・細胞研究会, 2014年03月
      • Photoresist-Based Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis
        Yoshikazu Hirai; Daisuke Takagi; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Toshiyuki Tsuchiya; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao; Osamu Tabata
        28TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS (EUROSENSORS 2014), 2014年
      • DOUBLE-SIDE-DRIVE ELECTROSTATIC OPTICAL CHOPPER FOR TIME-RESOLVED RAMAN SPECTROSCOPY
        Yusuke Kogita; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Toshiyuki Tsuchiya
        2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年
      • LARGE-DISPLACEMENT ELECTROSTATIC DEFORMABLE MIRROR USING MOVABLE BOTTOM ELECTRODES
        Toshiyuki Tsuchiya; Vijay Kumar Singh; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 2014年
      • 単結晶シリコンの高温機械的特性評価に向けた赤外光集光加熱による真空中高温引張試験 (2014年度年次講演会)
        上杉 晃生; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        日本実験力学会講演論文集, 2014年01月
      • 蛍光検出とマイクロ流路を用いた尿中癌細胞分別システム
        高木大介; 平井義和; 穴井智; 千原良友; 藤本清秀; 土屋智由; 平尾佳彦; 田畑修
        化学とマイクロ・ナノシステム学会第28回研究会, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2013年12月
      • 粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
        成瀬圭介; 柳生裕聖; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 2013年11月
      • 微細構造体を用いたアルカリ金属の生成反応
        藩和宏; 辻本和也; 平井義和; 水谷夏彦; 田畑修
        化学工学会第45回秋季大会, 化学工学会, 2013年09月
      • (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性
        上杉晃生; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工
        鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル
        外薗洸佑; 鈴木淳也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, 2013年09月
      • 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価
        中野篤; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 2013年08月
      • Fractography Analysis Of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology And Crystal Orientations
        Akio Uesugi; Yoshikazu Hirai; Koji Sugan; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK 2013), 2013年07月
      • Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography
        Y. Kato; Yoshikazu Hirai; F. van Kempen; F. van Keulen; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 2013年04月
      • 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製
        北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        平成25年電気学会全国大会, 2013年03月
      • グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ
        加藤義基; 平井義和; Floris van Kempen; Fred van Keulen; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        平成25年電気学会全国大会, 2013年03月
      • Microfluidic Cell Sorter for Photodynamic Urine Diagnosis
        Daisuke Takagi; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Satoshi Anai; Yoshitomo Chihara; Kiyohide Fujimoto; Yoshihiko Hirao
        2013 IEEE 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (NANOMED), 2013年
      • Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table
        Atsushi Nakano; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Akira Umeda
        Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013年, 査読有り
      • DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY
        T. Akishiba; N. Tamura; T. Ichii; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; H. Sugimura; O. Tabata
        26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 2013年, 査読有り
      • Automatic process design for 3D thick-film grayscale photolithography
        F. C.M. Van Kempen; Y. Hirai; F. Van Keulen; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年
      • SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection
        K. Sugano; H. Katayama; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年
      • Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon
        A. Uesugi; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 2013年
      • 時間分解顕微ラマン分光によるSi振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS光チョッパ
        小北 雄亮; 谷山 彰; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • 静電容量型SOI 3軸加速度センサの角速度横感度
        中野 篤; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 2013年01月
      • 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会)
        谷山 彰; 小北 雄亮; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本実験力学会講演論文集, 2013年01月, 査読有り
      • AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 藩 和宏; 水谷 夏彦; 田畑 修
        電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013年01月
      • Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications
        平井 義和
        The 2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012), 2012年10月, 招待有り
      • 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析
        柳生 裕聖; 平井 義和; 牧野 圭秀; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2012年10月
      • 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定
        鈴木 淳也; 片岡 達哉; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋智由; 田畑 修
        第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, 2012年10月
      • 702 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価
        中野 篤; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修; 梅田 章
        Dynamics & Design Conference, 2012年09月18日
      • Automated optimization of gray-scale masks for 3D micro-structuring
        F. van Kempen; Yoshikazu Hirai; F. van Keulen; Osamu Tabata
        The 6th European Congress on Computional Methods in Applied Sciences and Engineering (ECCOMAS 2012), 2012年09月
      • Optimization techniques for gray-scale photolithography
        F. van Kempen; Yoshikazu Hirai; F. van Keulen; Osamu Tabata
        The 9th ASMO UK / ISSMO conference on Engineering Design Optimization Product and Process Improvement, 2012年07月
      • Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist
        Daimon Matsui; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), 2012年07月
      • 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製
        西野聡; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修; 武中能子
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日
      • 高感度ＳＥＲＳ分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析
        片山拓; 菅野公二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2012年06月11日
      • Evaluation of negative photoresists on phenotypes of human induced pluripotent stem cells (hiPSCs)
        K. Kamei; Yoshikazu Hirai; Y. Makino; L. Liu; Q. Yuan; M. Yoshioka; Y. Chen; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate
        C. Huang; T. Akishiba; N. Tamura; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate
        S. Nishino; Y. Takenaka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics
        H. Yagyu; Yoshikazu Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer
        T. Kataoka; Yoshikazu Hirai; K. Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2012年03月
      • 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析
        徳崎裕幸; 平井義和; 菅野公二; 田畑 修; 土屋智由
        応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年03月
      • HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS
        Koji Sugano; Akihiro Nakata; Hideaki Yoshimune; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2012年, 査読有り
      • Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Tsuchiya Toshiyuki; Osamu Tabata
        26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 2012年, 査読有り
        このMISCにアクセスする：
      • Phenotypic modulation of pluripotent stem cells (PSCs) induced by microfabrication materials
        Ken Ichiro Kamei; Yoshikazu Hirai; Yoshihide Makino; Momoko Yoshioka; Li Liu; Minako Nakajima; Qinghua Yuan; Yong Chen; Osamu Tabata
        Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012, 2012年01月01日
      • ARE NONLINEAR RESONATORS SUITABLE FOR ENERGY HARVESTING?-EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS OF NONLINEAR RESPONSE OF MEMS RESONATOR
        A. Kitamura; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Tsuchiya
        2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2012年, 査読有り
      • Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Materials Research Society Symposium Proceedings, 2012年, 査読有り
      • Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS
        Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        IFIP Advances in Information and Communication Technology, 2012年
      • Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist
        Hiromasa Yagyu; Yoshikazu Hirai; Akio Uesugi; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 2011年12月
      • 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術
        平井義和; 辻本和也; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会電子回路研究会資料, 2011年11月21日
      • Evaluation of Negative Photoresists for Culturing Mouse and Human Pluripotent Stem Cells
        KAMEI Ken‐ichiro; HIRAI Yoshikazu; MAKINO Yoshihide; LIU Li; YUAN Qinghua; CHEN Yong; TABATA Osamu
        センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 2011年09月26日
      • フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価
        亀井謙一郎; 平井義和; 牧野圭秀; Li Liu; Qinghua Yuan; Yong Chen; 田畑修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
        片岡達也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル
        平井義和; 柳生裕聖; 上杉晃生; 牧野圭秀; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2011年09月
      • ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長
        西野聡; 菅野公二; 武仲能子; 田畑修; 土屋智由; 平井義和
        日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 2011年09月
      • エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
        上杉晃生; 牧野圭秀; 柳生裕聖; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        日本機械学会2011年度年次大会, 2011年09月
      • ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用
        辻本和也; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, 2011年07月
      • ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル
        菅野公二; 平岡亮二; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成
        菅野公二; 吉宗秀晃; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型ＭＥＭＳデバイスの電気等価回路の構築
        北村彰男; 平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011年07月01日
      • 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析
        北村 彰男; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2011年06月
      • Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane
        平井 義和; 上杉 晃生; 牧野 圭秀; 柳生 裕聖; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 2011年06月, 査読有り
      • 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成
        吉宗 秀晃; 中田 哲博; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成23年電気学会全国大会, 2011年03月
      • Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique
        K.Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        International workshop on micro/nano-engineering, 2011年, 査読有り
      • LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY
        A. Taniyama; Y. Hirai; K. Sugano; O. Tabata; T. Ikehara; T. Tsuchiya
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り
      • SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER
        K. Tsujimoto; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2011年, 査読有り
      • Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics
        Y. Hirai; A. Uesugi; Y. Makino; H. Yagyu; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis
        K. Sugano; H. Yoshimune; A. Nakata; Y. Hirai; T. Tsuchiya; O. Tabata
        2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2011年, 査読有り
      • High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels
        Koji Sugano; Hideaki Yoshimune; Akihiro Nakata; Yoshikazu Hirai; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection
        Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device
        Yoshikazu Hirai; Yusuke Nakai; Yoshihide Makino; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2011年, 査読有り
      • mESC and hiPSC Proliferation on Negative Photoresists for Microfluidics
        Yoshikazu Hirai; Ken-ichiro Kamei; Yoshihide Makino; Li Liu; Qinghua Yuan; Yong Chen; Osamu Tabata
        EUROSENSORS XXV, 2011年
      • Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS
        Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Tokusaki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Osamu Tabata
        2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 2011年, 査読有り
      • 国際会議報告：IEEE-NEMS2011 報告
        平井 義和
        IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 2011年
        このMISCにアクセスする：
      • DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites
        Ryo Sato; Tomoki Tanemura; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 2010年12月01日, 査読有り
      • 単結晶Ｓｉマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析
        脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2010年10月12日
      • MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
        徳崎 裕幸; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010年10月12日
      • チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
        辻本 和也; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2010年10月
      • （１１０）単結晶Ｓｉの引張試験における破壊の結晶異方性評価
        脇田拓; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 土屋智由; 池原毅
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
        谷山彰; 平井義和; 菅野公二; 田畑修; 池原毅; 土屋智由
        日本機械学会年次大会講演論文集, 2010年09月04日
      • 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析
        谷山 彰; 平井 義和; 菅野 公二; 田畑 修; 池原 毅; 土屋 智由
        日本機械学会2010年度年次大会, 2010年09月
      • Crystal anisotropy on strength of single crystal silicon measured by tensile testing
        Wakita Taku; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Ikehara Tsuyoshi
        The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り
      • Component modelling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection
        Tokusaki Hiroyuki; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り
      • Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell
        Tsujimoto Kazuya; Hirai Yoshikazu; 菅野 公二; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 2010年07月, 査読有り
      • ３方向からの交互脈動送液による高速２液混合
        菅野公二; 中田哲博; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2010年06月17日
      • Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists
        Y. Hirai; Y. Nakai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 2010年
      • DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components
        Guillermo Lopez; Tomoki Tanemura; Ryo Sato; Takahiro Saeki; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata; Masahiro Fujita; Mizuo Maeda
        2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 2010年, 査読有り
      • Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication(2009)
        平井 義和
        The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009), 2009年10月, 招待有り
      • 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法
        平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 2009年10月, 査読有り
      • Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA
        Jan G. Korvink; Sadik Hafizovic; Yoshikazu Hirai; Pascal Meyer
        LIGA and its Applications, 2009年08月05日
      • 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
        菅野公二; 内田雄喜; 平井義和; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2009年07月23日
      • 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
        菅野公二; 内田雄喜; 平井 義和; 土屋 智由; 田畑 修
        平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 2009年07月
      • MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity
        Yoshikazu Hirai; Hideaki Yoshimune; Kazuya Tsujimoto; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 2009年, 査読有り
      • Single-exposure and Single-development Process of Single-layer Negative Photoresist for Low-cost Microfluidic System Fabrication
        Yoshikazu Hirai
        The 3rd IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE-NANOMED 2009), Tainan,Taiwan, 2009年, 査読有り
      • Automated Optimization of Light Dose Distribution for Moving-Mask Lithography
        Fred van Keulen; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        EUROSIME 2009: THERMAL, MECHANICAL AND MULTI-PHYSICS SIMULATION AND EXPERIMENTS IN MICRO-ELECTRONICS AND MICRO-SYSTEMS, 2009年, 査読有り
      • Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design
        M. Sato; Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 2009年
      • Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist
        Y. Hirai; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009年, 査読有り
      • Objective function and adjoint sensitivities for moving-mask lithography
        Fred Van Keulen; Fred Van Keulen; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        12th AIAA/ISSMO Multidisciplinary Analysis and Optimization Conference, MAO, 2008年12月01日, 査読有り
      • Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique
        HIRAI Yoshikazu; INAMOTO Yoshiteru; SUGANO Koji; TSUCHIYA Toshiyuki; TABATA Osamu
        Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 2008年10月22日, 査読有り
      • 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property
        Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 2008年09月, 査読有り
      • Measurement of Biomagnetic Fields in Small Animals by use of an Optical Pumping Atomic Magnetomete
        Shuji Taue; Sunao Ichihara; Yasuyuki Sugihara; Kiyoshi Ishikawa; Hideyuki Sugioka; Natsuhiko Mizutani; Shujie Liu; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Tetsuo Kobayashi
        The 16th International Conference on Biomagnetism, 2008年08月
      • ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と３次元加工への応用
        平井義和; 菅野公二; 土屋智由; 田畑修
        電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2008年06月12日, 査読有り
      • レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの３次元微細加工技術
        平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 2008年03月, 査読有り
      • 生体ファントムを用いた光ポンピング原子磁気センサによる微小磁場分布計測
        杉原 靖幸; 田上 周路; 市原 直; 石川 潔; 水谷 夏彦; 平井 義和; 田畑 修; 小林 哲生
        生体医工学シンポジウム2008, 2008年
      • 光ポンピング原子磁気センサにおける磁気光学回転の基礎的検討
        柏井 茂達; 田上 周路; 石川 潔; 市原 直; 杉岡 秀行; 平井 義和; 田畑 修; 小林 哲生
        電気学会マグネティックス研究会, 2007年10月
      • 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術
        平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月
      • Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術
        平井 義和; 稲本 好輝; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        電気学会総合研究会, 2007年07月
      • Moving-mask UV lithography and embedded microchannels
        Inamoto Yoshireru; Hirai Yoshikazu; Kouji Sugano; Toshiyuki Tsuchiya; Osamu Tabata
        The 7th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2007), 2007年06月, 査読有り
      • 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製
        稲本 好輝; 平井 義和; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        平成19年，電気学会全国大会, 2007年03月
      • Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring
        Y. Hirai; Y. Inamoto; K. Sugano; T. Tsuchiya; O. Tabata
        TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2007年, 査読有り
      • 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術
        平井 義和; Inamoto; 菅野 公二; 土屋 智由; 田畑 修
        Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 2006年10月
      • Prediction method of 3-D shape fabricated by double exposure technique in deep X-ray lithography ((DXRL)-X-2)
        N Matsuzuka; Y Hirai; O Tabata
        MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006年
      • 微細噴孔ノズルによる微粒化過程の解析−移動Ｘ線マスク露光法による微細噴孔製作と噴霧観察−
        大久保 陽一郎; 井戸田 芳典; 河村清美; 田畑 修; 平井 義和
        日本液体微粒化学会第14回微粒化シンポジウム(微粒化の可能性への挑戦), 2005年11月
      • Study on 3-D Microfabrication by Double Exposure Method in Deep X-ray Lithography (D2XRL)
        Naoki Matsuzuka; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 2005年10月
      • Analytical Method for Process Parameters Determination on Double Exposure Deep X-Ray Lithography
        Yoshikazu Hirai; Naoki Matsuzuka; Osamu Tabata
        High Aspect Micro Structure Technology, 2005年06月
      • A New Experimental Technique for Process Parameters Determination on X-ray Lighography
        Naoki Matsuzuka; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        High Aspect Micro Structure Technology, 2005年06月
      • Ｘ線二重露光法における加工パラメータ決定手法の提案とその検証
        平井 義和; 松塚 直樹; 田畑 修
        機械学会情報知能部門会議, 2005年03月
      • A novel fabrication process of 3-D microstructures by double exposure in standard deep x-ray lithography
        N Matsuzuka; Y Hirai; O Tabata
        MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2004年, 査読有り
      • 3-D Micro-machining Technique by Double Exposure in Normal Deep X-ray Lithography
        Naoki Matsuzuka; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata
        第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2004年
      • 3D simulation system for moving mask deep X-ray lithography
        Y Hirai; N Matsuzuka; S Hafizovic; JG Korvink; O Tabata
        MHS2003: PROCEEDINGS OF 2003 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 2003年
      • X3D: 3D X-ray lithography and development simulation for MEMS
        S Hafizovic; Y Hirai; O Tabata; JG Korvink
        BOSTON TRANSDUCERS'03: DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2003年
      • Measurement of PMMA Dissolution Rate and System Calibration for Predictive 3-D Simulation of Moving Mask Deep X-Ray Lithography
        Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Sadik Hafizovic; Jan. G. Korvink
        High Aspect Micro Structure Technology, 2003年01月
      • 移動マスクＸ線リソグラフィーにおけるX3Dの有用性
        平井 義和; 松塚 直樹; 田畑 修; Sadik Hafizovic; Jan G. Korvink
        第20回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2003年
      • Effect of Development Process in Moving Mask Deep X-ray Lithography for 3D Microfabrication
        Naoki Matsuzuka; Yoshikazu Hirai; Osamu Tabata; Sadik Hafizovic; Jan G. Korvink
        High Aspect Micro Structure Technology, 2003年
      • X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発
        平井 義和; Sadik Hafizovic; Jan G.Korvink; 田畑 修
        電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会, 2002年

      書籍等出版物

      産業財産権

      • 特願2022-143731, 金属ガス封入セル
        平井義和 清瀬俊
      • 特許7217521, 特開2020-146015, 特願2019-48928, マイクロ流体デバイス
        亀井謙一郎; 平井義和; 田畑修; 宮崎貴史
      • 特許7107528, 特開2020-099211, 特願2018-238405, 細胞培養容器
        福江久美子; 亀井謙一郎; 平井義和; 田畑修
      • WO2022/097557, 特願2020-185571, 金属ガス封入セル及びその製造方法
        平井義和; 清瀬俊
      • 特開W02014/132651, 特願PCT/JP2014/001059, アルカリ金属セルの製造方法，アルカリ金属の製造方法，およびアルカリ金属セル
        田畑修; 藩和宏; 水谷夏彦; 平井義和; 辻本和也

      受賞

      • 2024年03月15日
        日本機械学会関西支部, 日本機械学会関西支部賞（研究賞）
        平井義和、亀井謙一郎、田畑修
        ナノマイクロ加工を応用したボディ・オン・チップの創製
      • 2023年11月08日
        電気学会・E部門大会　第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 最優秀技術論文賞
        日本国, 国内学会・会議・シンポジウム等の賞
      • 2021年03月11日
        応用物理学会・集積化MEMS技術研究会, 優秀ポスター賞
      • 2021年02月01日
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 優秀講演論文表彰
      • 2020年03月06日
        コニカミノルタ科学技術振興財団, 令和元年度コニカミノルタ画像科学奨励賞
      • 2019年11月21日
        電気学会・E部門大会　第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀技術論文賞
      • 2019年02月01日
        日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 優秀講演論文表彰
      • 2017年06月15日
        新化学技術推進協会, 第6回新化学技術研究奨励賞
      • 2017年06月02日
        電気学会, 第73回電気学術振興賞 論文賞
      • 2017年02月17日
        文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」, 平成28年度秀でた利用6大成果賞
      • 2017年02月04日
        Journal of Micromechanics and Microengineering, Outstanding Reviewer Award in 2016
      • 2016年10月26日
        電気学会E部門大会　第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 最優秀技術論文賞
      • 2016年04月01日
        電気学会, 優秀論文発表賞
      • 2015年10月30日
        電気学会E部門大会　第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 五十嵐賞
      • 2003年03月22日
        日本機械学会, 畠山賞

      外部資金：科学研究費補助金

      • 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する小腸ー肝臓・オン・チップ
        基盤研究(B)
        小区分27040:バイオ機能応用およびバイオプロセス工学関連
        京都大学
        亀井 謙一郎
        自 2021年04月01日, 至 2024年03月31日, 交付
        非アルコール性脂肪肝炎;ヒト多能性幹細胞;マイクロ流体デバイス;組織チップ;病態モデル;非アルコール性脂肪肝疾患;腸肝連関;オルガノイド;多組織チップ;肝臓;小腸;分化誘導;非アルコール性脂肪性肝疾患;センサ
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21H01728/
      • 生体リズムを模倣する体内循環システム集積型「ボディ・オン・チップ」の開発
        基盤研究(B)
        小区分28050:ナノマイクロシステム関連
        京都大学
        平井 義和
        自 2019年04月01日, 至 2022年03月31日, 完了
        Body on a Chip;組織チップ;マイクロ流体デバイス;圧力センサ;微細加工;グレースケールリソグラフィ;設計工学
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19H02572/
      • 生体外モデルデバイスの細胞代謝リアルタイムモニタリング技術に関する日独共同研究
        国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(B))
        中区分90:人間医工学およびその関連分野
        京都先端科学大学;京都大学
        田畑 修
        自 2018年10月09日, 至 2022年03月31日, 完了
        生体模倣システム;細胞代謝;マイクロシステム;量子センシング;リアルタイムモニタリング;オルガノイド;細胞;細胞微小環境モデル;生体外モデルデバイス;生体外モデル;メタボリックシンドローム;Analytic BoC;リアルタイム計測;磁気共鳴イメージング
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18KK0306/
      • 膜電位存在下におけるイオンチャネルの機能と構造変化の１分子同時計測
        基盤研究(B)
        小区分48020:生理学関連
        福井大学
        清水 啓史
        自 2018年04月01日, 至 2021年03月31日, 完了
        1分子計測;蛋白質;X線回折;Ｘ線回折
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18H02596/
      • マイクロ流体技術を用いた次世代3次元組織工学の創成
        基盤研究(B)
        京都大学
        亀井 謙一郎
        自 2017年04月01日, 至 2020年03月31日, 完了
        多能性幹細胞;マイクロ流体デバイス;オルガノイド;肝臓;分化;ヒト多能性幹細胞;成熟化;組織工学;幹細胞;血管網
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H02083/
      • 高性能チップスケール原子デバイスを実現するガスセル作製法の新展開
        若手研究(B)
        京都大学
        平井 義和
        自 2016年04月01日, 至 2018年03月31日, 完了
        ナノマイクロ加工;原子時計;原子磁気センサ;CPT共鳴;三次元微細加工;ガスセル;MEMS;アルカリ金属;計測工学;マイクロ・ナノデバイス;先端機能デバイス;応用光学・量子光工学
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K17502/
      • 絶滅危惧種の生体外モデル「Body on a Chip」の開発
        挑戦的萌芽研究
        京都大学
        亀井 謙一郎
        自 2016年04月01日, 至 2018年03月31日, 完了
        Body on a Chip;iPS細胞;マイクロ流体デバイス;絶滅危惧種;動物保全;リプログラミング;分化;マイクロ・ナノデバイス;動物;細胞・組織;獣医学
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K14660/
      • 膜電位存在下におけるイオンチャネルの機能と構造変化の１分子同時計測
        基盤研究(B)
        福井大学
        清水 啓史
        自 2015年04月01日, 至 2018年03月31日, 完了
        1分子計測;蛋白質;X線回折;イオンチャネル;タンパク質;X線;１分子計測(SMD);マイクロ・ナノデバイス;Ｘ線
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H04675/
      • 半導体ナノ加工技術を利用したX線1分子動態計測法の開発
        挑戦的萌芽研究
        福井大学
        清水 啓史
        自 2013年04月01日, 至 2015年03月31日, 完了
        Single molecule;Ion channel protein;dynamics;1分子計測;イオンチャネル;蛋白質;MEMS
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25670107/
      • リソグラフィを用いた分子フィルタ創製と分子動力学による細孔解析
        若手研究(B)
        京都大学
        平井 義和
        自 2011年04月01日, 至 2013年03月31日, 完了
        リソグラフィ;粗視化分子動力学;分子透過膜;フォトレジスト;弾性率;マイクロ・ナノデバイス;高分子構造・物性;シミュレーション工学;マイクロマシン;先端機能デバイス;フィルタ
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23710148/
      • 蛋白質の立体構造にタイムスタンプを付し構造遷移過程の全容を解明する手法の確立
        挑戦的研究(開拓)
        中区分48:生体の構造と機能およびその関連分野
        福井大学
        清水 啓史
        自 2022年06月30日, 至 2025年03月31日, 交付
        1分子計測;蛋白質;X線回折;単粒子構造解析
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K18376/
      • X線1分子動態計測による膜蛋白質マルチセンシング機構の動的解明
        基盤研究(B)
        小区分48020:生理学関連
        福井大学
        清水 啓史
        自 2023年04月01日, 至 2026年03月31日, 交付
        1分子計測;蛋白質;X線回折
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23H02664/
      • リアルタイム温度マッピング可能な生体外ヒト肝疾患モデル構築と疾病機序解明への応用
        基盤研究(A)
        中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
        京都先端科学大学
        田畑 修
        自 2023年04月01日, 至 2027年03月31日, 交付
        生体外ヒトモデル;オルガノイド;量子温度センシング;マイクロ流体チップ;非アルコール性脂肪性肝疾患
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23H00260/
      • マイクロ流体デバイスを応用した新規非侵襲的着床前診断法の構築
        基盤研究(C)
        小区分56040:産婦人科学関連
        大阪大学
        佐治 史惠
        自 2024年04月01日, 至 2027年03月31日, 交付
        マイクロ流体デバイス;niPGT-A;cfDNA
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24K12602/
      • 脳-腸-肝臓連関チップで解明するNAFLD患者のアルツハイマー病重篤化メカニズム
        基盤研究(A)
        中区分90:人間医工学およびその関連分野
        京都大学
        亀井 謙一郎
        自 2024年04月01日, 至 2027年03月31日, 交付
        アルツハイマー病;組織チップ;幹細胞;組織連関
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24H00797/
      • X線1分子動態計測による膜蛋白質マルチセンシング機構の動的解明
        基盤研究(B)
        小区分48020:生理学関連
        福井大学
        清水 啓史
        自 2023年04月01日, 至 2026年03月31日, 交付
        1分子計測;蛋白質;X線回折
        https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23K27355/

      外部資金：その他

      • 超スマート社会を支える超小型原子時計のガスセル製造技術
        大学発新産業創出基金事業 プロジェクト推進型 起業実証支援
      • Beyond5Gを支える原子時計チップの超小型ガスセル製造技術の開発 (2023年度分)
        経済産業省, 官民による若手研究者発掘支援事業費助成金
        自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
        代表
      • ６G社会実現をリードする原子時計チップの革新的な超小型ガスセルの研究開発 (2023年度分)
        経済産業省, 官民による若手研究者発掘支援事業費助成金
        自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
        代表
      • ６G社会実現をリードする原子時計チップの革新的な超小型ガスセルの研究開発 (2022年度分)
        経済産業省, 官民による若手研究者発掘支援事業費助成金
        自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
        代表
      • 生体外実験モデルの構築に向けた高精度イオン液体型圧力センサ
        荏原畠山記念文化財団・ 2019年度研究助成
        平井義和
      • Flow FISH sorterの開発と革新的がん早期診断への展開
        テルモ生命科学振興財団・2019年度 研究助成（医療機器研究）
        峰晴陽平
      • 3次元微細加工を応用した超小型原子時計用ガスセルのプロセス開発
        村田学術振興財団・平成30年度研究助成
        平井義和
      • 概日リズムをMEMS技術で模倣した革新的「ボディ・オン・チップ」の開発
        京都大学教育研究振興財団・平成30年度研究活動推進助成
        平井義和
      • シリコン3次元微細加工を応用した超高感度原子センサ素子の開発
        京都技術科学センター・平成30年度研究開発助成金
        平井義和
      • 生体適合性材料の成形加工を用いた高感度イオン液体型圧力センサの開発
        御器谷科学技術財団・平成29年度研究助成金
        平井義和
      • IoT社会の実現に向けた高精度チップスケール原子時計の作製技術に関する研究
        日本板硝子材料工学助成会・平成28年度研究助成
        平井義和
      • 「Body on a Chip」を用いた創薬スクリーニングの開発
        テルモ科学技術振興財団・平成24年度特定研究助成
        亀井謙一郎
      • ３次元リソグラフィ用プロセス最適化シミュレータの開発
        平成２４年度第２回「研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)」 探索タイプ
        平井義和
      • 紫外線リソグラフィによるエポキシ樹脂系分子フィルタ作製技術の開発
        平成２３年度第１回「研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)」 探索タイプ
        平井義和
      list
        Last Updated :2025/04/23

        教育

        担当科目

        • 自 2019年04月01日, 至 2020年03月31日
          機械製作実習
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月01日, 至 2019年03月31日
          機械製作実習
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月01日, 至 2018年03月31日
          機械製作実習
          後期, 工学部
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント演習
          i059, 後期集中, 工学研究科, 2
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント
          i049, 前期, 工学研究科, 2
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          実践的科学英語演習Ｉ
          i034, 前期, 工学研究科, 2
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          計算機数学
          5003, 前期, 工学部, 2
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          現代科学技術特論（4回コース）
          i055, 後期, 工学研究科, 0.5
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          現代科学技術の巨人セミナー｢知のひらめき｣（6Hコース）
          i051, 前期集中, 工学研究科, 0.5
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ・ﾘｰﾀﾞｰｼｯﾌﾟｾﾐﾅｰ I (企業調査研究)
          2403, 通年集中, 工学部, 1
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ・ﾘｰﾀﾞｰｼｯﾌﾟｾﾐﾅｰ II (ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝとその事業化)
          2503, 後期集中, 工学部, 1
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          現代科学技術の巨人セミナー｢知のひらめき｣（12Hコース）
          i052, 前期集中, 工学研究科, 1
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          実践的科学英語演習Ⅱ
          i046, 後期, 工学研究科, 1
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          現代科学技術特論（8回コース）
          i056, 後期, 工学研究科, 1
        • 自 2024年04月01日, 至 2025年03月31日
          現代科学技術特論（12回コース）
          i060, 後期, 工学研究科, 1.5
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          計算機数学
          5003, 前期, 工学部, 2
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント演習
          i059, 後期集中, 工学研究科, 2
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント
          i049, 前期, 工学研究科, 2
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          現代科学技術特論（4回コース）
          i055, 後期, 工学研究科, 0.5
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          現代科学技術の巨人セミナー｢知のひらめき｣（6Hコース）
          i051, 前期集中, 工学研究科, 0.5
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ・ﾘｰﾀﾞｰｼｯﾌﾟｾﾐﾅｰ II (ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝとその事業化)
          2503, 後期集中, 工学部, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ・ﾘｰﾀﾞｰｼｯﾌﾟｾﾐﾅｰ I (企業調査研究)
          2403, 通年集中, 工学部, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          現代科学技術の巨人セミナー｢知のひらめき｣（12Hコース）
          i052, 前期集中, 工学研究科, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          実践的科学英語演習Ⅰ
          i045, 前期集中, 工学研究科, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          科学技術者のためのプレゼンテーション演習
          i041, 通年集中, 工学研究科, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          現代科学技術特論（8回コース）
          i056, 後期, 工学研究科, 1
        • 自 2023年04月01日, 至 2024年03月31日
          現代科学技術特論（12回コース）
          i060, 後期, 工学研究科, 1.5
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          機械システム工学実験２
          5057, 後期, 工学部, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          実践的科学英語演習Ⅱ
          i046, 後期, 工学研究科, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          科学技術者のためのプレゼンテーション演習
          i041, 通年集中, 工学研究科, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント演習
          i059, 後期集中, 工学研究科, 2
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          実践的科学英語演習Ⅰ
          i045, 前期集中, 工学研究科, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          機械システム工学実験２
          5057, 前期, 工学部, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ・ﾘｰﾀﾞｰｼｯﾌﾟｾﾐﾅｰ I (企業調査研究)
          2403, 通年集中, 工学部, 1
        • 自 2022年04月01日, 至 2023年03月31日
          エンジニアリングプロジェクトマネジメント
          i049, 前期, 工学研究科, 2
        • 自 2014年04月, 至 2015年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2015年04月, 至 2016年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験２
          前期, 工学部
        • 自 2016年04月, 至 2017年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験２
          前期, 工学部
        • 自 2017年04月, 至 2018年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験２
          前期, 工学部
        • 自 2018年04月, 至 2019年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験２
          前期, 工学部
        • 自 2019年04月, 至 2020年03月
          機械システム工学実験２
          後期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          機械システム工学実験２（機）
          前期, 工学部
        • 自 2020年04月, 至 2021年03月
          機械システム工学実験２（機）
          後期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          機械システム工学実験２（機）
          前期, 工学部
        • 自 2021年04月, 至 2022年03月
          機械システム工学実験２（機）
          後期, 工学部

        指導学生の業績：受賞

        • 優秀論文発表賞
          宮崎貴史, 電気学会, 2021年04月01日
        • 奨励賞
          宮崎貴史, 電気学会E部門大会, 2020年10月27日
        • 研究奨励賞
          木元雄一, エレクトロニクス実装学会, 2019年06月27日
        • Outstanding Paper Award Finalists
          山内一慶, Transducers2019, 2019年09月12日
        • 優秀発表賞
          山内一慶, 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 2019年05月28日
        • 優秀論文発表賞
          Jiaxu Wu, 電気学会, 2019年04月01日
        • 奨励賞
          Jiaxu Wu, 電気学会E部門大会, 2018年11月01日
        • 奨励賞
          楊建東, 電気学会E部門大会, 2021年11月11日
        list
          Last Updated :2025/04/23

          大学運営

          部局運営(役職等)

          • 自 2021年04月01日, 至 2023年03月31日
            桂事業場環境安全衛生委員会　委員
          list
            Last Updated :2025/04/23

            学術・社会貢献

            委員歴

            • 自 2024年11月, 至 現在
              Editorial Board Members, Cell Engineering Connect
            • 自 2020年06月, 至 2022年05月
              E部門委員, 電気学会
            • 自 2021年03月, 至 現在
              Editorial Board Members, Sensors and Actuators Reports
            • 自 2019年03月, 至 現在
              Associate Editor, IEEE Transactions on Nanotechnology
            • 自 2017年, 至 2019年
              委員, 電気学会E部門
            • 自 2016年06月, 至 2018年05月
              会計, 電気学会
            • 自 2014年, 至 2017年
              委員, 電気学会E部門
            • 自 2014年, 至 2017年
              委員, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門
            • 自 2014年, 至 2017年
              委員, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

            学術貢献活動

            • Photonic Sensors
              査読
            • Optik
              査読
            • Microfluidics and Nanofluidics
              査読
            • Lab on a Chip
              査読
            • Journal of Vacuum Science & Technology B
              査読
            • Journal of Vacuum Science & Technology A
              査読
            • IEEE Sensors Letters
              査読
            • IEEE Access
              査読
            • Biomedical Materials
              査読
            • ACS Biomaterials Science and Engineering
              査読
            • Biomicrofluidics
              査読
            • IEEE Transactions on Biomedical Engineering
              査読
            • Journal of Bionic Engineering
              査読
              -
            • Lasers in Manufacturing and Materials Processing
              査読
              -
            • Materials & Design
              査読
              -
            • International Journal for Light and Electron Optics
              査読
              -
            • 日本機械学会論文集
              査読
              日本機械学会
            • 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
              査読
              電気学会
            • Japanese Journal of Applied Physics
              査読
              -
            • Applied Physics Express
              査読
              -
            • Microsystem Technologies
              査読
              -
            • Analyst
              査読
              -
            • Optics Express
              査読
              -
            • Sensors and Actuators B: Chemical
              査読
              -
            • Sensors and Actuators A: Physical
              査読
              -
            • Journal of Micromechanics and Microengineering
              査読
              -
            • Journal of Microelectromechanical Systems
              査読
              -
            • ACS Omega
              査読

            社会貢献活動

            • 文部科学省 科学技術・学術政策研究所
              調査担当
              自 2013年07月16日, 至 現在

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